4
"#$ %&&’()%*(+, +- .&#$/()%’ %0$//%*(+, )+//$)*(+, %,1 -+)%’ .$/($. /$.*+/%*(+, *+ #(2#3/$.+’4*(+, (5%2$. +- &’%*(,45 ,%,+)%*%’6.* &%/*()’$. 7 8$/9$/% :+,*%/1 ! ; 73< 8#%,2 " ; = > ?4,(,3@+/A+B.A( ! ; C D E(/A’%,1 " ; 8 F ? G$*#$/(,2*+, 2 %,1 ? IJA%6% # ! %&’()*+&,* -. /(*&)0(12 340&,4& (,5 /&*(116)789 :,0;&)20*8 -. <(+=)057&9 >&+=)-?& 3*)&&*9 <(+=)057& <@" #AB9 :C " %&’()*+&,* -. /(*&)0(129 DE.-)5 :,0;&)20*89 >()?2 F-(59 DE.-)5 DG! #>H9 :C # I-J,2-, /(**J&8 K&4J,-1-78 <&,*)&9 @1-6,*L2 <-6)*9 3-,,0,7 <-++-,9 F&(50,7 FMN OPH9 :C QR+(01S 14#TUV4(+W(4W6? C0.*/%)*K X IQDY ""ZZ[3 *)(,2+0220-, &1&4*)-, +04)-24-’& &\60’’&5 ]0*J ( .0&15 &+0220-, 76,9 (, -=^&4*0;& 1&,2 2’J&)04(1 (=&))(*0-, 4-))&4*-) (,5 (, 0,R4-16+, &,&)78 .01*&) J(2 =&&, 62&5 *- (4\60)& *J)-67J .-4(1 2&)0&2 -. J07JR)&2-16*0-, 0+(7&2 -. ’1(*0,6+ ,(,-4(*(182* ’()*041&2 620,7 ( 2+(11 ;(16& -. *J& 2’J&)04(1 (=&))(*0-, 4-&..040&,*W KJ& 5&7)&& *- ]J04J 2’J&)04(1 (=&))(*0-, 4-))&4*0-, ’)-;05&2 (, 0+’)-;&+&,* *- 0+(7& \6(10*8 (,5 0,*&)’)&*(=010*8 .-) 264J ’()*041&2 02 5024622&59 =-*J ]0*J (,5 ]0*J-6* *J& 62& -. *J)-67JR.-4(1 2&)0&2 )&2*-)(*0-,W LK D,*/+14)*(+, KJ& 0,*&)’)&*(*0-, -. 4-,;&,*0-,(1 J07JR)&2-16*0-, *)(,2+0220-, &1&4*)-, +04)-24-’& _HFKQ/‘ 0+(7&2 02 4-+’104(*&5 =8 *J& &..&4*2 -, 0+(7& 4-,*)(2* -. (=&))(*0-,2 -. *J& +04)-24-’& -=^&4*0;& 1&,2W 3’J&)04(1 (=&))(*0-, _" # ‘ 4-))&4*0-, (11-]2 0+(70,7 ()*&.(4*2 56& *- 5&1-4(102(*0-, *- =& )&564&5 *- ( 7)&(* &E*&,* a!bW c+(7&2 -. 4-+’()(=1& 2’(*0(1 )&2-16*0-, *- *J-2& *(?&, -, ( " # R4-))&4*&5 +04)-24-’& 4(, (12- =& -=*(0,&5 620,7 *J)-67JR.-462 &E0*R](;& .6,4*0-, )&2*-)(*0-, _K[RQdF‘ a"9#bW c* J(2 =&&, 2677&2*&5 *J(* ( ’()*0461() 2*)&,7*J -. " # 4-))&4*0-, 02 0*2 (=010*8 *- )&2-1;& (*-+04 2*)64*6)& 0, )&(1 *0+&9 (,5 *J(* K[RQdF 4(, =& 62&5 (2 ( 4-+’1&+&,*()8 *&4J,0\6&W c, *J02 ’(’&)9 ’)&10+0,()8 )&261*2 .)-+ *J& (’’104(*0-, -. =-*J *&4J,0\6&2 *- *J& 4J()(4*&)02(*0-, -. ’1(*0,6+ ,(,-’()*041&2 26’’-)*&5 -, 7)(’J0*04 4()=-, ()& ’)&2&,*&5W 2K 8 . )+//$)*(+, HFKQ/ 0+(7&2 -. >* ,(,-’()*041&2 ]&)& (4\60)&5 620,7 ( IQDY ""ZZ[3 +04)-24-’&9 &\60’’&5 ]0*J ( .0&15 &+0220-, 76, _[QM‘ (,5 -’&)(*&5 (* "ZZ?eW KJ02 0,2*)6+&,* 0,4-)’-)(*&2 (=&))(*0-, 4-))&4*-)2 0, =-*J 0*2 0+(70,7 (,5 0*2 ’)-=& .-)+0,7 1&,2&29 (2 ]&11 (2 (, 0,R4-16+, -+&7(R*8’& &,&)78 .01*&)W c* J(2 (, 6,4-))&4*&5 4-&..040&,* -. 2’J&)04(1 (=&))(*0-, -. *J& -=^&4*0;& 1&,2 " # -. ZWT ++ _4-))&2’-,50,7 *- ( ’-0,* )&2-16*0-, -. ZW!O ,+ (* 34J&)f&) .-462‘ (,5 ( 4-&..040&,* -. 4J)-+(*04 (=&))(*0-, " $ -. !W!++ aNbW dJ&, ’&).-)+0,7 &1&4*)-, +04)-24-’8 ]0*J ( [QM aNb9 =&4(62& J07J 2’(*0(1 .)&\6&,40&2 ()& ’)&2&,* -;&) ( ]05&) )(,7& -. 5&.-462 *J(, ]J&, 620,7 ( Y(@ g 2-6)4&9 (,5 =&4(62& -. *J& .-)+(*0-, -. [-6)0&) 0+(7&29 ( ’()*0461() 2&* -. 1(**04& .)0,7&2 +(8 502(’’&() (,5 )&(’’&() Institute of Physics Publishing Journal of Physics: Conference Series 26 (2006) 25–28 doi:10.1088/1742-6596/26/1/006 EMAG–NANO 05: Imaging, Analysis and Fabrication on the Nanoscale 25 © 2006 IOP Publishing Ltd

