Hi-Grade Stage

取扱説明書

ハイグレードステージ（自動）Xステージ / XYステージ / Zステージ / 回転ステージ

このたびは、当社製品をお買い上げいただき、まことにありがとうございました。この取扱説明書をよくお読みのうえ、製品を正しく安全にお使いください。お読みになったあとも大切に保管し、必要なときにご活用ください。

0.75A/相

2

ハイグレードステージ（自動）

はじめに

■ この取扱説明書についてこの取扱説明書は、ハイグレードステージ（自動）の全76機種を一冊にまとめて解説してあります。お使いの機種をご確認の上、該当する項目をご覧になってください。­●­機種によっては、設置時の手順や他機器の接続が異なります。●­文章や説明図は、代表例として類似した機種が使われている場合があります。

■ ハイグレードステージ（自動）の種類ハイグレードステージ（自動）には、次の種類があります。

精密ねじ仕様 ボールねじ仕様 ボールねじ仕様移動方向とステージ面 標準型 対称型 標準型 対称型 標準型（スケール付）対称型（スケール付）

X ステージ

40mm × 40mm ALS-4011-G0M ALS-4011-G0M-R ALS-4011-G1M ALS-4011-G1M-R ALS-4011-G1M-SA ALS-4011-G1M-RSA50mm × 50mm ALS-5012-G0M ALS-5012-G0M-R ALS-5012-G1M ALS-5012-G1M-R ALS-5012-G1M-SA ALS-5012-G1M-RSA60mm × 60mm ALS-6012-G0M ALS-6012-G0M-R ALS-6012-G1M ALS-6012-G1M-R ALS-6012-G1M-SA ALS-6012-G1M-RSA70mm × 70mm ALS-7013-G0M ALS-7013-G0M-R ALS-7013-G1M ALS-7013-G1M-R ALS-7013-G1M-SA ALS-7013-G1M-RSA

XY ステージ

40mm × 40mm ALD-4011-G0M ALD-4011-G0M-R ALD-4011-G1M ALD-4011-G1M-R ALD-4011-G1M-SA ALD-4011-G1M-RSA50mm × 50mm ALD-5012-G0M ALD-5012-G0M-R ALD-5012-G1M ALD-5012-G1M-R ALD-5012-G1M-SA ALD-5012-G1M-RSA60mm × 60mm ALD-6012-G0M ALD-6012-G0M-R ALD-6012-G1M ALD-6012-G1M-R ALD-6012-G1M-SA ALD-6012-G1M-RSA70mm × 70mm ALD-7013-G0M ALD-7013-G0M-R ALD-7013-G1M ALD-7013-G1M-R ALD-7013-G1M-SA ALD-7013-G1M-RSA

Z ステージ

40mm × 40mm ALZ-4011-G0M ALZ-4011-G0M-R ALZ-4011-G1M ALZ-4011-G1M-R ALZ-4011-G1M-SA ALZ-4011-G1M-RSA50mm × 50mm ALZ-5012-G0M ALZ-5012-G0M-R ALZ-5012-G1M ALZ-5012-G1M-R ALZ-5012-G1M-SA ALZ-5012-G1M-RSA60mm × 60mm ALZ-6012-G0M ALZ-6012-G0M-R ALZ-6012-G1M ALZ-6012-G1M-R ALZ-6012-G1M-SA ALZ-6012-G1M-RSA70mm × 70mm ALZ-7013-G0M ALZ-7013-G0M-R ALZ-7013-G1M ALZ-7013-G1M-R ALZ-7013-G1M-SA ALZ-7013-G1M-RSA

回転ステージ

φ 40mm ARS-4036-GMφ 50mm ARS-5036-GMφ 60mm ARS-6036-GMφ 70mm ARS-7036-GM

目次7­ コントローラ、接続ケーブル（別売）­........... 38­ 7-1.­ 接続方法­................................................. 38­ 7-2.­­コントローラ、接続ケーブル（別売）­...38­ 7-3.­­コントローラの設定­.............................. 39­ ­ ■­ステージのセンサ論理­.................... 39­ ­ ■­パラメータの設定­............................ 39­ ­ ■­ディップスイッチの設定­................. 40­ 7-4.­­クローズドループ制御時の設定について­..40­ 7-5.­­表示単位の設定­..................................... 408­ ステージの保守について­.................................419­ アクセサリ­........................................................ 4210­ 保証と修理­....................................................... 44

1­ 特長­ ­....................................................................32­ 付属品­..................................................................33­ 使用上のご注意­..................................................44­ 設置方法­..............................................................6­ 4-1.­­設置上のご注意­........................................6­ 4-2.­­ステージの設置（スケール付を除く）­...6­ 4-3.­­スケール付XYステージの設置­............7­ 4-4.­­設置を行う際のステージの移動について­..75­ スケール付ハイグレードステージに­ ついて­..................................................................8­ 5-1.­­QT-AMH2Aを使用する場合.................8­ ­ ■­接続図...................................................9­ ­ ■QT-AMH2Aの設定............................9­ 5-2.­­QT-AMH2Aを使用しない場合­.............96­ 主な仕様­............................................................10­ 6-1.­ ステージ仕様­..........................................10­ 6-2.­­モータ仕様­............................................. 36­ 6-3.­­モータ内部結線­..................................... 36­ 6-4.­­コネクタ仕様­......................................... 37­ 6-5.­­センサ仕様­............................................. 37­ 6-6.­ リミット、原点信号の動作論理­.......... 37

3

ハイグレードステージ（自動）

1 特長

豊富なラインアップハイグレードステージ（自動）は、ステージ面サイズが4種類（40mm/50mm/60mm/70mm）、コネクタやセンサハウジングの取り付け位置が異なる標準型と対称形の2種類（X/XY/Zステージ）、その他、クローズドループ制御可能なスケール付など全76種類をラインアップ。さまざまな使用目的に対応します。本体のカラーは、光学系装置への影響を考慮した黒色で統一しました。

原点センサを全機種に標準搭載ハイグレードステージ（自動）全76機種に原点センサ（フォトセンサ）を標準で搭載。高精度の原点復帰が可能です。

RoHS 指令に適合ハイグレードステージ（自動）は、すべてRoHS指令に適合しています。ステッピングモータにRoHS指令適合の高性能モータ（高速仕様0.75A/相）を採用しています。

HG-VCR 方式を採用（X / XY / Z ステージ）新開発のHG-VCR方式を採用。HG-VCR方式は従来のVCR方式と比較した場合、大きい径のクロスローラを数多く入れることができるため、本体サイズを大型化することなく高耐荷重・高精度を実現しました。さらに、HG-VCR方式は耐衝撃性にも優れ、高い剛性を誇ります。

軽量・高剛性（X / XY / Z ステージ）本体にはアルミ合金を採用して軽量化を図り、一部のガイドレールを一体構造とすることで高剛性を実現しました。

従来製品と取り付け互換を維持（回転ステージ）回転ステージは、従来製品MM-40/60シリーズとの取り付け互換を維持した上で（φ40mm/φ60mm）、内部構造の見直しにより高精度を実現しました。

2 付属品

本製品の付属品は下記のとおりです。開梱時にすべての付属品が揃っているかご確認ください。万一不足しているものがありましたら、当社営業部までご連絡ください。

六角穴付きボルト（ステージ設置用）　M3（ステージ面サイズ­40mm／50mm用） ................................4 本（3 本）　M4（ステージ面サイズ­60mm／70mm用） ................................4 本（3 本）­ ­ ­ ­ ­ ­ ­ ­　　­­（­）は回転ステージ

検査合格証 ......................................................................................................1枚

接続ケーブル、コントローラは別売です。

エンコーダ接続ケーブル（スケール付タイプにのみ付属） ..............................1本­

4

ハイグレードステージ（自動）

3 使用上のご注意衝撃を与えないでください本製品は精密部品で構成されています。衝撃を与えたり、他の機器からの振動の悪影響を受ける恐れのあるところで使用しないでください。保証された精度内の動作が行えなくなります。

分解や改造をしないでください。本製品は精密に調整されていますので、分解や改造は絶対に行わないでください。故障や動作不良の原因になります。分解や改造を起因とする精度低下や故障が発生した場合、保証が適用できなくなります。改造や追加工が必要な場合には、当社営業部までご相談ください。

ステージ面に他の器具を取り付ける時は①本製品のステージ面に別の器具などを取り付ける場合は、取り付けねじの長さに注意してください。

ステージの種類 ねじの径 テーブル上面への取り付けの場合

ベース下面への取り付けの場合

X/XY/Z M3 8mm以下 6mm以下M4 10mm以下 8.5mm以下

回転 M2 3.5mm以下 ーM3 6mm以下 ー

長すぎる場合、破損の原因となりますので注意してください。詳しくは、「6.主な仕様」を参照してください。

ステージ面に他の器具を取り付ける時は②本製品のステージ面に別の器具などを取り付ける場合は、移動部に無理な力がかからないように移動部をしっかり固定した状態で取り付けを行ってください。移動部を固定しないで力をかけると精度に影響したり、破損する場合がありますので注意してください。

5

ハイグレードステージ（自動）

磁気記録媒体を近づけないでくださいステージに使用されているモータには強力なマグネットが使われています。磁気記録媒体をステージに近づけないでください。データを破損する恐れがあります。

使用環境にご注意ください温度の極端に高いところや低いところ、温度の変化の激しいところ、ほこりの多いところなどでは使用しないでください。本製品は、周囲温度10〜 40℃ /湿度20〜80％RHでご使用ください。

