真空ユニットZX Series真空ユニットエジェクタシステム・真空ポンプシステム対応特長・用途例 P.864 エジェクタユニット基本仕様 P.865

ZX Series

真空ユニット

エジェクタシステム・真空ポンプシステム対応

特長・用途例 P.864エジェクタユニット基本仕様 P.865

型式表示方法 P.866供給弁・破壊弁の組み合わせ P.868構造図 P.869エジェクタユニット P.870バルブユニット P.872サクションフィルタユニット P.874真空用圧力スイッチユニット P.875外形寸法図／バルブユニットなし P.881外形寸法図／供給弁・破壊弁組み合わせK1、K3、K6、K8、J1、J2タイプ P.882～893マニホールド仕様 P.894外形寸法図 P.896～901

型式表示方法 P.902供給弁・破壊弁の組み合わせ P.904構造図 P.905バルブユニット P.906サクションフィルタユニット／真空圧力スイッチユニットP.907外形寸法図／供給弁・破壊弁の組み合わせK1、K3、K6、K8タイプ P.908～915マニホールド仕様 P.916外形寸法図 P.918～923

エジェクタシステム／単体、マニホールド P.924真空ポンプシステム／単体、マニホールド P.926単体からマニホールド組換 P.928

供給弁・破壊弁の標準外組み合わせ P.930

高消音タイプサイレンサアッシ P.934

100gまでの電子部品、小物精密部品に

モジュール設計による最適機能組み合わせ可能使用目的に応じて、必要な機能を自由に組み合わせることが可能です。

lNDEX……………………………………………

…………………………

………………………………………………………………………

…………………………………………………………………………………………

……………………………………………………………………………………………………………………

………………………………………………………

………………………………………

………………………………………………………………………

………………………………………………………………………………………………

………………………………………………………………

………………………………………

……………………

……………………………

…………………………………

エジェクタシステム

真空ポンプシステム

ユニット構成

オーダーメイド仕様13

2

［オプション］

863

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

A

エジェクタシステム対応エジェクタシステム対応

フルセット

真空ポンプシステム対応

用途例

フルセット

チップボンディングチップマウンタ極小部品の吸着搬送印刷機への紙送り

単体

100gまでの電子部品、小物精密部品にモジュール設計による最適機能組み合わせ可能使用目的に応じて、必要な機能を自由に組み合わせることが可能です。

コンパクト、軽量（機能フルセット時120g）によりアクチュエータ取付に最適

エジェクタノズル径ø0.5～ø1.0（吸込流量5～22l/min（ANR））から選定

真空ユニットエジェクタシステム・真空ポンプシステム

ZX SeriesZX Series

864

単体

マニホールド

・真空ポンプシステムのマニホールドの手配方法についてはP.916をご参照ください。・組換用ユニットの手配方法についてはP.924～927をご参照ください。

・各ユニットの詳細仕様については、P.870～880をご参照ください。・エジェクタシステムの単体の手配方法についてはP.866、867をご参照ください。・エジェクタシステムのマニホールドの手配方法についてはP.894をご参照ください。・真空ポンプシステムの単体の手配方法についてはP.902、903をご参照ください。

システム対応エジェクタシステム

構成機器項目

ノズル径 mm 0.5

一般用圧力スイッチ吸着確認スイッチ

0～－101kPa －20kPa～－101kPa

3％以下

DC24V

2～25 0.3～1.2

一般用圧力スイッチ吸着確認スイッチ

0～－101kPa －20kPa～－101kPa

0.5kPa

DC24V

2～25 0.3～1.2

0.7 1.0

5 10 22

13 23 46

－84kPa

内蔵サイレンサ・マニホールド排気個別排気ポート（Rc ）

最大吸込流量 l/min(ANR)

空気消費量 l/min(ANR)