The application of spherical aberration correction and focal series

Embed Size (px)

Citation preview

Page 1: The application of spherical aberration correction and focal series

!

"#$! %&&'()%*(+,! +-! .&#$/()%'! %0$//%*(+,! )+//$)*(+,! %,1!-+)%'! .$/($.! /$.*+/%*(+,! *+! #(2#3/$.+'4*(+,! (5%2$.! +-!&'%*(,45!,%,+)%*%'6.*!&%/*()'$.!

7!8$/9$/%!:+,*%/1!;!73<!8#%,2";!=!>!?4,(,3@+/A+B.A(!;!!C!D!E(/A'%,1";!8!F!?!G$*#$/(,2*+,2!!%,1!?!IJA%6%#!

! %&'()*+&,* -. /(*&)0(12 340&,4& (,5 /&*(116)789 :,0;&)20*8 -. <(+=)057&9 >&+=)-?& 3*)&&*9 <(+=)057& <@" #AB9 :C!

" %&'()*+&,* -. /(*&)0(129 DE.-)5 :,0;&)20*89 >()?2 F-(59 DE.-)5 DG! #>H9 :C

# I-J,2-, /(**J&8 K&4J,-1-78 <&,*)&9 @1-6,*L2 <-6)*9 3-,,0,7 <-++-,9 F&(50,7 FMN OPH9 :C

QR+(01S 14#TUV4(+W(4W6?