移動中のステージに触れないでくださいコントローラによる操作を行っているときは、移動中のステージに触れたり、手動ハンドルに触れたりしないでください。正確な動作ができなくなり、故障や動作不良の原因となります。また、指などを巻き込みけがをする恐れがあります。使用中モータは発熱しています。火傷の恐れがありますので、モータには触れないよう十分ご注意ください。

異常が発生したら使用中に異音・異臭・発煙などが発生した場合は、すぐに使用を中止し、コントローラ（ドライバ）の電源をOFFにし電源プラグをコンセントから抜き、お買い上げの販売店または当社営業部までご連絡ください。­

10℃～40℃

6

ハイグレードステージ（自動）

Zステージ

X / XYステージ

回転ステージ

締め付け順序

①

②

③

④

4 設置方法

4-1. 設置上のご注意●­ステージはしっかりとした作業台などに、付属の六角穴付きボルトで設置してください。●­取り付け穴の間隔や六角穴付きボルト径は、機種によって異なります。「6.­主な仕様」（P.10）を参照して、設置面にあらかじめねじ穴加工などを施してください。

●­スケール付XYステージを設置するときは、スケールセンサ部のカバーを外す必要があります。「4-3.­スケール付XYステージの設置」（P.7）を参照してください。

●­X­/­XYステージを設置するときは、テーブルを移動して取り付け穴を露出させる必要があります。テーブルの移動については、「4-4.­設置を行う際のステージの移動について」（P.7）を参照してください。

●­ステージを設置する面の平面度が悪いと、性能を十分に発揮できないだけでなく故障や動作不良の原因にもなります。設置面の精度には十分配慮してください。

●­設置面とステージ裏面のゴミの付着や傷にご注意ください。●­ステージ設置の際、手動でテーブルを移動させたときは、設置終了後必ず手動でテーブルを中央付近に戻してください。移動したままの状態では、リミットセンサの検知範囲外になっている場合があり、そのままモータ駆動を行うと故障や誤動作の原因となります。（X­/­XY­/­Zステージのみ）

4-2. ステージの設置（スケール付 XY ステージを除く）Zステージは、ブラケットの穴を使用して設置します。回転ステージは、ステージ上面の穴（3か所）からねじを挿入して固定します。Xステージ設置用の取り付け穴は、テーブルの下に隠れていますので、テーブルを以下の手順で移動し、設置を行ってください。※­XYステージの場合もXステージと同様に、下軸のテーブルを移動してください。

1­ テーブルを移動し、取り付け穴①②を露出させます。2­ 付属の六角穴付きボルトを挿入し、六角レンチを使用してボルトを軽く締めます（ここでは仮止め）。

3­ テーブルを反対方向に移動し、取り付け穴③④を露出させ、同様に付属のボルトで確実に固定します。

4­ テーブルを手順2の位置に戻し、仮止めしたボルト①②を確実に固定します。

7

ハイグレードステージ（自動）

4-3. スケール付 XY ステージの設置スケール付XYステージを設置する場合は、上軸スケールセンサ部のカバーを外す必要があります。以下の手順に従って設置を行ってください。

1­ 上軸のスケールセンサ部のセンサカバー固定ねじ2本を外し、センサカバーを外します。2­ カバーを外すと六角レンチ挿入口（2か所）がありますので、下軸のステージを移動して取り付け穴と一致させます。※­上軸ステージのテーブル位置によっては、取り付け穴が露出しない場合があります。そのような場合は上軸ステージも移動させてください。

3­ 上軸と下軸の隙間から付属の六角穴付きボルトを挿入します。4­ 六角レンチを使用してボルトを軽く締めます（ここでは仮止め）。5­ 上軸を反対方向に移動し、取り付け穴を露出させ、同様に付属のボルトで確実に固定します。6­ 再度、反対側のボルトが露出する位置まで上軸を移動し、確実に固定します。7­ カバーを元の位置に戻し、センサカバー固定ねじで固定します。

4-4. 設置を行う際のステージの移動についてステージの移動は、ハンドルを回して手動で行う方法と、コントローラ（ドライバ）制御による自動で行う2つの方法があります。

注意●­手動でステージを移動する場合は、必ずコントローラの電源を “OFF” にして行ってください。コントローラの電源を入れたまま手動ハンドルを回すと、故障や動作不良の原因となります。

●­自動でステージを移動する場合は、指や工具を挟まないように注意してください。故障や動作不良の原因となるばかりではなく、けがをする恐れがあります。

●­自動でステージを移動させた場合にステージの種類よっては、取り付け穴が見えないものがあります。そのような場合は、コントローラの電源を “OFF” にし、手動でステージを移動してください。

センサカバー（上軸）

センサカバー固定ねじ

ステージ（下軸）

六角レンチ挿入口

スケールセンサ

ステージ（上軸）

スケール付XYステージ

締め付け順序

①

②

③

④

8

ハイグレードステージ（自動）

5 スケール付ハイグレードステージについて

スケール付ハイグレードステージは、当社製コントローラQT-AMH2Aと接続することで、クローズドループ制御が可能になります。

5-1. QT-AMH2Aを使用する場合

■ 接続図下記の接続図は、スケール付ハイグレードステージのXステージ（1軸）を当社製コントローラQT-AMH2Aと接続し、クローズドループ制御を行う場合の一例です。

■ QT-AMH2A の設定当社製コントローラQT-AMH2Aと接続してクローズドループ制御を行う場合は、コントローラ側のステージ制御分解能とステージ側スケールの分解能を同じ値にする必要があります。ステージ制御分解能については、本書の「6.­主な仕様」（P.10〜）とコントローラQT-AMH2Aの取扱説明書を参照してください。

※­スケール付ハイグレードステージのスケール分解能は、0.1μｍに設定されています。

注意●­お使いになるシステムによって接続が異なりますのでご注意ください。●­スケール付ハイグレードステージのXYステージ（2軸）を使用する場合は、ステージとの接続とエンコーダとの接続がそれぞれ2軸分必要となります。

センサケーブル

スケールセンサ

ステージ接続ケーブル（別売）

RS-232Cケーブル（別売）

■ スケール付Xステージ

■ QT-AMH2A■ PC

■ インターフェース

エンコーダ接続ケーブル（付属）

A軸Encoder1RS-232CRS-232C

D-sub15pin（オス）

9

ハイグレードステージ（自動）

14A+

A-

B+

90°

B-

A+

A-

B+

A

B

B-

120Ω

120Ω

矩形波 90°位相差差動ラインドライバ出力（EIA_RS422A）

電源：DC 5V ±10％・500mA以上の電源容量のあるもの・リップル 200mVpp未満IEC BS EN 60950-1 の SELV要件に準拠したDC 5V 電源から供給してください。

6

13

5

インターフェース出力

外部機器のエンコーダ入力

[ ピン番号 ] 5, 6, 13, 14

[ ピン番号 ] 2, 7, 8, 9

5-2. QT-AMH2Aを使用しない場合スケール付ハイグレードステージのスケール信号を使用し、ご自身でシステムを組む場合は、下記のスケールインターフェースのコネクタ入出力仕様を基にしてください。

スケールインターフェースのコネクタのピン配列［­D-sub15ピンコネクタ（オス）­］

ピン番号 信号 入出力

1 （保守用） （保守用）

2 GND ー

3 （保守用） （保守用）

4 （保守用） （保守用）

5 B − 出力

6 A − 出力

7 電源（+5V） 入力

8 電源（+5V） 入力

9 GND ー

10 （保守用） （保守用）

11 （保守用） （保守用）

12 （保守用） （保守用）

13 B+ 出力

14 A+ 出力

15 （保守用） （保守用）

注意●（保守用）と記載のあるピンに配線しないでください。配線した場合、装置の故障や破損の原因となる恐れがあります。

●­上記では付属のエンコーダ接続ケーブルを使用しません。●­外部機器については、お客様でご用意ください。当社では、お使いになる外部機器や接続などについてのご質問にはお答えできません。また外部機器を使用した結果により損失や損害が発生した場合でも当社は一切の責任を負いません­。

10

ハイグレードステージ（自動）

6 主な仕様

6-1. ステージ仕様

■ Ｘステージ（40mm）　製品番号

ALS-4011-G0M精密ねじ仕様（標準型）

ALS-4011-G1Mボールねじ仕様（標準型）

ALS-4011-G1M-SAボールねじ仕様、スケール付（標準型）

ALS-4011-G0M-R精密ねじ仕様（対称型）

ALS-4011-G1M-Rボールねじ仕様（対称型）

ALS-4011-G1M-RSAボールねじ仕様、スケール付（対称型）

移動方向 X軸1方向移動量 ±7.5mmステージ面 40mm×40mm使用モータ PK523HPB相当分解能 0.001mm 0.002mm送りねじリード 0.5mm 1mm移動ガイド HG-VCR（V溝とクロスローラ）真直度 0.002mm（水平・垂直）

20sec（ヨーイング）30sec（ピッチング）

15sec（ヨーイング）25sec（ピッチング）

位置決め精度 0.010mm 0.006mm繰り返し精度 ±0.0005mm ± 0.0003mmロストモーション 0.005mm 0.001mm走り平行度 0.02mm 0.015mmモーメント剛性 ヨー剛性　　0.25sec/N･cm

ピッチ剛性　0.3sec/N･cmロール剛性　0.3sec/N･cm

耐荷重 49N(5kgf)質量 0.32kg 0.35kg最高速度（8000pps時 ) 8mm/s 16mm/s材質 アルミ合金原点センサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサリミットセンサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサ適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3スケールメーカー － － レニショー株式会社スケール分解能 － － 0.1μｍスケールピッチ精度 － － ±5μｍ /ｍ

