Flow Control System

奨励賞受賞第4回モノづくり部品大賞

2007年

ANZC A.Z BZF A-AF

CAT: No.712-01-L

ガス供給系のトータルソリューション

　　　　 のFCS はながれ（流体）制御技術を常にリードします

FCS®は、近年半導体プロセスにおいて、重要視されているエッチレートや成膜レートの、安定性・再現性の確立を念頭に開発されました。　従来のマスフローコントローラ（MFC）とは、その基本動作原理から異なり、圧力を制御することによりMFCでは実現できない、高精度な流量制御を可能にします。　ガス供給系での、圧力変動（ハンチング）やクロストークなど､プロセスの不安定要素を克服し、限りなく安定した流量制御をお客様に提供致します。　また、最先端プロセスに相応しい高精度なスペックもFCS®の魅力のひとつです。　最高のパフォーマンスをお約束致します。

FCS®は、これまでのマスフローコントローラ(MFC)と違い、圧力で流量を制御する新しい流量制御機器です。

なぜ圧力を制御することにより、流量を制御できるかというと、一般にオリフィスを通過するガスの流量Qは、オリフィスの上流側の絶対圧力をP1、下流側の圧力をP2とすると、P1がP2の2倍以上の圧力条件下では、オリフィスを通過するガスの流速が音速となります。つまり流量はオリフィス部の速度が音速で不変であるため、圧力にのみ比例するわけです。この原理を臨界膨張条件といい、FCS®はこの原理を利用することにより、シンプルな構造であるにもかかわらず、高精度に流量を制御することが可能となりました。

FCS®の内部構造は、大変シンプルで、かつデッドスペースレスな構造です。内部接ガス部を構成するパーツとしては、高速応答を可能にするピエゾコントロールバルブ、高精度の圧力センサ、特殊オリフィスからなっており、さらにこれらのパーツをデジタル制御する高性能CPUを搭載した制御回路などで構成されています。

上流の圧力が変動した時、マスフローコントローラ(MFC)の場合大きく出力値が変動しますが、FCS®の場合まったく変動しません。

そのため通常マスフローコントローラの上流側に取り付けられる、レギュレータをガスシステムから省くことができ（0.89 MPa以下の場合）ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成することができます。

標準タイプの場合で、FCS®の精度は、フルスケール流量の10 ％以上の領域でセットポイントの±1.0 ％S.P.以内、フルスケールの10 ％未満ではフルスケールの±0.1 ％F.S.以内であり、従来のMFCと比べて高い精度を誇ります。

動作原理

供給圧力変動の影響は受けません

TEST フロー図

優れた精度

特 長

構 造

内部構造 (FCSP7000W)

ピエゾコントロールバルブ

保護メッシュ

制御回路

オリフィス

※ＳＣＣＭ： 標準状態（０ ℃、１気圧）換算して体積流量（ ｃｃ/min )

圧力センサ P1

圧力センサ P2

コントロールバルブ（ピエゾ駆動）

デジタル制御回路

圧力センサ（絶対圧基準）

温度センサ

供給圧力Ｐ０

保護メッシュ

P1: オリフィス上流側圧力P2: オリフィス下流側圧力Q : 流量

例えばオリフィス下流圧力P2が１０ Ｔｏｒｒ以下の場合Ｐ1 ＝ ２０Ｔｏｒｒ　　 →　流量 １０ ＳＣＣＭＰ1 ＝ ２００Ｔｏｒｒ　　→　流量 １００ ＳＣＣＭＰ1 ＝ ２０００Ｔｏｒｒ　→　流量 １０００ ＳＣＣＭ

P1 ≧ 約2P2

Q1 = K1P1（K1 = const.）

Flow

圧力センサ

オリフィス

P1 P2

1. 供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けません2. 応答時間が0.5 秒以下と早い3. MGMR（マルチガス・マルチレンジ）機能搭載4. 取り付け姿勢の影響を受けません （マウントポジションフリー）5. 流量自己診断機能を搭載6. ガス種を選びません7. RoHS対応

ＦＣＳ®は、『臨界膨張条件』を利用した圧力式流量制御器

　FCS®

MFC FCS®信号モニタ

シンプルな構造

ガスラインのコストダウンが可能 ！

ガス供給ラインより減圧弁取り外し可能！

RGFCS®

PT供給圧力このバルブをON、OFFして上流圧変動

N2

パージ

フローメータ

ガス流量出力信号 入力信号真空ポンプ

IN

・供給圧力変動: 　284kPaG ⇔ 196kPaG・FCS入力信号: 　50％・FCS設定流量: 　150sccm・真空ポンプ排気速度： 　300L/min

284kPaG　

0 1 2 3 4 5Time(sec)

6 7 8 9 10

196kPaG　設定信号： 50％

出力信号： 50％

ガス流量： 150sccm1s

供給圧力

入力信号

出力信号

ガス流量

上流の圧力変動に

まったく影響されない

制御流量

オリフィス

P T

Ｐ1≧約２×Ｐ２ 臨界膨張条件

〔フローファクター（流量変換係数）の採用により、N2校正のFCS®で様々なガス種に対応できます〕（RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品の開発・製造に努めています）

精度がフルスケール±1％の場合の誤差範囲

流量レンジ[％]（フルスケールに対して）

誤差[％]1.5

1

0.5

－0.5

－1

－1.5

0 20 30 40 50 60 70 80

CH1=2V CH2=2V CH3=2V

CH1=2V CH2=2V CH3=2V

供給圧力

供給圧力

MFC出力信号

FCS®出力信号

90 100

FCS®の範囲

奨励賞受賞第4回モノづくり部品大賞

2007年

1 2

ガス供給系のトータルソリューション

　　　　 のFCS はながれ（流体）制御技術を常にリードします

FCS®は、近年半導体プロセスにおいて、重要視されているエッチレートや成膜レートの、安定性・再現性の確立を念頭に開発されました。　従来のマスフローコントローラ（MFC）とは、その基本動作原理から異なり、圧力を制御することによりMFCでは実現できない、高精度な流量制御を可能にします。　ガス供給系での、圧力変動（ハンチング）やクロストークなど､プロセスの不安定要素を克服し、限りなく安定した流量制御をお客様に提供致します。　また、最先端プロセスに相応しい高精度なスペックもFCS®の魅力のひとつです。　最高のパフォーマンスをお約束致します。

FCS®は、これまでのマスフローコントローラ(MFC)と違い、圧力で流量を制御する新しい流量制御機器です。

なぜ圧力を制御することにより、流量を制御できるかというと、一般にオリフィスを通過するガスの流量Qは、オリフィスの上流側の絶対圧力をP1、下流側の圧力をP2とすると、P1がP2の2倍以上の圧力条件下では、オリフィスを通過するガスの流速が音速となります。つまり流量はオリフィス部の速度が音速で不変であるため、圧力にのみ比例するわけです。この原理を臨界膨張条件といい、FCS®はこの原理を利用することにより、シンプルな構造であるにもかかわらず、高精度に流量を制御することが可能となりました。

FCS®の内部構造は、大変シンプルで、かつデッドスペースレスな構造です。内部接ガス部を構成するパーツとしては、高速応答を可能にするピエゾコントロールバルブ、高精度の圧力センサ、特殊オリフィスからなっており、さらにこれらのパーツをデジタル制御する高性能CPUを搭載した制御回路などで構成されています。

上流の圧力が変動した時、マスフローコントローラ(MFC)の場合大きく出力値が変動しますが、FCS®の場合まったく変動しません。

そのため通常マスフローコントローラの上流側に取り付けられる、レギュレータをガスシステムから省くことができ（0.89 MPa以下の場合）ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成することができます。

標準タイプの場合で、FCS®の精度は、フルスケール流量の10 ％以上の領域でセットポイントの±1.0 ％S.P.以内、フルスケールの10 ％未満ではフルスケールの±0.1 ％F.S.以内であり、従来のMFCと比べて高い精度を誇ります。

動作原理

供給圧力変動の影響は受けません

TEST フロー図

優れた精度

特 長

構 造

内部構造 (FCSP7000W)