最高真空圧力

構成機器

制御方式

操作方式

電源電圧

シリーズ

設定圧力範囲

応差

通用パッド径 mm

供給電圧

供給弁、破壊弁

N．C．、N．O．

電磁弁、エアオペレート

DC3、5、6、12、24V、AC100、110V（50/60Hz）

空気供給接続口径

真空パッド接続口径

空気供給接続口径

排気ポート接続口径共通仕様

外部パイロット接続口径

連数

M5（標準）、M6（準標準）

M5（標準）、M6（準標準）

Rc

Rc

M5

Max.8連

マニホールド

単体

マニホールド

単体

使用圧力範囲負圧～0.5MPa

30μm

排気方式

P.866～901

真空ポンプシステム

P.902～929

エジェクタユニットZX1シリーズ

バルブユニットZX1-V

真空圧力スイッチユニットZSシリーズ

サクションフィルタユニットZX1-F

1 8

1 8

1 8

エジェクタユニット基本仕様

OrderMade オーダーメイド仕様

（詳細→P.930～934をご参照ください。）

ろ過度

ZX Series

865

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

ZX1

ZX1

1エジェクタユニット

バルブユニットNCタイプ

真空スイッチユニット 10

110

5 L Z E CK1エジェクタユニット

バルブユニットNOタイプ

真空スイッチユニット 5 L Z E CK3

ZX1 110エジェクタユニット

真空スイッチユニット E C

ZX1 110エジェクタユニット

フィルタユニット F

エジェクタユニットノズル径

エジェクタ排気方式

供給弁・破壊弁の組合わせ

パイロット弁仕様

電磁弁定格電圧

リード線取出し方法

ランプ・サージ電圧保護回路

手動操作真空スイッチユニット

フィルタユニット

真空スイッチ


PV・Vポート管接続口径

破壊流量調整ニードル

0507

0.5mm

0.7mm

10 1.0mm

無記号DC：1Wタイプ（ランプ付：1.05W）

ACタイプ

※YDC：0.45Wタイプ（ランプ付：0.5W）


CE対応

無記号Y

M5×0.8

M6×1（準標準）

※1注）※3注）

AC100V50/60Hz

AC110V50/60Hz

5 DC24V

6 DC12V

V DC6V

S DC5V

R DC3V

無記号エアオペレート

（K6、K8、J3、J4、D3、D4に適用）

手動操作無記号

Bノンロック式プッシュ式ロック式ドライバ操作形

ランプ・サージ電圧保護回路無記号

※S

なしZ ランプ・サージ電圧保護回路付

サージ電圧保護回路付

真空スイッチユニット／フィルタユニットの場合無記号

EE55

PS注）PB注）

F

真空用圧力スイッチ（一般用）（ZSE2）（NPN仕様）真空用圧力スイッチ（一般用）（ZSE2）（PNP仕様）

なし

ノズル径ø0.3～0.7


サクションフィルタのみ

サクションフィルタ付吸着確認スイッチ

（ZSP1）

真空スイッチリード線取出し方法無記号

Lリード線長さ0.6mグロメット

タイプ

コネクタタイプ

リード線長さ3m

C リード線長さ0.6m

CLCN


コネクタなし (リード線も付いていません。)

¡コネクタ付リード線品番についてはP.867の表3をご参照ください。

真空用デジタル圧力スイッチユニットの場合（ZSE3）

D

21222324

2出力/アナログ出力なし2出力/アナログ出力付

1出力、故障予知出力付/アナログ出力なし1出力、故障予知出力付/アナログ出力付

LLN

リード線長さ0.3m

M型プラグコネクタタイプ

L型プラグコネクタタイプ

リード線なし（DCのみに適用）

MNMO


グロメットタイプ

GH

無記号

コネクタなしリード線長さ0.3m（DCのみに適用）リード線長さ0.6m（DCのみに適用）エアオペレート

LO コネクタなしM リード線長さ0.3m

注）アナログ出力付のタイプはグロメットタイプのみです。

注）PS, PBのCE対応品はありません。

注1）ポート排気をマニホールドでご使用される場合、パイロットエキゾーストは集合排気されますのでマニホールドベースのエキゾーストポートは開放状態で使用してください。