11

ハイグレードステージ（自動）

■ Ｘステージ（40mm）　外観図

8.5

ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタ 4-M3深サ8 4-3.5キリ,6深ザグリ4-M3深サ6

32 40

2816.530.5

111

φ20

225

4032

18.5

32

2432

24

ステッピングモータ

手動ハンドル

4-M3深サ8 コネクタ 4-3.5キリ,6深ザグリ4-M3深サ6

30.5

18.58.5

32402

25

16.528

111

3240

φ20 24 32

2432

4-3.5キリ,6深ザグリ4-M3深サ6

ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタ 4-M3深サ8

4032

111

30.5

16.5 28

φ20

252

3240

18.58.5

32 24

2432

ステッピングモータ

手動ハンドル

4-M3深サ8 コネクタ 4-3.5キリ,6深ザグリ4-M3深サ6

30.5

18.58.5

32402

25

16.528

111

3240

φ20 24 32

2432

スケールケーブル

ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタ 4-M3深サ8 4-3.5キリ,6深ザグリ4-M3深サ6

32 40

30.5

16.5 28

φ20

25

111

17

3240

18.58.5

32

2432

2

24

16.5 30.5

18.58.5

217

324025

111

28

3240

φ20 24 32

2432

スケールケーブル

ステッピングモータ

手動ハンドル

4-M3深サ8 コネクタ4-M3深サ64-3.5キリ,6深ザグリ

ALS-4011-G0M-R ALS-4011-G0M

ALS-4011-G1M-R ALS-4011-G1M

ALS-4011-G1M-RSA ALS-4011-G1M-SA

12

ハイグレードステージ（自動）

■ Ｘステージ（50mm）　製品番号

ALS-5012-G0M精密ねじ仕様（標準型）

ALS-5012-G1Mボールねじ仕様（標準型）

ALS-5012-G1M-SAボールねじ仕様、スケール付（標準型）

ALS-5012-G0M-R精密ねじ仕様（対称型）

ALS-5012-G1M-Rボールねじ仕様（対称型）

ALS-5012-G1M-RSAボールねじ仕様、スケール付（対称型）

移動方向 X軸1方向移動量 ±10mmステージ面 50mm×50mm使用モータ PK523HPB相当分解能 0.001mm 0.002mm送りねじリード 0.5mm 1mm移動ガイド HG-VCR（V溝とクロスローラ）真直度 0.002mm（水平・垂直）

20sec（ヨーイング）30sec（ピッチング）

15sec（ヨーイング）25sec（ピッチング）

位置決め精度 0.012mm 0.008mm繰り返し精度 ±0.0005mm ± 0.0003mmロストモーション 0.005mm 0.001mm走り平行度 0.015mm 0.01mmモーメント剛性 ヨー剛性　　0.15sec/N･cm

ピッチ剛性　0.2sec/N･cmロール剛性　0.2sec/N･cm

耐荷重 49N(5kgf)質量 0.4kg 0.43kg最高速度（8000pps時 ) 8mm/s 16mm/s材質 アルミ合金原点センサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサリミットセンサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサ適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3スケールメーカー － － レニショー株式会社スケール分解能 － － 0.1μｍスケールピッチ精度 － － ±5μｍ /ｍ

13

ハイグレードステージ（自動）

■ Ｘステージ（50mm）　外観図

40 50

121.5

2816.530.5

φ20

225

5040

13.58.5

40

3240

32

ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタ 4-M3深サ8 4-3.5キリ,6深ザグリ4-M3深サ8

16.5 30.5

50 4025

2

28

121.5

4050

φ20

13.58.5

32 40

3240ステッピングモータ

手動ハンドル

4-M3深サ8 コネクタ 4-3.5キリ,6深ザグリ4-M3深サ8

5040

121.5

30.5

16.5 28

φ20

225

5040

13.58.5

40 32

3240ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタ 4-M3深サ8 4-3.5キリ,6深ザグリ4-M3深サ8

ステッピングモータ

手動ハンドル

4-M3深サ8 コネクタ4-M3深サ84-3.5キリ,6深ザグリ

16.5 30.5

50 4025

2

28

121.5

4050

φ20

13.58.5

32 40

3240

5040φ20

121.5

30.5

16.5 28

25

5040

1713.58.5

3240

2 3240

ステッピングモータ

スケールケーブル

手動ハンドル

コネクタ 4-M3深サ84-M3深サ84-3.5キリ,6深ザグリ

16.5 30.5

502

1740

25

121.5

28

4050

13.58.5

32 40

3240スケールケーブル

ステッピングモータ

手動ハンドル

4-M3深サ8 コネクタ 4-3.5キリ,6深ザグリ4-M3深サ8

φ20

ALS-5012-G0M-R ALS-5012-G0M

ALS-5012-G1M-R ALS-5012-G1M

ALS-5012-G1M-RSA ALS-5012-G1M-SA

14

ハイグレードステージ（自動）

■ Ｘステージ（60mm）　製品番号

ALS-6012-G0M精密ねじ仕様（標準型）

ALS-6012-G1Mボールねじ仕様（標準型）

ALS-6012-G1M-SAボールねじ仕様、スケール付（標準型）

ALS-6012-G0M-R精密ねじ仕様（対称型）

ALS-6012-G1M-Rボールねじ仕様（対称型）

ALS-6012-G1M-RSAボールねじ仕様、スケール付（対称型）

移動方向 X軸1方向移動量 ±12.5mmステージ面 60mm×60mm使用モータ PK523HPB相当分解能 0.001mm 0.002mm送りねじリード 0.5mm 1mm移動ガイド HG-VCR（V溝とクロスローラ）真直度 0.002mm（水平・垂直）

20sec（ヨーイング）30sec（ピッチング）

15sec（ヨーイング）25sec（ピッチング）

位置決め精度 0.014mm 0.01mm繰り返し精度 ±0.0005mm ± 0.0003mmロストモーション 0.005mm 0.001mm走り平行度 0.015mm 0.01mmモーメント剛性 ヨー剛性　　0.1sec/N･cm

ピッチ剛性　0.1sec/N･cmロール剛性　0.1sec/N･cm

耐荷重 49N(5kgf)質量 0.50kg 0.53kg最高速度（8000pps時 ) 8mm/s 16mm/s材質 アルミ合金原点センサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサリミットセンサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサ適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3スケールメーカー － － レニショー株式会社スケール分解能 － － 0.1μｍスケールピッチ精度 － － ±5μｍ /ｍ

15

ハイグレードステージ（自動）

■ Ｘステージ（60mm）　外観図

32 50 60

134

16.530.5 28

φ20

225

325060

8.5

4050

4050

ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタ4-M3深サ84-M4深サ10 4-4.5キリ,7.5深ザグリ

4-M4深サ8.5

16.5 30.5

325060

225 28

134

325060

φ20

8.5

40 50

4050ステッピングモータ

手動ハンドル

4-M3深サ84-M4深サ10 コネクタ

4-M4深サ8.54-4.5キリ,7.5深ザグリ

32 50 60

134

16.530.5 28

φ20

225

325060

8.5

4050

4050

ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタ4-M3深サ84-M4深サ10 4-4.5キリ,7.5深ザグリ

4-M4深サ8.5

16.5 30.5

325060

225 28

134

325060

φ20

8.5

40 50

4050ステッピングモータ

手動ハンドル

4-M3深サ84-M4深サ10 コネクタ

4-M4深サ8.54-4.5キリ,7.5深ザグリ

φ20 32 50 60

16.5

134

30.5 28 25

325060

8.5

4050

50402スケールケーブル

ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタ 4-M4深サ104-M3深サ8

4-4.5キリ,7.5深ザグリ4-M4深サ8.5

16.5 30.5

φ20325060

2

1725 28

134

325060

8.5

40 50

4050スケールケーブル

ステッピングモータ

手動ハンドル

4-M4深サ104-M3深サ8

コネクタ 4-4.5キリ,7.5深ザグリ4-M4深サ8.5

ALS-6012-G0M-R ALS-6012-G0M

ALS-6012-G1M-R ALS-6012-G1M

ALS-6012-G1M-RSA ALS-6012-G1M-SA

16

ハイグレードステージ（自動）

■ Ｘステージ（70mm）　製品番号

ALS-7013-G0M精密ねじ仕様（標準型）

ALS-7013-G1Mボールねじ仕様（標準型）

ALS-7013-G1M-SAボールねじ仕様、スケール付（標準型）

ALS-7013-G0M-R精密ねじ仕様（対称型）

ALS-7013-G1M-Rボールねじ仕様（対称型）

ALS-7013-G1M-RSAボールねじ仕様、スケール付（対称型）

移動方向 X軸1方向移動量 ±15mmステージ面 70mm×70mm使用モータ PK523HPB相当分解能 0.001mm 0.002mm送りねじリード 0.5mm 1mm移動ガイド HG-VCR（V溝とクロスローラ）真直度 0.002mm（水平・垂直）

20sec（ヨーイング）30sec（ピッチング）

15sec（ヨーイング）25sec（ピッチング）

位置決め精度 0.016mm 0.012mm繰り返し精度 ±0.0005mm ± 0.0003mmロストモーション 0.005mm 0.001mm走り平行度 0.015mm 0.01mmモーメント剛性 ヨー剛性　　0.06sec/N･cm

ピッチ剛性　0.08sec/N･cmロール剛性　0.08sec/N･cm

耐荷重 49N(5kgf)質量 0.62kg 0.65kg最高速度（8000pps時 ) 8mm/s 16mm/s材質 アルミ合金原点センサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサリミットセンサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサ適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3スケールメーカー － － レニショー株式会社スケール分解能 － － 0.1μｍスケールピッチ精度 － － ±5μｍ /ｍ