ピエゾコントロールバルブ

保護メッシュ

制御回路

オリフィス

※ＳＣＣＭ： 標準状態（０ ℃、１気圧）換算して体積流量（ ｃｃ/min )

圧力センサ P1

圧力センサ P2

コントロールバルブ（ピエゾ駆動）

デジタル制御回路

圧力センサ（絶対圧基準）

温度センサ

供給圧力Ｐ０

保護メッシュ

P1: オリフィス上流側圧力P2: オリフィス下流側圧力Q : 流量

例えばオリフィス下流圧力P2が１０ Ｔｏｒｒ以下の場合Ｐ1 ＝ ２０Ｔｏｒｒ　　 →　流量 １０ ＳＣＣＭＰ1 ＝ ２００Ｔｏｒｒ　　→　流量 １００ ＳＣＣＭＰ1 ＝ ２０００Ｔｏｒｒ　→　流量 １０００ ＳＣＣＭ

P1 ≧ 約2P2

Q1 = K1P1（K1 = const.）

Flow

圧力センサ

オリフィス

P1 P2

1. 供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けません2. 応答時間が0.5 秒以下と早い3. MGMR（マルチガス・マルチレンジ）機能搭載4. 取り付け姿勢の影響を受けません （マウントポジションフリー）5. 流量自己診断機能を搭載6. ガス種を選びません7. RoHS対応

ＦＣＳ®は、『臨界膨張条件』を利用した圧力式流量制御器

　FCS®

MFC FCS®信号モニタ

シンプルな構造

ガスラインのコストダウンが可能 ！

ガス供給ラインより減圧弁取り外し可能！

RGFCS®

PT供給圧力このバルブをON、OFFして上流圧変動

N2

パージ

フローメータ

ガス流量出力信号 入力信号真空ポンプ

IN

・供給圧力変動: 　284kPaG ⇔ 196kPaG・FCS入力信号: 　50％・FCS設定流量: 　150sccm・真空ポンプ排気速度： 　300L/min

284kPaG　

0 1 2 3 4 5Time(sec)

6 7 8 9 10

196kPaG　設定信号： 50％

出力信号： 50％

ガス流量： 150sccm1s

供給圧力

入力信号

出力信号

ガス流量

上流の圧力変動に

まったく影響されない

制御流量

オリフィス

P T

Ｐ1≧約２×Ｐ２ 臨界膨張条件

〔フローファクター（流量変換係数）の採用により、N2校正のFCS®で様々なガス種に対応できます〕（RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品の開発・製造に努めています）

精度がフルスケール±1％の場合の誤差範囲

流量レンジ[％]（フルスケールに対して）

誤差[％]1.5

1

0.5

－0.5

－1

－1.5

0 20 30 40 50 60 70 80

CH1=2V CH2=2V CH3=2V

CH1=2V CH2=2V CH3=2V

供給圧力

供給圧力

MFC出力信号

FCS®出力信号

90 100

FCS®の範囲

奨励賞受賞第4回モノづくり部品大賞

2007年

1 2

DeviceNetTM 通信（SEMI E54 及び ＯＤＶＡ SEMI SIGプロファイル）

ダイナミックレンジモデルFCSP8000オリフィスを2つ内蔵（大流量側、小流量側）これにより2種類のレンジを1台でカバー

圧力で流量制御しているのでレギュレータ不要レギュレータ不要

流量精度±1.0 ％S.P. （10 ％～100 ％）高性能・高信頼性

流量応答時間 0.5秒以内（立上り応答時間）高速応答

メタルシールシール材

DeviceNetTM入出力

メタルシールシール材

アナログ、DeviceNetTM入出力

高機能標準モデルFCSP7000

流量応答時間 0.5 秒以内（立上り応答時間）高速応答

圧力で流量制御しているのでレギュレータ不要レギュレータ不要

流量精度±1.0 ％S.P. （10 ％～100 ％）高性能・高信頼性

〈仕様〉 〈仕様〉型式 FCSP8000D

タイプ 標準タイプ 低圧（AS）タイプ 低圧（B）タイプ

供給圧力範囲 250～898.7 kPaG 20～898.7 kPaG 50～898.7 kPaG

流量精度 ±1.0 %S.P.以内（設定信号: 10～100 %）±0.1 %F.S.以内（設定信号: 1～10 %）

±1.0 %S.P.以内（設定信号: 30～100 %）±0.3 %F.S.以内（設定信号: 1～30 %）

±1.0 %S.P.以内（設定信号: 20～100 %）±0.2 %F.S.以内（設定信号: 1～20 %）

流量レンジ（N2換算） 10 SCCM － 2.4 SLM

応答時間 設定値の±2.0 %まで0.5 秒以内（立上り特性）

下流側圧力 減圧

耐圧 1MPaG（但し、精度保証範囲可能圧力は0.89 MPaG以下）

外部リーク量 1×10－10 Pam3/sec以下

シートリーク量 2×10－5 Pam3/sec以下： 供給圧 0.89 MPaG

使用保証温度範囲 0～50 ℃（精度保証温度範囲： 15～35 ℃　*HT50： 15～50 ℃）

取付姿勢 指定無し（自由）

接ガス部材質 SUS316L、スーパーフェライト鋼 （Cr2O3処理）、ニッケルコバルト合金

接続継手・寸法 1.125Wseal®（92 mm）

供給電源電圧消費電流

＋11～＋25 VDC、4.5 VA（4.5 W）

入出力信号

型式 FCSP7000 / FCSP7000D

タイプ 標準タイプ 低圧（AS）タイプ 低圧（B）タイプ

供給圧力範囲 250～898.7 kPaG 20～898.7 kPaG 50～898.7 kPaG

流量レンジ（N2換算） 10 SCCM － 10 SLM 27 SCCM － 1 SLM 39 SCCM － 2 SLM

流量精度±1.0 %S.P.以内（設定信号: 10～100 %）

±0.1 %F.S.以内（設定信号: 1～10 %）±1.0 %S.P.以内（設定信号: 30～100 %）

±0.3 %F.S.以内（設定信号: 1～30 %）±1.0 %S.P.以内（設定信号: 20～100 %）

±0.2 %F.S.以内（設定信号: 1～20 %）

応答時間 設定値の±2.0 %まで0.5 秒以内（立上り特性）

下流側圧力 減圧

耐圧 1MPaG(但し、精度保証範囲可能圧力は0.89 MPaG以下)

外部リーク量 1×10－10 Pam3/sec以下

シートリーク量2×10ー5 Pam3/sec以下： F2400(F850B)以下5×10ー4 Pam3/sec以下： F3L(F1300B)以上

使用保証温度範囲 0～50 ℃（精度保証温度範囲： 15～35 ℃　*HT50： 15～50 ℃）

取付姿勢 指定無し（自由）

接ガス部材質 SUS316L、スーパーフェライト鋼 （Cr2O3処理）、ニッケルコバルト合金

接続継手・寸法 1.125 Wseal®（92 mm）、 1.5 Wseal®（79.8 mm）、 1/4"UJR（124 mm）

供給電源電圧消費電流

アナログ入出力仕様+15 VDC: 120 mA、 －15 VDC: 120 mA

DeviceNetTM 通信仕様+11～+25 VDC 4.5 VA（4.5 W）

入出力信号 0～5 VDC DeviceNetTM 通信（SEMI E54 及び ODVA SEMI SIG プロファイル）

臨界膨張条件［供給圧≧約２×出口圧の時、Q=K1×P1 （K1=const.）］

動作原理臨界膨張条件

［供給圧≧約２×出口圧の時、Q=K1×P1 （K1=const.）］

動作原理

最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c75101よりダウンロードできます。

最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c75101よりダウンロードできます。

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DeviceNetTM 通信（SEMI E54 及び ＯＤＶＡ SEMI SIGプロファイル）