注2）本製品をマニホールド仕様集合排気にて使用される際、作動しているエジェクタと作動していないエジェクタがある場合、作動しているエジェクタの排気エアが作動していないエジェクタの真空ポートにまわり込みエアを出力してしまいます。エジェクタの排気方法をサイレンサ排気もしくはポート排気仕様を選定してください。

※ACの場合／Sタイプはありません。DCの場合（サージ電圧保護回路）極性を間違えますとダイオードまたはスイッチング素子の焼損を招く場合がありますので十分ご注意ください。

注）供給弁・破壊弁の組み合わせが、K1・J1の場合、Mプラグコネクタタイプは取付きません。



1 サイレンサ付ポート排気Rc

集合排気（マニホールドのみ）

エジェクタ排気形式

注）1, 3のCE対応品はありません。※プラグコネクタのみ適用。整流器付コネクタAss’yが、付属されています。


バルブユニット／供給弁・破壊弁組み合わせP.867の表1をご参照ください。

※ 0.45WタイプはDC24、12Vのみとなります。

1 8


・コネクタ付リード線品番についてはP.867表2をご参照ください。・マニホールドの手配方法についてはP.894をご参照ください。・組換用ユニットの手配方法についてはP.924、925をご参照ください。

構成機器

破壊流量調整ニードル無記号

Lロックナット無ロックナット付

無記号Q

―CE対応品

注意

注意サージ電圧保護回路


ACタイプの場合、整流器を介して、DCソレノイドを使用しています。ご使用の際は必ず、整流器付コネクタAss'yと専用ソレノイドを組み合せてください。他の組合せでは、コイル焼損、作動不良等のトラブルを生じます。

本製品に組み込まれているフィルタは簡易的なものです。ダストの多い環境等にて使用される場合、ユニットのフィルタでは目詰りが早くなるためZFA, ZFB, ZFCシリーズとの併用をおすすめします。

DCの場合極性をコネクタの＋、－表示に合せて接続してください。極性を間違えますとダイオードまたは、スイッチング素子の焼損を招く場合がありますので十分にご注意ください。あらかじめ、リード線が接続されている場合には＋赤、－黒となっています。

ACの場合整流器Ass'yによりサージ電圧の発生を防いでいますので、サージ電圧保護回路付はありません。

型式表示方法

真空ユニットエジェクタシステム

ZX Series

2注1）

3注2）

L

OrderMade オーダーメイド仕様

（詳細→P.930～934をご参照ください。）

［オプション］注）CE対応品は型式表示方法をご確認ください。

CE対応――●●●●●

―

CE対応●●●――●

（エアオペレート部除く）

866B

3A36VJ10

無記号6

1015202530

0.3m（標準）0.6m1m1.5m2m2.5m3m

1A36VJ10

（DCのみ適用）

（AC100Vのみ適用）


4A20VJ10

リード線長さ

6

6

6無記号

3050

0.6m3m5m

リード線長さ

5A10ZSコネクタAss'y品番 ZSE2用ZSP1用

5A20ZS

手配方法リード線長さが600mm以上の真空ユニットを必要な場合には、コネクタなしの真空ユニットの品番とコネクタAss'yの品番を併記してください。例）ZX1051-K15L0Z-EC（-Q）……………1ケ

＊VJ10-20-4A-6 …………………………2ケ

注）リード線長さが3mのスイッチを発注する場合には、コネクタなしのスイッチとコネクタ付リード線の品番を併記してください。

例）ZX1051-K15L0-ECN（-Q）… 1ケ

＊VJ10-20-4A-6 ………………2ケ＊ZS-10-5A-50…………………1ケ

ノズル径（mm）

0.5

0.7

1.0

エジェクタ排気形式

サイレンサ付 DC24Vプラグコネクタタイプ

ランプ・サージ電圧保護回路付

一般用真空圧力スイッチ（ZSE2）





真空スイッチユニット

真空スイッチリード線取出し方法

供給弁・破壊弁組合せ供給弁

（パイロット弁）N.C.