17

ハイグレードステージ（自動）

■ Ｘステージ（70mm）　外観図

ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタ 4-M4深サ108-M3深サ8

4-4.5キリ,7.5深ザグリ4-M4深サ8.5

708.5

32 40 60

146.5

16.530.5

28

225

32406070

φ20 5060

5060

16.5 30.5

32406070

146.5

225 28

406070

32

8.5

φ20 50 60

6050ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタ4-M4深サ108-M3深サ8

4-4.5キリ,7.5深ザグリ4-M4深サ8.5

146.5

70604032

30.5

16.5 28

225

32

6040

70

φ20

8.5

5060

6050ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタ 4-M4深サ108-M3深サ8 4-M4深サ8.5

4-4.5キリ,7.5深ザグリ16.5 30.5

32406070

146.5

225 28

406070

32

8.5

φ20 50 60

6050

手動ハンドル

コネクタ4-M4深サ108-M3深サ8

ステッピングモータ

4-4.5キリ,7.5深ザグリ4-M4深サ8.5

146.5

70604032

16.530.5 28 25

4032

7060

178.5

5060

602 50スケールケーブル

手動ハンドル

ステッピングモータ

コネクタ 4-M4深サ108-M3深サ8

4-4.5キリ,7.5深ザグリ4-M4深サ8.5

φ20

2816.5 30.5

32406070

146.5

252

17

32406070

8.5

50 60

5060

スケールケーブル

ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタ4-M4深サ108-M3深サ8

4-4.5キリ、7.5深ザグリ4-M4深サ8.5

φ20

ALS-7013-G0M-R ALS-7013-G0M

ALS-7013-G1M-R ALS-7013-G1M

ALS-7013-G1M-RSA ALS-7013-G1M-SA

18

ハイグレードステージ（自動）

■ XY ステージ（40mm）　製品番号

ALD-4011-G0M精密ねじ仕様（標準型）

ALD-4011-G1Mボールねじ仕様（標準型）

ALD-4011-G1M-SAボールねじ仕様、スケール付（標準型）

ALD-4011-G0M-R精密ねじ仕様（対称型）

ALD-4011-G1M-Rボールねじ仕様（対称型）

ALD-4011-G1M-RSAボールねじ仕様、スケール付（対称型）

移動方向 X・Y軸2方向移動量 ±7.5mmステージ面 40mm×40mm使用モータ PK523HPB相当分解能 0.001mm 0.002mm送りねじリード 0.5mm 1mm移動ガイド HG-VCR（V溝とクロスローラ）真直度 0.002mm（水平・垂直）

20sec（ヨーイング）30sec（ピッチング）

15sec（ヨーイング）25sec（ピッチング）

位置決め精度 0.01mm 0.006mm繰り返し精度 ±0.0005mm ± 0.0003mmロストモーション 0.005mm 0.001mm走り平行度 0.04mm 0.03mmXY直行度 0.006mmモーメント剛性 ヨー剛性　　0.5sec/N･cm

ピッチ剛性　0.6sec/N･cmロール剛性　0.6sec/N･cm

耐荷重 39.2N(4kgf)質量 0.64kg 0.7kg最高速度（8000pps時 ) 8mm/s 16mm/s材質 アルミ合金原点センサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサリミットセンサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサ適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3スケールメーカー － － レニショー株式会社スケール分解能 － － 0.1μｍスケールピッチ精度 － － ±5μｍ /ｍ

19

ハイグレードステージ（自動）

■ XY ステージ（40mm）　外観図

手動ハンドル

コネクタ 4-M3深サ8

手動ハンドル

4-3.5キリ,6深ザグリ 4-M3深サ6

ステッピングモータ

ステッピングモータ

40

18.5

111

φ20

2816.530.5

25225

3240

1118.5

32

φ20

55.541.5

28

3224

32 24

コネクタ

30.5

40111

18.5

2525

16.5

2

28

1118.5 40

32

32 φ20

φ20

24 32

3224

41.555.5

28

ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタステッピングモータ手動ハンドル

4-M3深サ8 コネクタ

4-M3深サ6 4-3.5キリ,6深ザグリ

111

18.5

40

30.5

16.5 28

φ20

25225

3240

1118.5

32

φ20 28

24324-3.5キリ,6深ザグリ

32 24

4-M3深サ6

55.541.5

ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタ 4-M3深サ8

ステッピングモータ手動ハンドル コネクタ

8.5

コネクタ4-M3深サ8

ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタステッピングモータ手動ハンドル

4-M3深サ6 4-3.5キリ,6深ザグリ

30.5

40111

18.5

2525

16.5

2

28

1114032

32

φ20

φ20

24 32

3224

41.555.5

28

111

4032

φ20

2816.530.5

2525

32

11140

8.5

17

φ20

32

2432

2

24

55.541.5

28

スケールケーブル

ステッピングモータ

手動ハンドル

4-M3深サ8

コネクタ

スケールケーブルステッピングモータ

手動ハンドルコネクタ

4-3.5キリ,6深ザグリ 4-M3深サ6

30.5

3240111

17

16.525

25

28

1118.5

3240

φ20

φ20

32

2 2432

24

55.541.5

28

4-M3深サ8スケールケーブル

ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタ手動ハンドルステッピングモータ

コネクタ

スケールケーブル

4-M3深サ6 4-3.5キリ,6深ザグリ

ALD-4011-G0M-R ALD-4011-G0M

ALD-4011-G1M-R ALD-4011-G1M

ALD-4011-G1M-RSA ALD-4011-G1M-SA

20

ハイグレードステージ（自動）

■ XY ステージ（50mm）　製品番号

ALD-5012-G0M精密ねじ仕様（標準型）

ALD-5012-G1Mボールねじ仕様（標準型）

ALD-5012-G1M-SAボールねじ仕様、スケール付（標準型）

ALD-5012-G0M-R精密ねじ仕様（対称型）

ALD-5012-G1M-Rボールねじ仕様（対称型）

ALD-5012-G1M-RSAボールねじ仕様、スケール付（対称型）

移動方向 X・Y軸2方向移動量 ±10mmステージ面 50mm×50mm使用モータ PK523HPB相当分解能 0.001mm 0.002mm送りねじリード 0.5mm 1mm移動ガイド HG-VCR（V溝とクロスローラ）真直度 0.002mm（水平・垂直）

20sec（ヨーイング）30sec（ピッチング）

15sec（ヨーイング）25sec（ピッチング）

位置決め精度 0.012mm 0.008mm繰り返し精度 ±0.0005mm ± 0.0003mmロストモーション 0.005mm 0.001mm走り平行度 0.03mm 0.02mmXY直行度 0.006mmモーメント剛性 ヨー剛性　　0.3sec/N･cm

ピッチ剛性　0.4sec/N･cmロール剛性　0.4sec/N･cm

耐荷重 39.2N(4kgf)質量 0.8kg 0.86kg最高速度（8000pps時 ) 8mm/s 16mm/s材質 アルミ合金原点センサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサリミットセンサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサ適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3スケールメーカー － － レニショー株式会社スケール分解能 － － 0.1μｍスケールピッチ精度 － － ±5μｍ /ｍ

21

ハイグレードステージ（自動）

■ XY ステージ（50mm）　外観図

8.5ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタ 4-M3深サ8

ステッピングモータ手動ハンドル コネクタ

4-3.5キリ,6深ザグリ 4-M3深サ813.5

50121.5

2816.5

121.5

30.5

φ20

225

25

4050

40

φ20

3240

3240

41.555.5

28

8.5

手動ハンドル

ステッピングモータ

コネクタステッピングモータ手動ハンドル

4-M3深サ8 コネクタ

4-M3深サ8 4-3.5キリ,6深ザグリ

16.5 30.5

121.5

13.5

50

225

25

28

121.5

4050

40 φ20

φ2041.555.5

28

32 40

3240

121.5

50

13.5121.5

2830.5

16.5

φ20

225

25

5040

8.5

40

φ20

55.541.5

28

3240

3240

ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタ 4-M3深サ8

手動ハンドルステッピングモータ

コネクタ

4-3.5キリ,6深ザグリ 4-M3深サ8

41.5

16.5 30.5

121.5

13.5

50

225

25

28

121.58.5

4050

40

φ20

φ20

55.5

32 40

3240

28

手動ハンドル

ステッピングモータ

コネクタステッピングモータ手動ハンドル

4-M3深サ8 コネクタ

4-M3深サ8 4-3.5キリ,6深ザグリ

8.5スケールケーブル

ステッピングモータ

手動ハンドル

4-M3深サ8

コネクタ

スケールケーブルステッピングモータ

手動ハンドルコネクタ

4-3.5キリ,6深ザグリ 4-M3深サ8

40 50121.5

φ20

16.5 28

30.5

2525

4050

121.5

17

φ20

3240

32402

55.541.5

28

8.5

ステッピングモータ

手動ハンドル

スケールケーブル4-M3深サ8

手動ハンドルコネクタ

コネクタ

スケールケーブルステッピングモータ

4-M3深サ8 4-3.5キリ,6深ザグリ

16.5 30.5

4050121.5

17

252

25 28

121.5

4050

φ20

φ20

55.541.5

28

32 40

3240

ALD-5012-G0M-R ALD-5012-G0M

ALD-5012-G1M-R ALD-5012-G1M

ALD-5012-G1M-RSA ALD-5012-G1M-SA

22

ハイグレードステージ（自動）

■ XY ステージ（60mm）　製品番号

ALD-6012-G0M精密ねじ仕様（標準型）

ALD-6012-G1Mボールねじ仕様（標準型）

ALD-6012-G1M-SAボールねじ仕様、スケール付（標準型）

ALD-6012-G0M-R精密ねじ仕様（対称型）

ALD-6012-G1M-Rボールねじ仕様（対称型）

ALD-6012-G1M-RSAボールねじ仕様、スケール付（対称型）

移動方向 X・Y軸2方向移動量 ±12.5mmステージ面 60mm×60mm使用モータ PK523HPB相当分解能 0.001mm 0.002mm送りねじリード 0.5mm 1mm移動ガイド HG-VCR（V溝とクロスローラ）真直度 0.002mm（水平・垂直）