ダイナミックレンジモデルFCSP8000オリフィスを2つ内蔵（大流量側、小流量側）これにより2種類のレンジを1台でカバー

圧力で流量制御しているのでレギュレータ不要レギュレータ不要

流量精度±1.0 ％S.P. （10 ％～100 ％）高性能・高信頼性

流量応答時間 0.5秒以内（立上り応答時間）高速応答

メタルシールシール材

DeviceNetTM入出力

メタルシールシール材

アナログ、DeviceNetTM入出力

高機能標準モデルFCSP7000

流量応答時間 0.5 秒以内（立上り応答時間）高速応答

圧力で流量制御しているのでレギュレータ不要レギュレータ不要

流量精度±1.0 ％S.P. （10 ％～100 ％）高性能・高信頼性

〈仕様〉 〈仕様〉型式 FCSP8000D

タイプ 標準タイプ 低圧（AS）タイプ 低圧（B）タイプ

供給圧力範囲 250～898.7 kPaG 20～898.7 kPaG 50～898.7 kPaG

流量精度 ±1.0 %S.P.以内（設定信号: 10～100 %）±0.1 %F.S.以内（設定信号: 1～10 %）

±1.0 %S.P.以内（設定信号: 30～100 %）±0.3 %F.S.以内（設定信号: 1～30 %）

±1.0 %S.P.以内（設定信号: 20～100 %）±0.2 %F.S.以内（設定信号: 1～20 %）

流量レンジ（N2換算） 10 SCCM － 2.4 SLM

応答時間 設定値の±2.0 %まで0.5 秒以内（立上り特性）

下流側圧力 減圧

耐圧 1MPaG（但し、精度保証範囲可能圧力は0.89 MPaG以下）

外部リーク量 1×10－10 Pam3/sec以下

シートリーク量 2×10－5 Pam3/sec以下： 供給圧 0.89 MPaG

使用保証温度範囲 0～50 ℃（精度保証温度範囲： 15～35 ℃　*HT50： 15～50 ℃）

取付姿勢 指定無し（自由）

接ガス部材質 SUS316L、スーパーフェライト鋼 （Cr2O3処理）、ニッケルコバルト合金

接続継手・寸法 1.125Wseal®（92 mm）

供給電源電圧消費電流

＋11～＋25 VDC、4.5 VA（4.5 W）

入出力信号

型式 FCSP7000 / FCSP7000D

タイプ 標準タイプ 低圧（AS）タイプ 低圧（B）タイプ

供給圧力範囲 250～898.7 kPaG 20～898.7 kPaG 50～898.7 kPaG

流量レンジ（N2換算） 10 SCCM － 10 SLM 27 SCCM － 1 SLM 39 SCCM － 2 SLM

流量精度±1.0 %S.P.以内（設定信号: 10～100 %）

±0.1 %F.S.以内（設定信号: 1～10 %）±1.0 %S.P.以内（設定信号: 30～100 %）

±0.3 %F.S.以内（設定信号: 1～30 %）±1.0 %S.P.以内（設定信号: 20～100 %）

±0.2 %F.S.以内（設定信号: 1～20 %）

応答時間 設定値の±2.0 %まで0.5 秒以内（立上り特性）

下流側圧力 減圧

耐圧 1MPaG(但し、精度保証範囲可能圧力は0.89 MPaG以下)

外部リーク量 1×10－10 Pam3/sec以下

シートリーク量2×10ー5 Pam3/sec以下： F2400(F850B)以下5×10ー4 Pam3/sec以下： F3L(F1300B)以上

使用保証温度範囲 0～50 ℃（精度保証温度範囲： 15～35 ℃　*HT50： 15～50 ℃）

取付姿勢 指定無し（自由）

接ガス部材質 SUS316L、スーパーフェライト鋼 （Cr2O3処理）、ニッケルコバルト合金

接続継手・寸法 1.125 Wseal®（92 mm）、 1.5 Wseal®（79.8 mm）、 1/4"UJR（124 mm）

供給電源電圧消費電流

アナログ入出力仕様+15 VDC: 120 mA、 －15 VDC: 120 mA

DeviceNetTM 通信仕様+11～+25 VDC 4.5 VA（4.5 W）

入出力信号 0～5 VDC DeviceNetTM 通信（SEMI E54 及び ODVA SEMI SIG プロファイル）

臨界膨張条件［供給圧≧約２×出口圧の時、Q=K1×P1 （K1=const.）］

動作原理臨界膨張条件

［供給圧≧約２×出口圧の時、Q=K1×P1 （K1=const.）］

動作原理

最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c75101よりダウンロードできます。

最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c75101よりダウンロードできます。

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ワイドレンジモデルFCSP7000W

〈仕様〉型式 FCSP7000W / FCSP7000DW

タイプ 標準タイプ 低圧（AS）タイプ 低圧（B）タイプ

供給圧力範囲 250～898.7 kPaG 20～898.7 kPaG 50～898.7 kPaG

流量レンジ（N2換算） 20 SCCM － 10 SLM 27 SCCM － 1 SLM 39 SCCM － 2 SLM

流量精度±1.0 %S.P.以内（設定信号: 10～100 %）

±0.1 %F.S.以内（設定信号: 1～10 %［差圧制御時 4～10 %］）

±1.0 %S.P.以内（設定信号: 30～100 %）±0.3 %F.S.以内

（設定信号: 1～30 %［差圧制御時 10～30 %］）

±1.0 %S.P.以内（設定信号: 20～100 %）±0.2 %F.S.以内

（設定信号: 1～20 %［差圧制御時 8～20 %］）

応答時間 設定値の±2 %まで0.5 秒以内（立上り特性）

下流側圧力 減圧

耐圧 1 MPaG(但し、精度保証範囲可能圧力は0.89 MPaG以下)

外部リーク量 1×10－10 Pam3/sec以下

シートリーク量2×10－5 Pam3/sec以下： F2400（F850B）以下5×10－4 Pam3/sec以下： F3L(F1300B)以上

使用保証温度範囲 0～50 ℃（精度保証温度範囲： 15～35 ℃　*HT50： 15～50 ℃）

取付姿勢 指定無し（自由）

接ガス部材質 SUS316L、スーパーフェライト鋼 （Cr2O3処理）、ニッケルコバルト合金

接続継手・寸法 1.125 Wseal®（92 mm）、 1.5 Wseal®（79.8 mm）、 1/4"UJR（124 mm）

メタルシールシール材

アナログ、DeviceNetTM入出力

臨界膨張条件［供給圧＞約２×出口圧の時、Q=K1×P1 （K1=const.）］と一部の臨界膨張条件領域外を差圧制御

動作原理

流量応答時間 0.5秒以内（立上り応答時間）高速応答

圧力で流量制御しているのでレギュレータ不要レギュレータ不要

流量精度±1.0 ％S.P. （10 ％～100 ％）高性能・高信頼性

最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c71201よりダウンロードできます。

DeviceNetTM 通信仕様+11～+25 VDC 4.5 VA（4.5 W）

供給電源電圧消費電流

アナログ入出力仕様+15 VDC: 120 mA、 －15 VDC: 120 mA

入出力信号 0～5 VDC DeviceNetTM 通信（SEMI E54 及び ODVA SEMI SIG プロファイル）

ワイドレンジモデルFCSP7300 W（MGMR仕様）

〈仕様〉型式 FCSP7300DW（MGMR仕様） / FCSP7300EW（MGMR仕様） / FCSP7300RW（MGMR仕様）

タイプ 標準タイプ 低圧（B）タイプ

供給圧力範囲 250～898.7 kPaG 50～898.7 kPaG

流量レンジ（N2換算） 10 SCCM － 4 SLM（N2 換算流量） 39 SCCM － 500 SCCM（N2 換算流量）

流量精度±1.0 %S.P.以内（設定信号: 10～100 %）

±0.1 %F.S.以内（設定信号: 1～10 %［差圧制御時 4～10 %］）

±1.0 %S.P.以内（設定信号: 20～100 %）±0.2 %F.S.以内

（設定信号: 1～20 %［差圧制御時 8～20 %］）

応答時間 立上り応答： 設定値の±2 %まで0.5 秒以内（設定値： 10～100 %）

下流側圧力 減圧

耐圧 1 MPaG（但し、精度保証範囲可能圧力は0.89 MPaG以下）

外部リーク量 1×10－10 Pam3/sec以下

シートリーク量 2×10－5 Pam3/sec以下

使用保証温度範囲 0～50 ℃（精度保証温度範囲： 15～35 ℃　T5： 15～50 ℃）

取付姿勢 指定無し（自由）

接ガス部材質 SUS316L、ニッケルコバルト合金、ハロステイ®C22

接続継手・寸法 1.125 Wseal®（92 mm）、 1.125 Cseal（92 mm）

メタルシールシール材

DeviceNetTM、EtherCAT®、RS485入出力（通信形態）

臨界膨張条件［供給圧＞約２×出口圧の時、Q=K1×P1 （K1=const.）］と一部の臨界膨張条件領域外を差圧制御

動作原理

流量応答時間 0.5秒以内（立上り応答時間）高速応答

圧力で流量制御しているのでレギュレータ不要レギュレータ不要ガス種とフルスケール流量をお客様にて任意に変更が可能MGMR（マルチガス、マルチレンジ）

流量精度±1.0 ％S.P. （10 ％～100 ％）高性能・高信頼性

最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c71201よりダウンロードできます。

供給電源電圧消費電流

11～25 VDC4.5 VA max.