（VJ114）N.O.

（VJ324M）N.C.

（VJ114）N.O.

（VJ324M）N.C.

（VJ114）N.O.

（VJ324M）

N.C.（VJ114）N.C.

（VJ314）N.C.

（VJ114）N.C.

（VJ314）N.C.

（VJ114）N.C.

（VJ314）

破壊弁（直動弁）

型式

ZX1051-K15LZ-EC

ZX1051-K35MZ-EC

ZX1071-K15LZ-EC

ZX1071-K35MZ-EC

ZX1101-K15LZ-EC

ZX1101-K35MZ-EC

エジェクタシステムの代表的な推奨型式／下記型式は短納期品となります。

ZX1□□□-K15LZ-E□ ZX1□□□-K35MZ-E□

表2.バルブユニットコネクタ付リード線表3.真空スイッチコネクタ付リード線

表1.バルブユニット／供給弁・破壊弁の組み合わせ（詳細仕様はP.868をご参照ください）バルブユニット構成機器

供給弁

電磁弁（N.C.）

電磁弁（N.C.）

電磁弁（N.O.）

電磁弁（N.C.）

エアオペレート（N.C.）外部破壊

なし

なし

エアオペレート（N.O.）

エアオペレート（N.C.）

電磁弁（N.C.）電磁弁（N.O.）

破壊弁記号

K1 ●

ー

ー

ー

●

ー

ー

●

ー

ー

ー

●

ー

ー

●

ー

ー

ー

ー

ー

ー

●

ー

ー

ー

ー

ー

ー

ー

ー

●

ー

ー

ー

ー

ー

ー

●

ー

ー

ー

ー

ー

ー

ー

●

ー

ー

ー

ー

●

ー

ー

ー

ー 82

132

58

132

77

100

ー

ー

ー

●

●

K3

K6

K8

J1

J2

無記号バルブユニットなし

電磁弁供給弁破壊弁

質量（g）N.C.（VJ114）

N.O.（VJ324）

エアオペレートN.C.

（ZX1A）N.O.

（VJA324）

電磁弁N.C.

（VJ114）N.C.

（VJ314）

エアオペレート外部破壊N.C.

（VJA314） ZX1Aなしなし

※エアオペレートは外部からの3ポート弁にて制御。※外部破壊は外部2ポートより直接破壊します。

ZSE3用

＊が組み込み品番になります

867

ZX Series真空ユニットエジェクタシステム

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

A

供給弁（N.C.）電磁弁ONOFFOFF

OFFONOFF

電磁弁破壊弁（N.C.）操作

状態1.ワーク吸着2.破壊3.作動停止

供給弁（N.O.）エアオペレート弁

OFFONON

OFFONOFF

エアオペレート弁破壊弁（N.C.）操作


供給弁（N.O.）電磁弁OFFONON

OFFONOFF

電磁弁破壊弁（N.C.）操作


供給弁（N.C.）電磁弁ONOFFOFF

なし破壊弁操作


供給弁外部3ポート弁

ONOFFOFF

OFFONOFF

外部2ポート弁破壊弁操作


供給弁（N.O.）電磁弁OFFONOFF

なし破壊弁操作


組み合わせ記号K1

操作方法

用途：電気信号により、制御する場合に使用します。


操作方法

用途：電気信号により、制御する場合に使用します。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、エジェクタヘの供給圧力は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止の場合に使用します。


操作方法

用途：エア信号により、制御する場合に使用します。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、エジェクタヘの供給圧力は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止の場合に使用します。

組み合わせ記号 J1

操作方法

用途：電気信号により、制御する場合に使用します。破壊はサイレンサとパッドとワーク間の大気の回り込みとなります。破壊の速度を速くする必要のない場合に使用します。


操作方法

用途：エア信号により、制御する場合に使用します。

組み合わせ記号 J2

操作方法

用途：電気信号により、制御する場合に使用します。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、エジエクタヘの供給圧力は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止の場合に使用します。破壊はサイレンサとパッドとワーク間の大気の回り込みとなります。破壊の速度を速くする必要のない場合に使用します。