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

LK!!D,*/+14)*(+,!KJ& 0,*&)')&*(*0-, -. 4-,;&,*0-,(1 J07JR)&2-16*0-, *)(,2+0220-, &1&4*)-, +04)-24-'& _HFKQ/` 0+(7&2 02 4-+'104(*&5 =8 *J& &..&4*2 -, 0+(7& 4-,*)(2* -. (=&))(*0-,2 -. *J& +04)-24-'& -=^&4*0;& 1&,2W 3'J&)04(1 (=&))(*0-, _"#` 4-))&4*0-, (11-]2 0+(70,7 ()*&.(4*2 56& *- 5&1-4(102(*0-, *- =& )&564&5 *- ( 7)&(* &E*&,* a!bW c+(7&2 -. 4-+'()(=1& 2'(*0(1 )&2-16*0-, *- *J-2& *(?&, -, ( "#R4-))&4*&5 +04)-24-'& 4(, (12- =& -=*(0,&5 620,7 *J)-67JR.-462 &E0*R](;& .6,4*0-, )&2*-)(*0-, _K[RQdF` a"9#bW c* J(2 =&&, 2677&2*&5 *J(* ( '()*0461() 2*)&,7*J -. "# 4-))&4*0-, 02 0*2 (=010*8 *- )&2-1;& (*-+04 2*)64*6)& 0, )&(1 *0+&9 (,5 *J(* K[RQdF 4(, =& 62&5 (2 ( 4-+'1&+&,*()8 *&4J,0\6&W c, *J02 '('&)9 ')&10+0,()8 )&261*2 .)-+ *J& (''104(*0-, -. =-*J *&4J,0\6&2 *- *J& 4J()(4*&)02(*0-, -. '1(*0,6+ ,(,-'()*041&2 26''-)*&5 -, 7)('J0*04 4()=-, ()& ')&2&,*&5W 2K!!8.!)+//$)*(+,!HFKQ/ 0+(7&2 -. >* ,(,-'()*041&2 ]&)& (4\60)&5 620,7 ( IQDY ""ZZ[3 +04)-24-'&9 &\60''&5 ]0*J ( .0&15 &+0220-, 76, _[QM` (,5 -'&)(*&5 (* "ZZ?eW KJ02 0,2*)6+&,* 0,4-)'-)(*&2 (=&))(*0-, 4-))&4*-)2 0, =-*J 0*2 0+(70,7 (,5 0*2 ')-=& .-)+0,7 1&,2&29 (2 ]&11 (2 (, 0,R4-16+, -+&7(R*8'& &,&)78 .01*&)W c* J(2 (, 6,4-))&4*&5 4-&..040&,* -. 2'J&)04(1 (=&))(*0-, -. *J& -=^&4*0;& 1&,2 "# -. ZWT ++ _4-))&2'-,50,7 *- ( '-0,* )&2-16*0-, -. ZW!O ,+ (* 34J&)f&) .-462` (,5 ( 4-&..040&,* -. 4J)-+(*04 (=&))(*0-,!"$ -. !W!++ aNbW dJ&, '&).-)+0,7 &1&4*)-, +04)-24-'8 ]0*J ( [QM aNb9 =&4(62& J07J 2'(*0(1 .)&\6&,40&2 ()& ')&2&,* -;&) ( ]05&) )(,7& -. 5&.-462 *J(, ]J&, 620,7 ( Y(@g 2-6)4&9 (,5 =&4(62& -. *J& .-)+(*0-, -. [-6)0&) 0+(7&29 ( '()*0461() 2&* -. 1(**04& .)0,7&2 +(8 502(''&() (,5 )&(''&()

Institute of Physics Publishing Journal of Physics: Conference Series 26 (2006) 25–28doi:10.1088/1742-6596/26/1/006 EMAG–NANO 05: Imaging, Analysis and Fabrication on the Nanoscale