±15 VDC150 mA max.

24 VDC4.5 VA max.

入出力信号 DeviceNetTM （ODVA準拠） EtherCAT® RS485

*

5 6

ワイドレンジモデルFCSP7000W

〈仕様〉型式 FCSP7000W / FCSP7000DW

タイプ 標準タイプ 低圧（AS）タイプ 低圧（B）タイプ

供給圧力範囲 250～898.7 kPaG 20～898.7 kPaG 50～898.7 kPaG

流量レンジ（N2換算） 20 SCCM － 10 SLM 27 SCCM － 1 SLM 39 SCCM － 2 SLM

流量精度±1.0 %S.P.以内（設定信号: 10～100 %）

±0.1 %F.S.以内（設定信号: 1～10 %［差圧制御時 4～10 %］）

±1.0 %S.P.以内（設定信号: 30～100 %）±0.3 %F.S.以内

（設定信号: 1～30 %［差圧制御時 10～30 %］）

±1.0 %S.P.以内（設定信号: 20～100 %）±0.2 %F.S.以内

（設定信号: 1～20 %［差圧制御時 8～20 %］）

応答時間 設定値の±2 %まで0.5 秒以内（立上り特性）

下流側圧力 減圧

耐圧 1 MPaG(但し、精度保証範囲可能圧力は0.89 MPaG以下)

外部リーク量 1×10－10 Pam3/sec以下

シートリーク量2×10－5 Pam3/sec以下： F2400（F850B）以下5×10－4 Pam3/sec以下： F3L(F1300B)以上

使用保証温度範囲 0～50 ℃（精度保証温度範囲： 15～35 ℃　*HT50： 15～50 ℃）

取付姿勢 指定無し（自由）

接ガス部材質 SUS316L、スーパーフェライト鋼 （Cr2O3処理）、ニッケルコバルト合金

接続継手・寸法 1.125 Wseal®（92 mm）、 1.5 Wseal®（79.8 mm）、 1/4"UJR（124 mm）

メタルシールシール材

アナログ、DeviceNetTM入出力

臨界膨張条件［供給圧＞約２×出口圧の時、Q=K1×P1 （K1=const.）］と一部の臨界膨張条件領域外を差圧制御

動作原理

流量応答時間 0.5秒以内（立上り応答時間）高速応答

圧力で流量制御しているのでレギュレータ不要レギュレータ不要

流量精度±1.0 ％S.P. （10 ％～100 ％）高性能・高信頼性

最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c71201よりダウンロードできます。

DeviceNetTM 通信仕様+11～+25 VDC 4.5 VA（4.5 W）

供給電源電圧消費電流

アナログ入出力仕様+15 VDC: 120 mA、 －15 VDC: 120 mA

入出力信号 0～5 VDC DeviceNetTM 通信（SEMI E54 及び ODVA SEMI SIG プロファイル）

ワイドレンジモデルFCSP7300 W（MGMR仕様）

〈仕様〉型式 FCSP7300DW（MGMR仕様） / FCSP7300EW（MGMR仕様） / FCSP7300RW（MGMR仕様）

タイプ 標準タイプ 低圧（B）タイプ

供給圧力範囲 250～898.7 kPaG 50～898.7 kPaG

流量レンジ（N2換算） 10 SCCM － 4 SLM（N2 換算流量） 39 SCCM － 500 SCCM（N2 換算流量）

流量精度±1.0 %S.P.以内（設定信号: 10～100 %）

±0.1 %F.S.以内（設定信号: 1～10 %［差圧制御時 4～10 %］）

±1.0 %S.P.以内（設定信号: 20～100 %）±0.2 %F.S.以内

（設定信号: 1～20 %［差圧制御時 8～20 %］）

応答時間 立上り応答： 設定値の±2 %まで0.5 秒以内（設定値： 10～100 %）

下流側圧力 減圧

耐圧 1 MPaG（但し、精度保証範囲可能圧力は0.89 MPaG以下）

外部リーク量 1×10－10 Pam3/sec以下

シートリーク量 2×10－5 Pam3/sec以下

使用保証温度範囲 0～50 ℃（精度保証温度範囲： 15～35 ℃　T5： 15～50 ℃）

取付姿勢 指定無し（自由）

接ガス部材質 SUS316L、ニッケルコバルト合金、ハロステイ®C22

接続継手・寸法 1.125 Wseal®（92 mm）、 1.125 Cseal（92 mm）

メタルシールシール材

DeviceNetTM、EtherCAT®、RS485入出力（通信形態）

臨界膨張条件［供給圧＞約２×出口圧の時、Q=K1×P1 （K1=const.）］と一部の臨界膨張条件領域外を差圧制御

動作原理

流量応答時間 0.5秒以内（立上り応答時間）高速応答

圧力で流量制御しているのでレギュレータ不要レギュレータ不要ガス種とフルスケール流量をお客様にて任意に変更が可能MGMR（マルチガス、マルチレンジ）

流量精度±1.0 ％S.P. （10 ％～100 ％）高性能・高信頼性

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供給電源電圧消費電流

11～25 VDC4.5 VA max.

±15 VDC150 mA max.

24 VDC4.5 VA max.

入出力信号 DeviceNetTM （ODVA準拠） EtherCAT® RS485

*

5 6

UPC® Seriesオートプレッシャーコントローラ（自動圧力制御器）

内蔵した圧力センサで圧力を一定に保ちます動作原理

電気信号で任意の圧力が設定可能ですマスフロの上流に接続すると、極めて安定な流量制御が可能です一つのラインにマスフロが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフロに影響を与えることがありますこの場合、UPC®シリーズを使用することにより他のマスフロに与える影響を防止できます（下流圧制御タイプ）UPCUS®（上流圧制御タイプ）は、MOｰCVDなどの液体ソースの内圧を一定に保ち、気化量の安定性を向上しますウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能です高温タイプ（150℃、250℃）・流量モニタ付モデルもラインアップ

アプリケーション

名称

圧力レンジ制御圧力範囲

コントロールバルブＣV値調圧精度

（オートゼロ実施後）供給圧力範囲

耐圧外部リーク

使用可能温度範囲

供給電源電圧

圧力設定/出力信号接ガス部材質

接続継手・寸法

F.S. 150/300/500 kPa abs. 1～100 ％ ※１

L Type：0.0055 / M Type：0.011 / H Type：0.03F.S.150 kPa abs.[1～40 %：±0.2 %F.S.、40～100 %：±0.5 %S.P.]

F.S.300/500 kPa abs.[1～20 %：±0.1 %F.S.、20～100 %：±0.5 %S.P.]

1 MPaG

0ｰ5 VDC/0ｰ5 VDCSUS316L、NiｰCo Alloy、FS9

1.5 Wseal®（79.8 mm）、 1/4”UJR（124 mm）、 1.125 Wseal®（92 mm）

F.S.13.3 kPa abs.（100Torr）1～100 ％

ー1～40 ％：±0.2 ％F.S.