20sec（ヨーイング）30sec（ピッチング）

15sec（ヨーイング）25sec（ピッチング）

位置決め精度 0.014mm 0.01mm繰り返し精度 ±0.0005mm ± 0.0003mmロストモーション 0.005mm 0.001mm走り平行度 0.03mm 0.02mmXY直行度 0.006mmモーメント剛性 ヨー剛性　　0.2sec/N･cm

ピッチ剛性　0.2sec/N･cmロール剛性　0.2sec/N･cm

耐荷重 39.2N(4kgf)質量 1.0kg 1.1kg最高速度（8000pps時 ) 8mm/s 16mm/s材質 アルミ合金原点センサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサリミットセンサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサ適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3スケールメーカー － － レニショー株式会社スケール分解能 － － 0.1μｍスケールピッチ精度 － － ±5μｍ /ｍ

23

ハイグレードステージ（自動）

■ XY ステージ（60mm）　外観図

134

50 60

28φ20

16.530.5

225

25

5060

134 8.5

32

32

φ20

4050

4050

55.541.5

28

ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタ 4-M4深サ104-M3深サ8

ステッピングモータ手動ハンドル コネクタ

4-4.5キリ,7.5深ザグリ 4-M4深サ8.5

325060134

2525

16.5 30.5

2

28

1348.5

325060

φ20

φ20

40 50

4050

55.541.5

28

ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタ ステッピングモータ手動ハンドル

4-M3深サ84-M4深サ10 コネクタ

4-M4深サ8.5 4-4.5キリ,7.5深ザグリ

134

6050

φ20

2816.530.5

225

25

605032

134 8.5

32

φ20

4050

4050

55.541.5

28

ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタ 4-M4深サ104-M3深サ8

ステッピングモータ手動ハンドル コネクタ

4-4.5キリ,7.5深ザグリ 4-M4深サ8.5

325060134

2525 16.5 30.5

2

28

1348.5

325060

φ20

φ20

55.541.5

28

40 50

4050

ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタ ステッピングモータ手動ハンドル

4-M3深サ84-M4深サ10 コネクタ

4-M4深サ8.5 4-4.5キリ,7.5深ザグリ

32 6050

134

16.5 28

φ20

30.5

2525

325060

134 8.5

17

φ20

50 40

4050

2

55.541.5

28

スケールケーブル

ステッピングモータ

手動ハンドル

4-M3深サ84-M4深サ10

コネクタ

スケールケーブルステッピングモータ

手動ハンドルコネクタ

4-4.5キリ,7.5深ザグリ 4-M4深サ8.5

16.5 30.5

325060134

17

225

25

28

134

325060

8.5

φ20

φ20

40 50

4050

55.541.5

28

スケールケーブル

ステッピングモータ

手動ハンドル

4-M3深サ84-M4深サ10

ステッピングモータ手動ハンドル

コネクタ

コネクタ

スケールケーブル

4-M4深サ8.5 4-4.5キリ,7.5深ザグリ

ALD-6012-G0M-R ALD-6012-G0M

ALD-6012-G1M-R ALD-6012-G1M

ALD-6012-G1M-RSA ALD-6012-G1M-SA

24

ハイグレードステージ（自動）

■ XY ステージ（70mm）　製品番号

ALD-7013-G0M精密ねじ仕様（標準型）

ALD-7013-G1Mボールねじ仕様（標準型）

ALD-7013-G1M-SAボールねじ仕様、スケール付（標準型）

ALD-7013-G0M-R精密ねじ仕様（対称型）

ALD-7013-G1M-Rボールねじ仕様（対称型）

ALD-7013-G1M-RSAボールねじ仕様、スケール付（対称型）

移動方向 X・Y軸2方向移動量 ±15mmステージ面 70mm×70mm使用モータ PK523HPB相当分解能 0.001mm 0.002mm送りねじリード 0.5mm 1mm移動ガイド HG-VCR（V溝とクロスローラ）真直度 0.002mm（水平・垂直）

20sec（ヨーイング）30sec（ピッチング）

15sec（ヨーイング）25sec（ピッチング）

位置決め精度 0.016mm 0.012mm繰り返し精度 ±0.0005mm ± 0.0003mmロストモーション 0.005mm 0.001mm走り平行度 0.03mm 0.02mmXY直行度 0.006mmモーメント剛性 ヨー剛性　　0.12sec/N･cm

ピッチ剛性　0.16sec/N･cmロール剛性　0.16sec/N･cm

耐荷重 39.2N(4kgf)質量 1.2kg 1.3kg最高速度（8000pps時 ) 8mm/s 16mm/s材質 アルミ合金原点センサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサリミットセンサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサ適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3スケールメーカー － － レニショー株式会社スケール分解能 － － 0.1μｍスケールピッチ精度 － － ±5μｍ /ｍ

25

ハイグレードステージ（自動）

■ XY ステージ（70mm）　外観図

146.5

32 40 60 70

φ20

146.5

2816.530.5

225

25

32406070

8.5

φ20

5060

5060

41.555.5

28

ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタ

手動ハンドル コネクタ

4-M4深サ108-M3深サ8

ステッピングモータ

4-4.5キリ,7.5深ザグリ 4-M4深サ8.5

30.5

32406070146.5

φ20

16.5

225

25 28

146.5

406070

8.5

32

φ20

50 60

6050

41.555.5

28

ステッピングモータ

手動ハンドル

手動ハンドルステッピングモータコネクタ

4-M4深サ10 コネクタ8-M3深サ8

4-M4深サ8.5 4-4.5キリ,7.5深ザグリ

φ20

146.5

70604032

146.5

2830.5

16.5

225

25

3240

7060

8.5

φ20

5060

6050

55.541.5

28

ステッピングモータ

手動ハンドル

コネクタ

コネクタ手動ハンドル

4-M4深サ108-M3深サ8

ステッピングモータ

4-4.5キリ,7.5深ザグリ 4-M4深サ8.5

30.5

32406070146.5

φ20

16.5

225

25 28

146.5

406070

8.5

32

φ20 28

50 60

6050

41.555.5

ステッピングモータ

手動ハンドル

手動ハンドルステッピングモータコネクタ

4-M4深サ10 コネクタ8-M3深サ8

4-M4深サ8.5 4-4.5キリ,7.5深ザグリ

40 60 70146.5

146.5

30.5

16.5 28

φ20

2525

32406070

8.5

17

32

φ20

5060

50602

41.555.5

28

スケールケーブル

ステッピングモータ

手動ハンドル

8-M3深サ84-M4深サ10

コネクタ

スケールケーブル

手動ハンドルステッピングモータ コネクタ

4-4.5キリ,7.5深ザグリ 4-M4深サ8.5

30.5

324070 60

146.5

17

2525

16.5

2

28

146.5

32406070

8.5

φ20

φ20

50 60

5060

41.555.5

28

ステッピングモータ

スケールケーブル

手動ハンドル

8-M3深サ84-M4深サ10

手動ハンドルステッピングモータコネクタ

コネクタ

スケールケーブル

4-M4深サ8.5 4-4.5キリ,7.5深ザグリ

ALD-7013-G0M-R ALD-7013-G0M

ALD-7013-G1M-R ALD-7013-G1M

ALD-7013-G1M-RSA ALD-7013-G1M-SA

26

ハイグレードステージ（自動）

■ Z ステージ（40mm）　製品番号

ALZ-4011-G0M精密ねじ仕様（標準型）

ALZ-4011-G1Mボールねじ仕様（標準型）

ALZ-4011-G1M-SAボールねじ仕様、スケール付（標準型）

ALZ-4011-G0M-R精密ねじ仕様（対称型）

ALZ-4011-G1M-Rボールねじ仕様（対称型）

ALZ-4011-G1M-RSAボールねじ仕様、スケール付（対称型）

移動方向 Z軸1方向移動量 ±7.5mmステージ面 40mm×40mm使用モータ PK523HPB相当分解能 0.001mm 0.002mm送りねじリード 0.5mm 1mm移動ガイド HG-VCR（V溝とクロスローラ）真直度 0.002mm（水平・垂直）

20sec（ヨーイング）30sec（ピッチング）

15sec（ヨーイング）25sec（ピッチング）

位置決め精度 0.01mm 0.006mm繰り返し精度 ±0.0005mm ± 0.0003mmロストモーション 0.005mm 0.001mmモーメント剛性 ヨー剛性­­　­0.25sec/N･cm

ピッチ剛性　0.3sec/N･cmロール剛性　0.3sec/N･cm

耐荷重 19.6N(2kgf)質量 0.42kg 0.45kg最高速度（5000pps時 ) 5mm/s 10mm/s材質 アルミ合金原点センサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサリミットセンサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサ適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3スケールメーカー － － レニショー株式会社スケール分解能 － － 0.1μｍスケールピッチ精度 － － ±5μｍ /ｍ