25© 2006 IOP Publishing Ltd

Page 2: The application of spherical aberration correction and focal series

)&'&(*&518 (2 *J& 5&.-462 02 4J(,7&5W [-) &E(+'1&9 4-,*)(2* )&;&)2(12 ()& ')&504*&5 *- -446) 0, *J& ')&2&,* +04)-24-'& &;&)8 N" ,+ 0, 5&.-462 .-) *J& !!! )&.1&4*0-, 0, >*W dJ&, (107,0,7 ( +04)-24-'& &\60''&5 ]0*J ( [QM &1&4*)-, 2-6)4&9 0* 02 50..0461* *- (22&22 *J& 5&.-462 (,5 (2*07+(*02+ -. (, 0+(7& =8 &8&W c,2*&(59 ]0*J *J& J&1' -. -,R10,& ')-4&220,79 5070*(1 50..)(4*-7)(+2 4(, =& (4\60)&5 0, *J& .-)+ -. ( B&+10, *(=1&(6W KJ& (=&))(*0-, 4-&..040&,*2 4(, *J&, =& +&(26)&5 (,5 4-+'&,2(*&5 aTbW X11 (=&))(*0-,2 6' *- *J0)5 -)5&) 4(, =& 4-))&4*&5 (,5 "# 4(, =& *6,&5 *- ( 5&20)&5 ;(16&9 ]J04J +(8 =& ,&7(*0;&W d0*J 4-+'6*&) (2202*&5 4-))&4*0-, (,5 (107,+&,*9 ( ,&7(*0;& ;(16& .-) "# -. R#Z !+ ](2 62&5 0, *J& ')&2&,* &E'&)0+&,*W KJ& )&(2-, .-) 4J--20,7 ( ,-,Rf&)- ;(16& 02 *]-.-15W [0)2*9 (* f&)- "#9 34J&)f&) .-462 4-))&2'-,52 *- ( 5&.-462 -. f&)- (,5 (11 'J(2& 4-,*)(2* ]-615 *J&, =& &E'&4*&5 *- 502(''&()W 3&4-,59 0* 02 ,-* &(28 *- 4-+'&,2(*& .-) 2'J&)04(1 (=&))(*0-, &E(4*189 (,5 ( 2+(11 =6* .0,0*& ;(16& 02 &(20&) *- (4J0&;& _]0*J (, (446)(48 -. "TR!Z!+` *J(, ( ;(16& -. ')&402&18 f&)-W c, (550*0-,9 ,&7(*0;& "# ')-;05&2 ( ,&] 2'&40+&,R5&'&,5&,* 0+(70,7 +-5& _"# 02 '-20*0;& .-) 4-,;&)7&,* +(7,&*04 1&,2&2`9 ]J04J +(8 &,J(,4& 5&20)&5 4-,*)(2* agbW [076)& ! 2J-]2 (, &E(+'1& -. *J& 62& -. &,&)78R.01*&)&5 <2R(5^62*&5 0+(70,7 *- &E(+0,& *J)&& >* '()*041&2 (* *]- 50..&)&,* 5&.-462 ;(16&2W KJ& 1(**04& .)0,7& 4-,*)(2* -. *J& 2+(11&) '()*041&9 ]J04J 02 " ,+ 0, 20f&9 02 J07J 70;&, *J(* 0* 02 26''-)*&5 -, 4()=-,W K]- -. *J& '()*041&2 ()& -)0&,*&5 41-2& *- *J& a! !Zb f-,& (E02 W