40～100 ％：±0.5 ％S.P. 0～200 kPaG

200 kPaG

0ｰ10 VDC/0ｰ10 VDC SUS316L、NiｰCo Alloy

1.5 Wseal®（79.8 mm）、1/4”UJR（124 mm）

ー～897.3 kPaG

< 1.0×10 ｰ10 Pa・m3/sec. 0～50 ℃（精度保証温度範囲：15～35 ℃） ※2

アナログ：±15 VDC（消費電流 +15 V 120 mA、ー15 V 120 mA）DeviceNetTM：+11～+25 VDC、4.0 W

UPC®（Downstream pressure controller）

UPCUS®（Upstream pressure controller）

※１： 制御範囲：UPCUSの制御範囲は条件により変わります。詳細は弊社までご連絡願います。※２： 精度保証温度範囲は１５～５０℃のＨＴ５０タイプのオプション対応が可能です。

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ガス供給系の圧力制御

MOソースタンクの圧力制御

UPC 4J2C C150 Lｰ ｰアナログ入出力下流側圧力制御

面間：124mm配管高さ:12.7mm F.S.圧力レンジ：150kPa abs コントロールバルブCV値：0.0055

〈仕様〉

〈品番表示例〉

品番表示FCSP7302

② ③① ④ ⑤ ⑦⑥ ⑧ ⑨シリーズ表示①

7002:F10~F240010 SCCM~2.4SLM7003:F3L~F10L3 SLM～10 SLM

通信仕様②

F300： 300 SCCMF4L: 4 SLM

フルスケール流量⑥

B1： 10-20 SCCMB2： 21-40 SCCMB3： 41-80 SCCMB4： 81-160 SCCMB5： 161-300 SCCMB6： 301-600 SCCMB7： 601-1000 SCCMB8： 1001- 2000 SCCMB9： 2001- 4000 SCCM

（N2換算流量）

Bin No.⑧

D: DeviceNetTM機能選択E: EtherCAT®機能選択R: RS485機能選択

機能⑨

化学式

ガス名⑦4CW2： 1.125、Wseal®シールピッチ92 mm4CC2： 1.125、Cseal　シールピッチ92 mm

継手型式面間又はシールピッチ⑤

D　： DeviceNetTM

E　: EtherCAT®R　: RS485

制御条件③W2 ： ワイドレンジ 200TorrW4 ： ワイドレンジ 400Torr

精度保証温度範囲④無し ： 15～35 ℃T5 ： 15～50 ℃

FCS P7302 D W2 (-T5) - 4CW2 - F300 /N2 - B7 D*

7 8

UPC® Seriesオートプレッシャーコントローラ（自動圧力制御器）

内蔵した圧力センサで圧力を一定に保ちます動作原理

電気信号で任意の圧力が設定可能ですマスフロの上流に接続すると、極めて安定な流量制御が可能です一つのラインにマスフロが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフロに影響を与えることがありますこの場合、UPC®シリーズを使用することにより他のマスフロに与える影響を防止できます（下流圧制御タイプ）UPCUS®（上流圧制御タイプ）は、MOｰCVDなどの液体ソースの内圧を一定に保ち、気化量の安定性を向上しますウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能です高温タイプ（150℃、250℃）・流量モニタ付モデルもラインアップ

アプリケーション

名称

圧力レンジ制御圧力範囲

コントロールバルブＣV値調圧精度

（オートゼロ実施後）供給圧力範囲

耐圧外部リーク

使用可能温度範囲

供給電源電圧

圧力設定/出力信号接ガス部材質

接続継手・寸法

F.S. 150/300/500 kPa abs. 1～100 ％ ※１

L Type：0.0055 / M Type：0.011 / H Type：0.03F.S.150 kPa abs.[1～40 %：±0.2 %F.S.、40～100 %：±0.5 %S.P.]

F.S.300/500 kPa abs.[1～20 %：±0.1 %F.S.、20～100 %：±0.5 %S.P.]

1 MPaG

0ｰ5 VDC/0ｰ5 VDCSUS316L、NiｰCo Alloy、FS9

1.5 Wseal®（79.8 mm）、 1/4”UJR（124 mm）、 1.125 Wseal®（92 mm）

F.S.13.3 kPa abs.（100Torr）1～100 ％

ー1～40 ％：±0.2 ％F.S.

40～100 ％：±0.5 ％S.P. 0～200 kPaG

200 kPaG

0ｰ10 VDC/0ｰ10 VDC SUS316L、NiｰCo Alloy

1.5 Wseal®（79.8 mm）、1/4”UJR（124 mm）

ー～897.3 kPaG

< 1.0×10 ｰ10 Pa・m3/sec. 0～50 ℃（精度保証温度範囲：15～35 ℃） ※2

アナログ：±15 VDC（消費電流 +15 V 120 mA、ー15 V 120 mA）DeviceNetTM：+11～+25 VDC、4.0 W

UPC®（Downstream pressure controller）

UPCUS®（Upstream pressure controller）

※１： 制御範囲：UPCUSの制御範囲は条件により変わります。詳細は弊社までご連絡願います。※２： 精度保証温度範囲は１５～５０℃のＨＴ５０タイプのオプション対応が可能です。

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ガス供給系の圧力制御

MOソースタンクの圧力制御

UPC 4J2C C150 Lｰ ｰアナログ入出力下流側圧力制御

面間：124mm配管高さ:12.7mm F.S.圧力レンジ：150kPa abs コントロールバルブCV値：0.0055

〈仕様〉

〈品番表示例〉

品番表示FCSP7302

② ③① ④ ⑤ ⑦⑥ ⑧ ⑨シリーズ表示①

7002:F10~F240010 SCCM~2.4SLM7003:F3L~F10L3 SLM～10 SLM

通信仕様②

F300： 300 SCCMF4L: 4 SLM

フルスケール流量⑥

B1： 10-20 SCCMB2： 21-40 SCCMB3： 41-80 SCCMB4： 81-160 SCCMB5： 161-300 SCCMB6： 301-600 SCCMB7： 601-1000 SCCMB8： 1001- 2000 SCCMB9： 2001- 4000 SCCM

（N2換算流量）

Bin No.⑧

D: DeviceNetTM機能選択E: EtherCAT®機能選択R: RS485機能選択

機能⑨

化学式

ガス名⑦4CW2： 1.125、Wseal®シールピッチ92 mm4CC2： 1.125、Cseal　シールピッチ92 mm

継手型式面間又はシールピッチ⑤

D　： DeviceNetTM

E　: EtherCAT®R　: RS485

制御条件③W2 ： ワイドレンジ 200TorrW4 ： ワイドレンジ 400Torr

精度保証温度範囲④無し ： 15～35 ℃T5 ： 15～50 ℃

FCS P7302 D W2 (-T5) - 4CW2 - F300 /N2 - B7 D*

7 8

外観寸法

アクセサリー

関連製品

品番表示

② ③① ④ ⑤ ⑥ ⑧⑦

FCSP7000

FCSP8000

P: PRESSURE CONTROLLER

シリーズ表示①

F10-F240010S CCM~2.4 SLM

8002②

供給圧力⑥

F10： 10SCCMF1L： 1SLM（詳細は表1‒1～3参照）

フルスケール圧力レンジ（小流量側）⑦

なし： 標準タイプ　A： ASタイプ　B： Bタイプ

なし： 標準タイプ　A： ASタイプ　B： Bタイプ

供給圧力⑧

D： DeviceNetTM 通信

通信③

4CW2： 1.125 Wseal® シールピッチ92 mm

継手型式面間又はシールピッチ④

F10： 10SCCMF1L： 1SLM（詳細は表1‒1～3参照）

フルスケール圧力レンジ（大流量側）⑤

No. 流量レンジタイプ 流量レンジ （N2ガス）1 F300, F20 300 ～ 1.02 F1L, F50 1000 ～ 3.03 F2L, F100 2000 ～ 6.04 F50B, F6B 50 ～ 1.05 F200B, F28B 200 ～ 4.06 F500B, F64B 500 ～ 107 F1LB, F122B 1000 ～ 20