27

ハイグレードステージ（自動）

■ Z ステージ（40mm）　外観図

18.5

32 40

136

40

3240

32

3240

45

8.5

φ20

4-3.5キリ

手動ハンドル

4-M3深サ8

ステッピングモータ コネクタ28

9

6

3240

136

18.5

3240

32 40

3240

8.5

45

φ20

9

6

28

4-3.5キリ

コネクタ

4-M3深サ8

手動ハンドルステッピングモータ

18.5

32 40

136

40

3240

32

3240

45

8.5

φ20

4-3.5キリ

手動ハンドル

4-M3深サ8

ステッピングモータ コネクタ28

9

6

4-3.5キリ

コネクタ

4-M3深サ8

手動ハンドルステッピングモータ

3240

136

18.5

3240

32 40

3240

8.5

45

φ20

9

6

28

136

18.5

32 40

40

3240

32

324017

45

8.5

φ20

4-M3深サ8

4-3.5キリ

手動ハンドルステッピングモータスケールケーブル

コネクタ28

9

6

スケールケーブル

4-M3深サ8

4-3.5キリ

コネクタ手動ハンドルステッピングモータ

40

3240

136

18.5

3240

32

3240

8.517

45

φ20

9

6

28

ALZ-4011-G0M-R ALZ-4011-G0M

ALZ-4011-G1M-R ALZ-4011-G1M

ALZ-4011-G1M-RSA ALZ-4011-G1M-SA

28

ハイグレードステージ（自動）

■ Z ステージ（50mm）　製品番号

ALZ-5012-G0M精密ねじ仕様（標準型）

ALZ-5012-G1Mボールねじ仕様（標準型）

ALZ-5012-G1M-SAボールねじ仕様、スケール付（標準型）

ALZ-5012-G0M-R精密ねじ仕様（対称型）

ALZ-5012-G1M-Rボールねじ仕様（対称型）

ALZ-5012-G1M-RSAボールねじ仕様、スケール付（対称型）

移動方向 Z軸1方向移動量 ±10mmステージ面 50mm×50mm使用モータ PK523HPB相当分解能 0.001mm 0.002mm送りねじリード 0.5mm 1mm移動ガイド HG-VCR（V溝とクロスローラ）真直度 0.002mm（水平・垂直）

20sec（ヨーイング）30sec（ピッチング）

15sec（ヨーイング）25sec（ピッチング）

位置決め精度 0.012mm 0.008mm繰り返し精度 ±0.0005mm ± 0.0003mmロストモーション 0.005mm 0.001mmモーメント剛性 ヨー剛性　　0.15sec/N･cm

ピッチ剛性　0.2sec/N･cmロール剛性　0.2sec/N･cm

耐荷重 19.6N(2kgf)質量 0.54kg 0.57kg最高速度（5000pps時 ) 5mm/s 10mm/s材質 アルミ合金原点センサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサリミットセンサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサ適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3スケールメーカー － － レニショー株式会社スケール分解能 － － 0.1μｍスケールピッチ精度 － － ±5μｍ /ｍ

29

ハイグレードステージ（自動）

■ Z ステージ（50mm）　外観図

146.5

40 50

13.5

1

6

4050

4050

50

40

50

8.5

φ20

4-3.5キリ

4-M3深サ8

手動ハンドルステッピングモータ コネクタ28 ステッピングモータ

手動ハンドル

4-M3深サ8

4-3.5キリ

コネクタ

4050

50

40

13.5

50146.5

4050

8.5 40

50

φ20

1

6

28

4-3.5ｷﾘ

4-M3深ｻ8

手動ハンドルステッピングモータ コネクタ

146.5

40 50

13.5

1

6

4050

4050

50

40

50

8.5

φ2028

4050

50

40

13.5

50146.5

4050

8.5 40

50

φ20

1

6

28ステッピングモータ手動ハンドル

4-M3深サ8

4-3.5キリ

コネクタ

50

146.5

40

13.5

1

6

4050

4050

50

40

17

50

8.5

28 φ20 コネクタ

4-M3深サ8

4-3.5キリ

手動ハンドルステッピングモータ

5040 50

40

13.5

50146.5

4050

40

50

8.5

17

φ20

1

6

28

4-3.5キリ

手動ハンドルコネクタ ステッピングモータ

4-M3深サ8

ALZ-5012-G0M-R ALZ-5012-G0M

ALZ-5012-G1M-R ALZ-5012-G1M

ALZ-5012-G1M-RSA ALZ-5012-G1M-SA

30

ハイグレードステージ（自動）

■ Z ステージ（60mm）　製品番号

ALZ-6012-G0M精密ねじ仕様（標準型）

ALZ-6012-G1Mボールねじ仕様（標準型）

ALZ-6012-G1M-SAボールねじ仕様、スケール付（標準型）

ALZ-6012-G0M-R精密ねじ仕様（対称型）

ALZ-6012-G1M-Rボールねじ仕様（対称型）

ALZ-6012-G1M-RSAボールねじ仕様、スケール付（対称型）

移動方向 Z軸1方向移動量 ±12.5mmステージ面 60mm×60mm使用モータ PK523HPB相当分解能 0.001mm 0.002mm送りねじリード 0.5mm 1mm移動ガイド HG-VCR（V溝とクロスローラ）真直度 0.002mm（水平・垂直）

20sec（ヨーイング）30sec（ピッチング）

15sec（ヨーイング）25sec（ピッチング）

位置決め精度 0.014mm 0.01mm繰り返し精度 ±0.0005mm ± 0.0003mmロストモーション 0.005mm 0.001mmモーメント剛性 ヨー剛性　　0.1sec/N･cm

ピッチ剛性　0.1sec/N･cmロール剛性　0.1sec/N･cm

耐荷重 19.6N(2kgf)質量 0.7kg 0.73kg最高速度（5000pps時 ) 5mm/s 10mm/s材質 アルミ合金原点センサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサリミットセンサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサ適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3スケールメーカー － － レニショー株式会社スケール分解能 － － 0.1μｍスケールピッチ精度 － － ±5μｍ /ｍ

31

ハイグレードステージ（自動）

■ Z ステージ（60mm）　外観図

8.5

ステッピングモータ手動ハンドル

4-4.5キリ

4-M3深サ84-M4深サ10

コネクタ

6032 50

60

7

6

5060

5060

325060

φ20

164

28 ステッピングモータ

4-M3深サ84-M4深サ10

4-4.5キリ

手動ハンドルコネクタ

50 60

325060164

6050

608.5

3250

φ20

6

7

28

60

60164

32 50

60

7

6

5060

5060

325060 8.5

φ20

4-4.5キリ

4-M3深サ84-M4深サ10

ステッピングモータ コネクタ手動ハンドル

28

50 60

325060164

6050

608.5

3250

φ20

6

7

ステッピングモータ

4-M3深サ84-M4深サ10

4-4.5キリ

手動ハンドルコネクタ 28

60

50 60164

32

60

7

6

5060

5060

32506017 8.5

28 φ20

4-M4深サ10

4-4.5キリ

4-M3深サ8

ステッピングモータ コネクタ手動ハンドル

606050

325060164

6050

50608.5

32

17

φ20

6

7

28

4-4.5キリ

コネクタ ステッピングモータ手動ハンドル

4-M3深サ84-M4深サ10

ALZ-6012-G0M-R ALZ-6012-G0M

ALZ-6012-G1M-R ALZ-6012-G1M

ALZ-6012-G1M-RSA ALZ-6012-G1M-SA

32

ハイグレードステージ（自動）

■ Z ステージ（70mm）　製品番号

ALZ-7013-G0M精密ねじ仕様（標準型）

ALZ-7013-G1Mボールねじ仕様（標準型）

ALZ-7013-G1M-SAボールねじ仕様、スケール付（標準型）

ALZ-7013-G0M-R精密ねじ仕様（対称型）

ALZ-7013-G1M-Rボールねじ仕様（対称型）

ALZ-7013-G1M-RSAボールねじ仕様、スケール付（対称型）

移動方向 Z軸1方向移動量 ±15mmステージ面 70mm×70mm使用モータ PK523HPB相当分解能 0.001mm 0.002mm送りねじリード 0.5mm 1mm移動ガイド HG-VCR（V溝とクロスローラ）真直度 0.002mm（水平・垂直）

20sec（ヨーイング）30sec（ピッチング）

15sec（ヨーイング）25sec（ピッチング）

位置決め精度 0.016mm 0.012mm繰り返し精度 ±0.0005mm ± 0.0003mmロストモーション 0.005mm 0.001mmモーメント剛性 ヨー剛性　　0.06sec/N･cm

ピッチ剛性　0.08sec/N･cmロール剛性　0.08sec/N･cm

耐荷重 19.6N(2kgf)質量 0.9kg 0.93kg最高速度（5000pps時 ) 5mm/s 10mm/s材質 アルミ合金原点センサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサリミットセンサ N.C.（ノーマルクローズ）、フォトセンサ適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3スケールメーカー － － レニショー株式会社スケール分解能 － － 0.1μｍスケールピッチ精度 － － ±5μｍ /ｍ