!MK!!8.!)+//$)*(+,!B(*#!$N(*3B%9$-4,)*(+,!/$.*+/%*(+,!!K[RQdF9 (,5 -*J&) 0,50)&4* 0+(7& )&2*-)(*0-, *&4J,0\6&29 (11-] 'J(2& 502*-)*0-,2 *J(* J(;& =&&, 0,*)-564&5 =8 (=&))(*0-,2 -. *J& &1&4*)-, +04)-24-'& -=^&4*0;& 1&,2 *- =& )&+-;&5W KJ&8 (12- (11-] =-*J *J& 'J(2& (,5 *J& +-56162 -. *J& &E0* '1(,& ](;&.6,4*0-, *- =& )&4-;&)&59 ]0*J (, 0,4)&(2& 0, 0,*&)')&*(=1& )&2-16*0-, *J(* 4(, ('')-(4J *J& 0,.-)+(*0-, 10+0* -. *J& +04)-24-'&W KJ& )&1(*0;& =&,&.0*2 -. 620,7 (=&))(*0-, 4-))&4*0-, (,5 .-4(1 2&)0&2 )&2*-)(*0-, )&+(0, *- =& (22&22&5 .-) 50..&)&,* 2'&40+&,2W [076)& " 2J-]2 ( 5&.-462 2&)0&2 -. &,&)78R.01*&)&5 0+(7&2 -. ( '1(*0,6+ ,(,-'()*041& -)0&,*&5 41-2& *- a! !Zb (4\60)&5 (* "ZZ?e 620,7 ( T ,+ 5&.-462 2*&' 20f&W KJ& 0+(7&2 2J-] J07J *)(,2'()&,48 *J)-67J *J& '()*041& *- *J& 4()=-, 26''-)*W ! !!

O(24/$! LK!Q,&)78R.01*&)&5!HFKQ/ 0+(7&2 -. >* ,(,-'()*041&29 (4\60)&5 (* "ZZ?e (* *]- 50..&)&,* 5&.-462 ;(16&29 ]0*J <2 (5^62*&5 *- h#Z !+W

2!,5!

26

Page 3: The application of spherical aberration correction and focal series

!!!!!!!!!!!!!! [076)& #( 2J-]2 (, HFKQ/ 0+(7& -. *J& >* '()*041& 2J-], 0, .076)& "9 (4\60)&5 ]0*J "# (5^62*&5 *- R#Z !+W [076)& #= 2J-]2 ( )&2*-)&5 'J(2& 0+(7& -. *J& 2(+& '()*041&9 4(1461(*&5 .)-+ ( 5&.-462 2&)0&2 -. "Z 0+(7&2 (4\60)&5 ]0*J ( 5&.-462 2*&' -. T ,+W

!5!,5!

O(24/$! MK _(` HFKQ/ 0+(7& -. *J& >* '()*041& 2J-], 0, .076)& "9 (* (, -'*0+6+ 5&.-462 (,5 ]0*J "# (5^62*&5 *- h#Z !+W _=` KJ& 2(+& '()*041& (.*&) (''180,7 K[RQdFW @&1-] *J& 0+(7&2 ()& '-]&) 2'&4*)(W

5!,5!

a #

O(24/$!2K %&.-462 2&)0&2 -. 0+(7&2 -. ( >* '()*041&9 0+(7&5 (* "ZZ?e ]0*J "# (5^62*&5 *- R#Z !+W KJ& 5&.-462 2*&' 20f& =&*]&&, 2644&220;& 0+(7&2 02 T ,+W

27

Page 4: The application of spherical aberration correction and focal series

KJ& 0+')-;&+&,* 0, *J& 0,.-)+(*0-, 0, *J& 0+(7& 02 41&()W KJ& 4-,*)(2* .)-+ *J& 4()=-, 26''-)* .01+9 ]J04J 02 (* ( 50..&)&,* J&07J* *- *J& '()*041&9 J(2 =&&, 1()7&18 &10+0,(*&5 (.*&) K[RQd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` 2677&2* *J(* *J& 'J(2& 2J0.* 02 0, .(4* J07J18 2&,20*0;& *- *J& 5&.-462 -. &(4J (*-+04 4-16+,9 (,5 J&,4& *J& &E(4* *J)&&R50+&,20-,(1 2J('& -. *J& '()*041& _*J& 'J(2& 2J0.* 02 )&4-;&)&5 *- ( 20,71& 5&.-462 ;(16& 620,7 K[RQdF9 (,5 02 2&,20*0;& *- *J& 5&.-462 ;(16& 4J-2&, .-) *J& )&4-,2*)64*0-,`W KJ02 &..&4*9 ]J04J +(8 ')&4165& \6(,*0.04(*0-, -. *J& '&(? J&07J*2 0, *J& )&2*-)&5 'J(2& 0+(7&9 ]011 =& 5024622&5 0, 5&*(01 &12&]J&)&W [076)& N 2J-]2 ( 20+01() 4-+'()02-,W KJ& 0+')-;&+&,* (.*&) )&4-,2*)64*0-, 02 (7(0, 41&()W KJ& ()*&.(4*2 .)-+ *J& =(4?7)-6,5 ()& )&564&59 *J& 26).(4& (*-+04 ())(,7&+&,* =&4-+&2 41&()&)9 (,5 *J& 7)('J0*04 '1(,&2 (,5 0,50;056(1 4()=-, (*-+2 0, *J& +(*)0E ()& =&**&) 5&.0,&5 0, *J& '-2*R')-4&22&5 0+(7&W