AP7000（WR） 124

C141.5

D67.8

E39

H25

I25

UPC® 106/124 128 70.5 28.1 25 18

J68―

No. 流量レンジタイプ 流量レンジ （N2ガス）1 F100, F10 100 ～ 1.02 F500, F50 500 ～ 5.03 F1L, F100 1000 ～ 104 F2L, F200 2000 ～ 205 F50B, F13B 50 ～ 3.56 F100B, F28B 100 ～ 7.07 F200B, F50B 200 ～ 148 F500B, F125B 500 ～ 359 F1LB, F250B 1000 ～ 70

No. 流量レンジタイプ 流量レンジ （N2ガス）1 F100, F20 100 ～ 　32 F200, F30 200 ～ 　63 F500, F80 500 ～ 　154 F1L, F160 1000 ～ 　305 F2L, F300 2000 ～　 606 F50B, F20B 50 ～ 　7.57 F100B, F39B 100 ～ 　158 F200B, F83B 200 ～ 　309 F300B, F122B 300 ～ 　4510 F500B, F180B 500 ～ 　7511 F1LB, F375B 1000 ～ 150

② ③① ④ ⑤ ⑦⑥ ⑧ ⑩⑨

標準タイプ 低圧ASタイプ 低圧Bタイプ（N2ガス、単位：SCCM、SLM）表2　フルスケール流量レンジ一覧表　

表1-1　流量レンジ一覧表（2次圧最大： 50 torr） 表1-2　流量レンジ一覧表（2次圧最大： 100 torr） 表1-3　流量レンジ一覧表（2次圧最大： 150 torr）

F10 F160 F1L F27A F300A F39B F375BF20 F200 F1300 F37A F500A F50B F850BF30 F210 F1600 F50A F680A F64B F1LBF40 F260 F2L F65A F1LA F83BF43 F300 F2400 F100A F2300A F100BF50 F400 F3L F115A F122BF65 F450 F5L F133A F145BF80 F500 F7L F160A F180BF100 F600 F10L F200A F200BF110 F850 F285A F250BF130

UJRタイプ

AP7000(WR) 79.8

B93

C141.5

D67.8

E39

G30

UPC® 79.8 93 128 70.5 39 30

IGS®1.5Wseal®タイプ

AP7000/P8000 92

B105

C127

D82.6

E28.5

G21.8

UPC®/UPCUS® 92 105 128 70.5 28.5 21.8

IGS®1.125Wseal®タイプ

専用電源＋分岐アダプタ

150℃高温対応FCS®

シグナルチェッカー一式

高温（150 ℃）対応FCS®本体

高温対応FCS®用 別置制御回路

流量測定システム FFMS®（ Flow Measurment System）

シグナルチェッカー（本体）

D

BJ

(C)

H

A

D

GE

A

（C）

IE

接続： UJR Type 接続： Wseal® Type

P: PRESSURE CONTROLLER

シリーズ表示①

7002:F10~F240010 SCCM~2.4 SLM7003:F3L~F10L3 SLM～10 SLM

7010②

F10： 10 SCCMF1L： 1 SLM

（詳細は表2参照）

フルスケール⑦無し： 標準タイプ（250 kPaG） A： 低圧ASタイプ（20 kPaG）　B： 低圧Bタイプ（50 kPaG）

圧力条件（最小供給圧力）⑧

A0： 流量自己診断機能未搭載A1： 流量自己診断を単独で実施する。A3： オートゼロを実施した後、流量自己診断を実施する。

機能・オプション⑨無し： UP処理

表面処理⑩

4 J 2： 1/4UJR面間124 mm 配管高さ25 mm4 P 2： 1/4UPG面間115 mm 配管高さ25 mm4WS1： 1.5Wseal®シールピッチ79.8 mm4CW2： 1.125Wseal®シールピッチ92 mm

注: 一部の継手形状はDeviceNetTMに対応　　していない場合があります。

継手型式面間又はシールピッチ⑥無し： アナログ通信D ： DeviceNetTM 通信

通信③

無し： 標準W ： ワイドレンジ

制御範囲④

無 し： 15～35 ℃HT50： 15～50 ℃

精度保証温度範囲⑤

9 10最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c71201よりダウンロードできます。 最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c71201よりダウンロードできます。

外観寸法

アクセサリー

関連製品

品番表示

② ③① ④ ⑤ ⑥ ⑧⑦

FCSP7000

FCSP8000

P: PRESSURE CONTROLLER

シリーズ表示①

F10-F240010S CCM~2.4 SLM

8002②

供給圧力⑥

F10： 10SCCMF1L： 1SLM（詳細は表1‒1～3参照）

フルスケール圧力レンジ（小流量側）⑦

なし： 標準タイプ　A： ASタイプ　B： Bタイプ

なし： 標準タイプ　A： ASタイプ　B： Bタイプ

供給圧力⑧

D： DeviceNetTM 通信

通信③

4CW2： 1.125 Wseal® シールピッチ92 mm

継手型式面間又はシールピッチ④

F10： 10SCCMF1L： 1SLM（詳細は表1‒1～3参照）

フルスケール圧力レンジ（大流量側）⑤

No. 流量レンジタイプ 流量レンジ （N2ガス）1 F300, F20 300 ～ 1.02 F1L, F50 1000 ～ 3.03 F2L, F100 2000 ～ 6.04 F50B, F6B 50 ～ 1.05 F200B, F28B 200 ～ 4.06 F500B, F64B 500 ～ 107 F1LB, F122B 1000 ～ 20

AP7000（WR） 124

C141.5

D67.8

E39

H25

I25

UPC® 106/124 128 70.5 28.1 25 18

J68―

No. 流量レンジタイプ 流量レンジ （N2ガス）1 F100, F10 100 ～ 1.02 F500, F50 500 ～ 5.03 F1L, F100 1000 ～ 104 F2L, F200 2000 ～ 205 F50B, F13B 50 ～ 3.56 F100B, F28B 100 ～ 7.07 F200B, F50B 200 ～ 148 F500B, F125B 500 ～ 359 F1LB, F250B 1000 ～ 70

No. 流量レンジタイプ 流量レンジ （N2ガス）1 F100, F20 100 ～ 　32 F200, F30 200 ～ 　63 F500, F80 500 ～ 　154 F1L, F160 1000 ～ 　305 F2L, F300 2000 ～　 606 F50B, F20B 50 ～ 　7.57 F100B, F39B 100 ～ 　158 F200B, F83B 200 ～ 　309 F300B, F122B 300 ～ 　4510 F500B, F180B 500 ～ 　7511 F1LB, F375B 1000 ～ 150

② ③① ④ ⑤ ⑦⑥ ⑧ ⑩⑨

標準タイプ 低圧ASタイプ 低圧Bタイプ（N2ガス、単位：SCCM、SLM）表2　フルスケール流量レンジ一覧表　

表1-1　流量レンジ一覧表（2次圧最大： 50 torr） 表1-2　流量レンジ一覧表（2次圧最大： 100 torr） 表1-3　流量レンジ一覧表（2次圧最大： 150 torr）

F10 F160 F1L F27A F300A F39B F375BF20 F200 F1300 F37A F500A F50B F850BF30 F210 F1600 F50A F680A F64B F1LBF40 F260 F2L F65A F1LA F83BF43 F300 F2400 F100A F2300A F100BF50 F400 F3L F115A F122BF65 F450 F5L F133A F145BF80 F500 F7L F160A F180BF100 F600 F10L F200A F200BF110 F850 F285A F250BF130

UJRタイプ

AP7000(WR) 79.8

B93

C141.5

D67.8

E39

G30

UPC® 79.8 93 128 70.5 39 30

IGS®1.5Wseal®タイプ

AP7000/P8000 92

B105

C127

D82.6

E28.5

G21.8

UPC®/UPCUS® 92 105 128 70.5 28.5 21.8

IGS®1.125Wseal®タイプ

専用電源＋分岐アダプタ

150℃高温対応FCS®

シグナルチェッカー一式

高温（150 ℃）対応FCS®本体

高温対応FCS®用 別置制御回路

流量測定システム FFMS®（ Flow Measurment System）

シグナルチェッカー（本体）

D

BJ

(C)