33

ハイグレードステージ（自動）

■ Z ステージ（70mm）　外観図

60 70181.5

32 40

70

6

17

6070

6070

32406070 8.5

φ20

4-4.5ｷﾘ

8-M3深ｻ8

4-M4深ｻ10

ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ

手動ﾊﾝﾄﾞﾙ

ｺﾈｸﾀ28

32406070181.5

8.5

7070

60

6070

6070

3240

φ20

6

17

28

8-M3深ｻ8

4-M4深ｻ10

4-4.5ｷﾘ

ｺﾈｸﾀ ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ

手動ﾊﾝﾄﾞﾙ

70

32406070181.5

7060

6070

60708.5

3240

φ20

6

17

28

8-M3深ｻ8

4-M4深ｻ10

4-4.5ｷﾘ

ｺﾈｸﾀ ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ

手動ﾊﾝﾄﾞﾙ

70

32406070181.5

7060

6070

60708.5

3240

φ20

6

17

28

8-M3深ｻ8

4-M4深ｻ10

4-4.5ｷﾘ

ｺﾈｸﾀ ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ

手動ﾊﾝﾄﾞﾙ

7040 60 70

181.5

32406070 8.517

6070

60

28

17

6

70

32

φ20

8-M3深ｻ8

4-M4深ｻ10

4-4.5ｷﾘ

ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ

手動ﾊﾝﾄﾞﾙ

ｺﾈｸﾀ

70

17

60 70

32406070181.5

6070

60708.5

3240

φ20

6

17

28

4-4.5ｷﾘ

ｺﾈｸﾀ ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ手動ﾊﾝﾄﾞﾙ

8-M3深ｻ8

4-M4深ｻ10

ALZ-7013-G0M-R ALZ-7013-G0M

ALZ-7013-G1M-R ALZ-7013-G1M

ALZ-7013-G1M-RSA ALZ-7013-G1M-SA

34

ハイグレードステージ（自動）

■ 回転ステージ　製品番号 ARS-4036-GM ARS-5036-GM ARS-6036-GM ARS-7036-GM移動方向 回転方向移動量 360°ステージ面 φ40mm φ50mm φ60mm φ70mm使用モータ PK523HPB相当分解能 0.01°移動ガイド ボールベアリング心振れ 0.01mm面振れ 0.04mm 0.05mm 0.06mm位置決め精度 0.08° 0.05°繰り返し精度 ±0.003°ロストモーション 0.02°耐荷重 29.4N(3kgf) 39,2N(4kgf)質量 0.4kg 0.5kg 0.6kg 0.7kg最高速度（5000pps時 ) 50° /s材質 アルミ合金原点センサ N.O.（ノーマルオープン）、フォトセンサ適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3

35

ハイグレードステージ（自動）

ｺﾈｸﾀ

32

32 φ10(透過穴)

6

φ40

3420

3-3.5ｷﾘ,6深ｻﾞｸﾞﾘ

52.5

4-M3深ｻ6.5(P,C,D,φ32)

4-M2深ｻ4(P,C,D,φ24)

28

16

ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ

手動ﾊﾝﾄﾞﾙ

φ20

105

4-M2深ｻ4(P,C,D,φ24)

4-M3深ｻ6.5(P,C,D,φ32)

ｺﾈｸﾀ

40

54.5

φ10(透過穴)

6

φ50

3425

3-3.5ｷﾘ,6深ｻﾞｸﾞﾘ

110

4057.5

28

16

φ20

ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ

手動ﾊﾝﾄﾞﾙ

ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ

手動ﾊﾝﾄﾞﾙ

ｺﾈｸﾀ

φ20(透過穴)

4-M3深ｻ6

4-M2深ｻ3.5

3-4.5ｷﾘ,7.5深ｻﾞｸﾞﾘ

φ20

15.52834

6

φ60

73.5

30

50

12 0.5

65

50

□32

□24

ｺﾈｸﾀ

φ20(透過穴)

ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ

手動ﾊﾝﾄﾞﾙ

8-M3深ｻ6

78.5

35

60

φ20

125.5

70

□40

□32

φ70

15.52834

6

3-4.5ｷﾘ,7.5深ｻﾞｸﾞﾘ

■ 回転ステージ　外観図

ARS-4036-GM ARS-5036-GM

ARS-6036-GM ARS-7036-GM

36

ハイグレードステージ（自動）

青

赤

A相

黒

橙緑

D相

C相B相

E相

6-2. モータ仕様項目 仕様モータ型式 PK523HPB相当励磁最大静止トルク 0.046N・m（0.46kgcm）電流 0.75A／相巻線抵抗 1.1Ω／相ロータ慣性モーメント 9gcm2

質量 0.11kgモータ構造 ハイブリッド型巻線相数 5相ステップ角 フルステップ­0.72 ／゚ハーフステップ­0.36゜静止角度誤差 ±0.05°（± 3'）絶緑抵抗 常温常湿においてモータのコイルケース間をDC500Vメガーで測定した値

が100MΩ以上あります。絶縁耐圧 常温常湿においてモータのコイルケース間に50Hz­0.5kVを1分間印加し

ても異常を認めません。絶縁階級 UL/CSA規格：A種絶縁　／　IEC規格：B種絶縁（130℃）温度上昇 常温常湿において定格電流で5相励磁・静止状態のとき80℃以下（抵抗法）使用温度範囲 −10℃〜＋50℃有害物質 RoHS（EU指令­2002/95/EC­­27­Jan.­2003）適合

※静止角度誤差：フルステップ（0.72 ）゚無負荷時の値（負荷により変動します）※本モータはオリエンタルモーター社製の当社専用仕様品です。

6-3. モータ内部結線モータの内部結線は5線式ペンタゴン結線になっています。ドライバを選定する際には注意してください。

37

ハイグレードステージ（自動）

6-4. コネクタ仕様コネクタの結線は、下図のとおりです。

■ X / XY / Z ステージ ■ 回転ステージ

注意●­ステージとコントローラの間のケーブルは3m以内にしてください。●­リミットOUT、原点センサOUTはコントローラ側においてフォトカプラ等でのアイソレーションを推奨します。

6-5. センサ仕様

遮光・入光の検出センサは、オムロン製フォトインタラプタIC­EE-SX4134を使用しています。出力形態­ ：オープンコレクタセンサ電源電圧（Vcc）­：5V〜24Vセンサ消費電流（Icc）­ ：max.30mA（センサ1個当り）最大電圧（Vo）　　­ ：max.30V最大電流（Io）­ ：max.30mA

6-6. リミット、原点信号の動作論理ハイグレードステージ（自動）は、ステージ移動量のセンタ付近に原点センサを設けています。原点前センサはありません。また、回転ステージにはリミットセンサはありません。

ステージの種類 リミットセンサ 原点センサX­/­XY­/­Z N.C. N.C.回転 ー N.O.

ピンNo.123456789101112

内容モータ線モータ線モータ線モータ線モータ線センサ Vcc +5V～+24V＋リミット　CW-リミット　CCWセンサ用コモン（GND）原点N.C.保守用フレームグランド

センサ

CCWリミット原点CWリミット

青赤橙緑黒

モータ PK523HPB相当

コネクタ（ヒロセ電機）レセプタクル：HR10A-10R-12PC（71）コンタクト：HR10-PC-112

ピンNo.123456789101112

内容モータ線モータ線モータ線モータ線モータ線センサ Vcc +5V～+24VN.C.N.C.センサ用コモン（GND）原点N.C.保守用フレームグランド

原点センサ

青赤橙緑黒

モータ PK523HPB相当

コネクタ（ヒロセ電機）レセプタクル：HR10A-10R-12PC（71）コンタクト：HR10-PC-112

GND

OUT

Vcc

（5～24V）

主回路

ステージ側 コントローラ側

N.C.：ノーマルクローズ（遮光時ON）N.O.：ノーマルオープン（遮光時OFF）

38

ハイグレードステージ（自動）

7 コントローラ、接続ケーブル（別売）

7-1. 接続方法当社製コントローラとの接続を示します。お客様の仕様に合わせてご購入ください。万が一、間違って購入された場合には、速やかに当社までご連絡ください。

※他のコントローラとの接続については、当社までお問い合わせください。

7-2. コントローラ、接続ケーブル（別売）製品名 製品番号1軸コントローラドライバ QT-ADL12軸コントローラドライバ QT-ADM23軸コントローラドライバ QT-ADM33軸コントローラドライバ QT-AMM3高機能2軸コントローラドライバ QT-AMH2AMM-40/60接続ケーブル（1.5m） ACB-STM2MM-40/60接続ケーブル（3m） ACB-STM3ドライバ側切り離し接続ケーブル（3m） ACB-STM-D3

※­コントローラと組み合わせて使用する操作ボックスなどを用意しております。当社カタログをご参照ください。

※­ステージの軸数に合わせて、コントローラ・ドライバの台数および接続ケーブルの本数をご選定ください。

ACB-STM2ACB-STM3

ハイグレードステージ（自動） 接続ケーブル コントローラ・ドライバ

ACB-STM-D3

QT-ADL1

QT-ADM3

オリエンタルモーター（株）社製のドライバなど

QT-AMH2A

QT-AMM3

QT-ADM2

39

ハイグレードステージ（自動）

7-3. コントローラの設定本製品のセンサ論理は以下のとおりです。使用するコントローラのリミットセンサ、原点センサのセンサ論理を合わせる必要がありますので、ご注意ください。

■ ステージのセンサ論理ステージの種類 リミットセンサ 原点前センサ 原点センサ

XN.C. － N.C.XY

Z回転 ー ー N.O.