QK!8+,)'4.(+,.!c* J(2 =&&, 2J-], *J(* "# R4-))&4*0-, 70;&2 )02& *- (, 0+')-;&+&,* 0, *J& 2'(*0(1 )&2-16*0-, (,5 ;020=010*8 -. >* ,(,-'()*041&2 *J(* ()& ( .&] ,(,-+&*&)2 0, 20f&W X.*&) .-4(1 2&)0&2 )&2*-)(*0-,9 (*-+04 26).(4& ())(,7&+&,* -, *J& '()*041&2 4(, =& 2&&,W c, (550*0-,9 *J& 207,(1 *- ,-02& )(*0- 02 0+')-;&5 207,0.04(,*189 (,5 5&*(012 -. *J& 7)('J0*04 4()=-, 26''-)* 26))-6,50,7 *J& '()*041&2 =&4-+& ;020=1&W [6*6)& 2*650&2 ]011 0,;-1;& *J& (''104(*0-, -. "# 4-))&4*0-,9 .-4(1 2&)0&2 )&2*-)(*0-, (,5 J07JR(,71& (,,61() 5()? .0&15 *-+-7)('J8 *- *J& 2(+& '()*041&9 0, -)5&) *- 4J()(4*&)02& 0*2 *J)&&R50+&,20-,(1 (*-+04 ())(,7&+&,* (,5 2J('& .61189 (2 ]&11 (2 0*2 0,*&)(4*0-, ]0*J *J& 4()=-, 26''-)*W !=$-$/$,)$.!a!b :)=(, C9 C(=062 @9 H(05&) / (,5 F-2& H !OOO %&!'()$*+,-!./$+,#$,01 QR!U"!RU"g a"b <J&, I H9 :)=(, C9 C(=062 @9 Y&,*f&, /9 I(,2&, I (,5 B(,5=&)7&, H d "ZZN

2(*+34/$+,#$,01 SR U!ROi a#b C0)?1(,5 X c (,5 /&8&) F "ZZN ./$+,#$&!./$+,3-3-3(&!!L0 NZ!RN! aNb H6*4J02-, I Y9 K0*4J+()2J I /9 <-4?(8,& % I H9 /j=62 M9 H&*J&)0,7*-, < I %9

%--1& F <9 H-2-?(]( [9 H()*&1 > (,5 H(05&) / "ZZ" %'56!7)8# MU> I618 "Z aTb D**&, / K (,5 <-&,& / I !OO# 2(*+34/$+,#$,01 QR iiRO! agb I0( <RY9 Y&,*f&, / (,5 :)=(, C "ZZN ./$+,#$&!!./$+,3-3(& L0 !iNR!UN

O(24/$!QK _(` c+(7& -. >* '()*041& (4\60)&5 (* "ZZ?e (* -'*0+6+ 5&.-462 ]0*J "# (5^62*&5 *- h N !+W _=` )&2*-)&5 'J(2& 0+(7& -. *J& 2(+& '()*041& -=*(0,&5 =8 (''180,7 K[RQdF *- ( 5&.-462 2&)0&2 -. "Z 0+(7&2 (4\60)&5 (* "ZZ?e ]0*J "# (5^62*&5 *- RN !+W

3 nm

a #

28