H

A

D

GE

A

（C）

IE

接続： UJR Type 接続： Wseal® Type

P: PRESSURE CONTROLLER

シリーズ表示①

7002:F10~F240010 SCCM~2.4 SLM7003:F3L~F10L3 SLM～10 SLM

7010②

F10： 10 SCCMF1L： 1 SLM

（詳細は表2参照）

フルスケール⑦無し： 標準タイプ（250 kPaG） A： 低圧ASタイプ（20 kPaG）　B： 低圧Bタイプ（50 kPaG）

圧力条件（最小供給圧力）⑧

A0： 流量自己診断機能未搭載A1： 流量自己診断を単独で実施する。A3： オートゼロを実施した後、流量自己診断を実施する。

機能・オプション⑨無し： UP処理

表面処理⑩

4 J 2： 1/4UJR面間124 mm 配管高さ25 mm4 P 2： 1/4UPG面間115 mm 配管高さ25 mm4WS1： 1.5Wseal®シールピッチ79.8 mm4CW2： 1.125Wseal®シールピッチ92 mm

注: 一部の継手形状はDeviceNetTMに対応　　していない場合があります。

継手型式面間又はシールピッチ⑥無し： アナログ通信D ： DeviceNetTM 通信

通信③

無し： 標準W ： ワイドレンジ

制御範囲④

無 し： 15～35 ℃HT50： 15～50 ℃

精度保証温度範囲⑤

9 10最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c71201よりダウンロードできます。 最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c71201よりダウンロードできます。

FCSP7000応用製品高温対応

オリフィスを取り外すことにより、自動圧力制御器として製品化

下流圧力が高く、臨界膨張条件が成立しない範囲で差圧制御。

本体にオリフィスを2個内蔵し、バルブ切替により1台で2レンジ制御

液体材料供給用150 ℃対応FCS®液体材料供給用250 ℃対応FCS®　※設定可能最高温度： 220 ℃FALVS（液体材料ガスコントロールシステム）

250℃高温対応FCS®

高温（250℃）対応FCS®本体

高温対応FCS®用 別置制御回路

下流側にオリフィス内蔵弁を設置し、流量の立上げ時のオーバーシュートレスを実現

FCSWP7000（過渡応答対策FCS®）

P T供給圧力 Ｐ０

Ｐ1 Ｐ2

コントロールバルブ

圧力センサ（絶対圧基準）

デジタル制御回路

エアーオペレートバルブ

オリフィス内蔵弁

制御流量

入出力信号

ON/OFF信号

FCSP7000W 高温対応

気化部

高温FCS®

UPC®シリーズ FCSWP7000

FCSP8000

Flow Control System圧力式流量制御器

FCSP7000

FALVS®（　　　　　　Advance Liquid Vaporize System, 　　　　　　　　　　　　　　液体材料ガスコントロールシステム）

●液体材料供給は気化部上流オリフィスと空圧弁で制御●気化部の加熱温度に応じた蒸気圧を発生●気化器内は3つのチャンバで構成（ガスの充分な加熱とFCS®への液体流入防止）

●供給圧変動による流量変動がない、高精度、高速応答　→気化器の温度制御が容易（最小供給圧力と圧力センサ耐圧の間になるような温度設定）

FALVS®本体 FALVS®用別置制御回路

オリフィスガスケット オリフィス

液体

制御された気体気体 高温FCS®

気化部：3つのチャンバで構成

FALVS®は液体材料を気化し、気体流量を精密に制御する機器

11 12

下流側バルブスタート信号

差圧センサ出力信号

オーバーシュートなし

200msec

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機械部品賞受賞

超モノづくり部品大賞

2010年

特別賞受賞第6回モノづくり連携大賞

2011年

FCSP7000応用製品高温対応

オリフィスを取り外すことにより、自動圧力制御器として製品化

下流圧力が高く、臨界膨張条件が成立しない範囲で差圧制御。

本体にオリフィスを2個内蔵し、バルブ切替により1台で2レンジ制御

液体材料供給用150 ℃対応FCS®液体材料供給用250 ℃対応FCS®　※設定可能最高温度： 220 ℃FALVS（液体材料ガスコントロールシステム）

250℃高温対応FCS®

高温（250℃）対応FCS®本体

高温対応FCS®用 別置制御回路

下流側にオリフィス内蔵弁を設置し、流量の立上げ時のオーバーシュートレスを実現

FCSWP7000（過渡応答対策FCS®）

P T供給圧力 Ｐ０

Ｐ1 Ｐ2

コントロールバルブ

圧力センサ（絶対圧基準）

デジタル制御回路

エアーオペレートバルブ

オリフィス内蔵弁

制御流量

入出力信号

ON/OFF信号

FCSP7000W 高温対応

気化部

高温FCS®

UPC®シリーズ FCSWP7000

FCSP8000

Flow Control System圧力式流量制御器

FCSP7000

FALVS®（　　　　　　Advance Liquid Vaporize System, 　　　　　　　　　　　　　　液体材料ガスコントロールシステム）

●液体材料供給は気化部上流オリフィスと空圧弁で制御●気化部の加熱温度に応じた蒸気圧を発生●気化器内は3つのチャンバで構成（ガスの充分な加熱とFCS®への液体流入防止）

●供給圧変動による流量変動がない、高精度、高速応答　→気化器の温度制御が容易（最小供給圧力と圧力センサ耐圧の間になるような温度設定）

FALVS®本体 FALVS®用別置制御回路

オリフィスガスケット オリフィス

液体

制御された気体気体 高温FCS®

気化部：3つのチャンバで構成

FALVS®は液体材料を気化し、気体流量を精密に制御する機器

11 12

下流側バルブスタート信号

差圧センサ出力信号

オーバーシュートなし

200msec

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機械部品賞受賞

超モノづくり部品大賞

2010年

特別賞受賞第6回モノづくり連携大賞

2011年

FCS®-Thermalシリーズ

製品ラインアップ

・圧力センサ内蔵

・急激な圧力変動による 影響を極限まで軽減 （Pressure Insensitive）

・MGMR機能

・耐食ハステロイセンサ搭載

・流量精度： ±1.0 ％ S.P.

≦1 sec

表面処理

PI

EP

PI機能搭載モデル

通信方式

接続継手

＋24V駆動（4–20mA）

PROFIBUSCC–Link

±15 V駆動 0-5 VDC

RS485

DeviceNetTM

EtherCAT®

ユニオンガスケット式（UJR Type）2圧縮リング方式（F900 Type）

1.5 Wseal®1.125 Wseal®1.125 Cseal

1.5 Wseal®1.125 Wseal®1.125 Cseal

1.5 Wseal®1.125 Wseal®1.125 Cseal

1.5 Wseal®1.125 Wseal®1.125 Cseal

集積タイプ（ IGS® Type）

※1： MR仕様： ご指定のフルスケール流量の1/3までの流量変更が可能。MG仕様： 4種類までのガステーブル（ガス種： 流量）の登録が可能。※2： アナログインターフェース： D-sub9ピン。※3： デジタルインターフェース： RS485通信の場合はRJ11コネクタ。

EtherCAT®

DeviceNetTM

RS485

＋24V駆動（0–5VDC）±15V駆動（0–5VDC）

1/4 UJR

－

MGMR機能

応答性

流量精度

シール部材質

シリーズ名

特長

マスフローメータRoHS対応

流量制御機器シリーズ

PI機能

デジタル

アナログ※2

※3

10 SCCM - 50 SLM

FCS-T1000MP

±1.0 ％ S.P. （25-100 ％）±0.25 ％ F.S. （2-25 ％）

・流量精度： ±1.0 ％ F.S.

・全流量域： 応答性1 sec以内

・24 V駆動モデル、

・下記通信方式にも対応 　 PROFIBUS 　 CC-Link

・特殊仕様対応

≦1 sec

EP

デジタルスタンダードモデル

±15 V駆動 0-5 VDC

PROFIBUS

RS485

DeviceNetTM

EtherCAT®

1/4 UJR

1/4 F900

10 SCCM - 50 SLM

FCS-T1000F

±1.0 ％ F.S.