N.C.：ノーマルクローズ­­­N.O.：ノーマルオープン※­ハイグレードステージ（自動）に、原点前センサはありません。また、回転ステージはリミットセンサはありません。

■ パラメータの設定原点前センサと原点センサの論理、および原点復帰モードの設定は、コントローラのパラメータで設定します。工場出荷時の初期設定は、原点前センサ「N.C.」、原点センサ「N.O.」となっています。原点前センサと原点センサの論理設定は、原点復帰モードと関係がありますのでご注意ください。

自動設定についてX­/­XY­/­Zステージは、パラメータNo.04を “36” に、回転ステージは、パラメータNo.04を“31”に設定すると、パラメータNo.01〜 03とディップスイッチの設定（次項）がハイグレードステージ（自動）の推奨値に自動的に設定されます。※­この場合、パラメータNo.01〜 03の設定値とディップスイッチの設定は無効になります。手動にて設定を行う場合は、パラメータNo.04を “00” に設定し、パラメータNo.01〜03の設定とディップスイッチの設定を行ってください。

X / XY / Z ステージの設定値（推奨値）パラメータNo. 項目 設定値 設定内容

01 原点センサ論理と使用／未使用 2 NC02 原点前センサ論理と使用／未使用 0 未使用

03 原点復帰モード 2 原点・Z相3 原点

04 ステージセンサ論理と原点復帰モード 36 自動設定00 手動設定

回転ステージの設定値（推奨値）パラメータNo. 項目 設定値 設定内容

01 原点センサ論理と使用／未使用 1 NO02 原点前センサ論理と使用／未使用 0 未使用

03 原点復帰モード 2 原点・Z相3 原点

04 ステージセンサ論理と原点復帰モード 31 自動設定00 手動設定

※­自動設定の場合、パラメータ03（原点復帰モード）は、「3」（原点）に設定されます。

原点復帰モードについてハイグレードステージ（自動）では、上記表の原点復帰モード2つの中から選択できます。当社としては、「設定値：3」を推奨いたします。原点復帰の動作については、コントローラの取扱説明書をご参照ください。

40

ハイグレードステージ（自動）

■ ディップスイッチの設定ハイグレードステージ（自動）を当社製コントローラ（QT-ADL1/QT-ADM2/QT-AMH2A/QT-ADM3/QT-AMM3）で動作させる場合、X­/­XY­/­Zステージは、パラメータNo.04を“36”に、回転ステージは、パラメータNo.04を “31” に設定すると、下記ディップスイッチの設定は不要です。

ディップスイッチの手動設定ディップスイッチの設定を手動で行う場合は、パラメータNo.04を “00”（手動設定）に設定し、下記に従いディップスイッチを設定してください。

注意パラメータNo.04を “00”（手動設定）に設定した場合は、パラメータNo.01〜 03の設定も必要となります。「■­パラメータの設定」（P.39）、およびコントローラの取扱説明書を参照してください。

●­QT-ADL1は1軸、QT-ADM2とQT-AMH2Aは2軸、QT-ADM3とQT-AMM3は3軸です。使用する軸に合わせて設定してください。

●­動作が異常な場合は、各スイッチの設定を確認してください。

7-4. クローズドループ制御時の設定について当社製コントローラQT-AMH2Aとスケール付ハイグレードステージ（自動）の組合せでクローズドループ制御を行う場合は、各種設定が必要となります。この設定については、QT-AMH2Aの取扱説明書をご参照ください。

7-5. 表示単位の設定当社製コントローラ（QT-ADL1/QT-ADM2/QT-AMH2A/QT-ADM3/QT-AMM3）では、パラメータ設定によりステージの移動量をmm単位やμm単位などでの表示が可能です。パラメータNo.19,20の設定を、ステージの分解能に合わせて設定を行ってください。

X / XY / Z ステージ　［分解能：0.002mm］ 回転ステージ　［分解能：0.01°］例：0.000mm→mm単位でμmまで表示する 例：0°00'00" → 60進の角度を表示する

パラメータNo. 項目 設定値 設定内容 パラメータNo. 項目 設定値 設定内容19 単位表示の選択 1 mm表示（1μmまで） 19 単位表示の選択 7 7：度（60進）20 単位表示の分解能 2,000 0.002 ×1,000,000 20 単位表示の分解能 10,000 0.01×1,000,000

QT-ADL1 QT-ADM2 / QT-AMH2A QT-ADM3 / QT-AMM3

QT-ADM3 / QT-AMM3QT-ADL1 QT-ADM2 / QT-AMH2A

ON

ON

ON

ON ON

ON ON

ON

X / XY / Z ステージを使用するときの設定

回転ステージを使用するときの設定

41

ハイグレードステージ（自動）

8 ステージの保守について

ステージの性能を良好な状態で維持するために、次の保守・点検を行ってください

■ 保守項目と保守間隔の目安

X / XY / Z ステージ

保守項目送りねじのねじ部とガイドレールの転動面へのグリースの塗布

使用グリース送りねじ［精密ねじ］：ＡＦＦグリース（ＴＨＫ社製）送りねじ［ボールねじ］：AFE-CAグリース（ＴＨＫ社製）ガイドレール：ＡＦＦグリース（ＴＨＫ社製）

※­グリースの汚れが確認された場合には、ウエスなどで汚れたグリースをふき取り、新しいグリースを塗布してください。

保守間隔の目安30,000往復〜40,000往復※­保守間隔はステージの動作状況、環境により異なります。定期的に保守項目部を点検してください。

­ グリース不足や汚れが確認された場合は、その都度グリースの塗布、またはふき取りと塗布を行ってください。

回転ステージ

注意回転ステージのグリースアップには、専門の知識や技術が必要です。動作異常や異音などが生じた場合には、お買い上げの販売店までご連絡ください。

ガイドレール

ガイドレール

送りねじ

42

ハイグレードステージ（自動）

9 アクセサリ

ハイグレードステージ（自動）に使用するスペーサ（4種類）とZブラケット（4種類）を用意しています。スペーサは一回り小さいサイズのステージを組み合わせるときに使用します。ZブラケットはXステージを取り付けてZステージとして使用したり、移動面を縦方向から横方向に変換するときに使用します。

■ スペーサ製 品 番 号 SS-4002 SS-5002 SS-6002 SS-7002価 格 2,000円製 品 名 40mm角用スペーサ 50mm角用スペーサ 60mm角用スペーサ 70mm角用スペーサ質 量 0.03kg（アルミ合金）0.05kg（アルミ合金）0.07kg（アルミ合金） 0.1kg（アルミ合金）

­ SS-4002­ SS-5002

­ SS-6002­ SS-7002

40 8

32

24

4-M2深サ8

4-3.5キリ,6深ザグリ深サ3.5

243240

70 8

60

50

506070

4-M4深サ8

4-4.5キリ,7.5深ザグリ深サ4.5

60 8

50

40

405060

4-M3深サ8

4-4.5キリ,7.5深ザグリ深サ4.5

50 8

40

32

4-M3深サ8

4-3.5キリ,6深ザグリ深サ3.5

324050

43

ハイグレードステージ（自動）

■ Z ブラケット製 品 番 号 SB-4002 SB-5002 SB-6003 SB-7003価 格 5,000円 7,000円 8,000円 10,000円製 品 名 Zブラケット

40mmx40mm用Zブラケット

50mmx50mm用Zブラケット

60mmx60mm用Zブラケット

70mmx70mm用質 量 0.1kg（アルミ合金） 0.15kg（アルミ合金） 0.2kg（アルミ合金） 0.25kg（アルミ合金）

­ SB-4002­ SB-5002

­ SB-6003­ SB-7003

6

2432

24 32

45

14 10 16

32

32

40

40

∅8 4065

4-M34-3.5キリ

4-3.5キリ

4-M44-4.5キリ

4-4.5キリ

φ8

6050 60 70

105

70

6

70

60

60

70

42 10 1850

324050

32 40

50

40

40 50

24 10 16

6

∅8 5075

4-M34-3.5キリ

4-3.5キリ

4-M44-4.5キリ

4-4.5キリ

∅8

1032 18

50

50 60

6

405060

60

40 50 6090

44

ハイグレードステージ（自動）

10 保証と修理

■ 保証期間取扱説明書、本体貼付ラベルなどの注意書きまたはカタログ記載の取り扱いの注意に基づき、正常な使用状態で故障が発生した場合は、工場出荷日より次の期間、無償修理いたします。

保証期間　　工場出荷日より 3 年間

ただし、納入後の故障により誘発される損害については、この対象範囲から除外させていただきます。保証期間内でも下記の場合には有償修理となりますのでご了承ください。・使用上の誤り、または修理や改造によるもの。・お買い上げ後の落下などによる故障および損傷。・火災、地震、水害、落雷その他天災地変、公害や異常電圧による故障および破損。・消耗品の劣化などによる性能低下や動作異常。・事前に当社が保証範囲外と定めた製品や部品。※この保証は、日本国内においてのみ有効です。

■ 保証期間中の修理お買い求めの販売店までご連絡ください。

■ 保証期間が過ぎてしまった場合の修理保証期間が過ぎてしまった場合でも、お求めになった販売店にご連絡ください。故障の状態により有償にて修理いたします。その際、修理期間の短縮、修理内容を確実にするために以下の事項をお知らせください。・購入年月日、製品名、製品番号、製造番号。・お客様の具体的な使用方法。・具体的な故障内容。・故障の原因となったと思われる点。

■ お問い合わせ弊社の製品でご不明な点がありましたら下記にご連絡ください。

­ 本社営業部­ TEL.03-3257-1911­ FAX.03-3257-1915

45

ハイグレードステージ（自動）

本取扱説明書に記載された内容は予告無しに変更する場合がありますのでご了承ください。また、製品についても改良のため予告無しに変更することがありますのでご了承ください。

ハイグレードステージ（自動） 0.75A/相　取扱説明書　Ver.4.02017/11/18　ADV.

本社営業部­ 〒101-0063　東京都千代田区神田淡路町1-5­及川ビル3F­ TEL.­03-3257-1911­ FAX.03-3257-1915

A002-A035