・MGMR（ガス種、 フルスケール流量の 変更可能）機能

・耐食ハステロイセンサ搭載

・流量精度： ±1.0 ％ S.P.

≦1 sec

EP

MGMRモデル

±15 V駆動 0-5 VDC

RS485

DeviceNetTM

EtherCAT®

1/4 UJR

1/4 F900

メタルのみオプション

メタルのみオプション

メタルのみ

10 SCCM - 50 SLM

FCS-T1000Z

±1.0 ％ S.P. （25-100 ％）±0.25 ％ F.S. （2-25 ％）

流量レンジ（N2換算）ラバー

＋24 V駆動 4-20 mA ＋24 V駆動 4-20 mA

＋24 V駆動 0-5 VDC ＋24 V駆動 0-5 VDC

マスフローメータ マスフローメータ

・最大流量1000 SLM

・流量精度： ±1.0 ％ F.S.（～200 SLM） ±2.0 ％ F.S.（201 SLM～）

・応答速度： 3 sec以内

≦3 sec

EP

大流量モデル

±15 V駆動 0-5 VDC

RS485

DeviceNetTM

－

3/8 UJR（T1200）1/2 UJR（T1500）

3/8 F900（T1200）1/2 F900（T1500）

51 - 1000 SLM

FCS-T1200FFCS-T1500F

±1.0 ％ F.S.（T1200）±2.0 ％ F.S.（T1500）

メタルのみオプション

＋24 V駆動 4-20 mA

＋24 V駆動 0-5 VDC

マスフローメータ

ラバーのみ

ラバーのみ

・50～80 ℃ （80 ℃を超える温度で ご使用の場合は、 お問い合わせ下さい）

≦1 sec（10 SCCM - 50 SLM）≦3 sec（51 - 150 SLM）

EP

高温用モデル

±15 V駆動 0-5 VDC

RS485

1/4 UJR（T1000M）3/8 UJR（T1200MF）1/4 F900（T1000M）3/8 F900（T1200MF）

10S CCM - 150 SLM

FCS-T1000M（Z）F-HTFCS-T1200MF-HT

±1.0 ％ S.P. （25-100 ％）　　　　　　　（T1000MZF）±0.25 ％ F.S. （2-25 ％）　　　　　　（T1000MZF）±1.0 ％ F.S. （2-100 ％）　（T1000MF、T1200MF）

＋24 V駆動 4-20 mA

＋24 V駆動 0-5 VDC

マスフローメータ

T1000のみ

T1000のみ

T1000のみ

メタル ラバーメタル ラバーメタル メタルメタル

MR MG ※1

RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS

オプション オプション

MGMR MGMR

CC-Link

DeviceNetTM T1000MF のみ

EtherCAT®EtherCAT®

13 14最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c71201よりダウンロードできます。

MEMO

FCS®-Thermalシリーズ

製品ラインアップ

・圧力センサ内蔵

・急激な圧力変動による 影響を極限まで軽減 （Pressure Insensitive）

・MGMR機能

・耐食ハステロイセンサ搭載

・流量精度： ±1.0 ％ S.P.

≦1 sec

表面処理

PI

EP

PI機能搭載モデル

通信方式

接続継手

＋24V駆動（4–20mA）

PROFIBUSCC–Link

±15 V駆動 0-5 VDC

RS485

DeviceNetTM

EtherCAT®

ユニオンガスケット式（UJR Type）2圧縮リング方式（F900 Type）

1.5 Wseal®1.125 Wseal®1.125 Cseal

1.5 Wseal®1.125 Wseal®1.125 Cseal

1.5 Wseal®1.125 Wseal®1.125 Cseal

1.5 Wseal®1.125 Wseal®1.125 Cseal

集積タイプ（ IGS® Type）

※1： MR仕様： ご指定のフルスケール流量の1/3までの流量変更が可能。MG仕様： 4種類までのガステーブル（ガス種： 流量）の登録が可能。※2： アナログインターフェース： D-sub9ピン。※3： デジタルインターフェース： RS485通信の場合はRJ11コネクタ。

EtherCAT®

DeviceNetTM

RS485

＋24V駆動（0–5VDC）±15V駆動（0–5VDC）

1/4 UJR

－

MGMR機能

応答性

流量精度

シール部材質

シリーズ名

特長

マスフローメータRoHS対応

流量制御機器シリーズ

PI機能

デジタル

アナログ※2

※3

10 SCCM - 50 SLM

FCS-T1000MP

±1.0 ％ S.P. （25-100 ％）±0.25 ％ F.S. （2-25 ％）

・流量精度： ±1.0 ％ F.S.

・全流量域： 応答性1 sec以内

・24 V駆動モデル、

・下記通信方式にも対応 　 PROFIBUS 　 CC-Link

・特殊仕様対応

≦1 sec

EP

デジタルスタンダードモデル

±15 V駆動 0-5 VDC

PROFIBUS

RS485

DeviceNetTM

EtherCAT®

1/4 UJR

1/4 F900

10 SCCM - 50 SLM

FCS-T1000F

±1.0 ％ F.S.

・MGMR（ガス種、 フルスケール流量の 変更可能）機能

・耐食ハステロイセンサ搭載

・流量精度： ±1.0 ％ S.P.

≦1 sec

EP

MGMRモデル

±15 V駆動 0-5 VDC

RS485

DeviceNetTM

EtherCAT®

1/4 UJR

1/4 F900

メタルのみオプション

メタルのみオプション

メタルのみ

10 SCCM - 50 SLM

FCS-T1000Z

±1.0 ％ S.P. （25-100 ％）±0.25 ％ F.S. （2-25 ％）

流量レンジ（N2換算）ラバー

＋24 V駆動 4-20 mA ＋24 V駆動 4-20 mA

＋24 V駆動 0-5 VDC ＋24 V駆動 0-5 VDC

マスフローメータ マスフローメータ

・最大流量1000 SLM

・流量精度： ±1.0 ％ F.S.（～200 SLM） ±2.0 ％ F.S.（201 SLM～）

・応答速度： 3 sec以内

≦3 sec

EP

大流量モデル

±15 V駆動 0-5 VDC

RS485

DeviceNetTM

－

3/8 UJR（T1200）1/2 UJR（T1500）

3/8 F900（T1200）1/2 F900（T1500）

51 - 1000 SLM

FCS-T1200FFCS-T1500F

±1.0 ％ F.S.（T1200）±2.0 ％ F.S.（T1500）

メタルのみオプション

＋24 V駆動 4-20 mA

＋24 V駆動 0-5 VDC

マスフローメータ

ラバーのみ

ラバーのみ

・50～80 ℃ （80 ℃を超える温度で ご使用の場合は、 お問い合わせ下さい）

≦1 sec（10 SCCM - 50 SLM）≦3 sec（51 - 150 SLM）

EP

高温用モデル

±15 V駆動 0-5 VDC

RS485

1/4 UJR（T1000M）3/8 UJR（T1200MF）1/4 F900（T1000M）3/8 F900（T1200MF）

10S CCM - 150 SLM

FCS-T1000M（Z）F-HTFCS-T1200MF-HT

±1.0 ％ S.P. （25-100 ％）　　　　　　　（T1000MZF）±0.25 ％ F.S. （2-25 ％）　　　　　　（T1000MZF）±1.0 ％ F.S. （2-100 ％）　（T1000MF、T1200MF）

＋24 V駆動 4-20 mA

＋24 V駆動 0-5 VDC

マスフローメータ

T1000のみ

T1000のみ

T1000のみ

メタル ラバーメタル ラバーメタル メタルメタル

MR MG ※1

RoHS RoHS RoHS RoHS RoHS

オプション オプション

MGMR MGMR

CC-Link

DeviceNetTM T1000MF のみ

EtherCAT®EtherCAT®

13 14最新のカタログは、http://www.fujikin.co.jp/go/c71201よりダウンロードできます。

MEMO

CAT: No.712-01-L