エジェクタシステム／供給弁・破壊弁の組み合わせ

破壊圧供給ポート（PD）

破壊エア供給（D）

空気圧出力ポート（A）

パイロット圧排気（PE）

パイロット圧供給ポート（PS）

空気圧供給ポート（PV）

868

ZX Series

エアオペレート N.C.（ZX1A） ZX1A- K6

適用バルブ組み合わせ

ZX1-VJ3 4 -

ZX1-VJA3 4

ZX1-VJ114- K1、J1

K3、J2

K8

型式番号構成機器

q

w

e

r

供給弁破壊弁電磁弁N.C.（VJ114）電磁弁N.O.（VJ324）エアオペレートN.O.（VJA324）

電磁弁N.C.（VJ114）電磁弁N.C.（VJ314）エアオペレートN.C.（VJA314）

12

12

ZL5ZX1

VJ3

VJ114

ZL42 5ZX1

ランプ・サージ電圧保護回路ボディオプション

手動操作方法

リード線取出し方

定格電圧

切換方式

※プラグコネクタのみに適用

無記号

DC：0.45Wタイプ（ランプ付：0.5W）

ACタイプ

DC：1Wタイプ（ランプ付：1.05W）

※Y

※0.45WタイプはDC24、12Vのみとなります。注）ZXシリーズ用VJ100、VJ300は、ビスの長さが標準品と異なります。

〈ビスの長さ〉VJ100ーM1.7×15VJ300ーM1.7×22


注）ノーマルクローズの場合、無記号のパイロット弁個別排気形です

注）ZX1-VJ114の場合、M・MN・MOは不適当です。

注）ZX1-VJ324M-□ZX1-VJ314-□のみの対応となります。

エジェクタシステム／構造図

表2.電磁弁／型式表示方法

表1.パイロット弁／型式表示方法

材質

ー

PVF

ーーーーー

部品品番表1、表2、表3をご参照ください

表4をご参照くださいZX1-FE

番号部品名

9

10

11

フィルタエレメント

パイロット弁エアオペレート

エジェクタアセンブリZX1-FG12 ガスケットZX1-SAE13 サイレンサエレメントZX1-PK14 パッキンセット

ZX1-HS2-□（□はノズル径）（7,13）サイレンサAss'y

注）フィルタケース取扱い上のご注意1）ケースの材質はポリカーボネートですので、シンナ、四塩化炭素、クロロホルム、酢酸エステル、アニリン、シクロヘキサン、トリクロールエチレン、硫酸、乳酸、水溶性切削油（アルカリ性）等の化学薬品のご使用あるいは雰囲気中でのご使用は避けてください。

2）直射日光を避けてご使用ください。

交換部品

ポートサイズ

M3ZX1A

M3M5

M3×0.5 パイロットポート外部破壊ポートM5×0.8

表3.エアオペレートタイプ／型式表示方法

123

サイレンサ排気ポート排気集合排気型

050710

0.5mm

0.7mm

1.0mm

05ZX1 1DWエジェクタ形式（排気方式）


アセンブリ品番

表4.エジェクタアセンブリ／型式表示方法

※アセンブリにアダプタを組付けることによりユニットとなり、PVポート、Vポートの接続が可能となります。

¡組み合わせ使用／ZX1-WD

¡アダプタを付けて単体使用／ZX1-W

エジェクタアセンブリ

注意破壊流量調整ニードルの調整は、時計回りで、破壊流量は絞られ、止まったところで全閉となります。全閉状態から反時計回りで、2回転しますと全開となります。4回転以上回しますと、ニードルが外れますのでご注意してください。また緩み止め対策品としてロックナット付破壊流量調整ニードル（ZX1-ND-L）を用意しておりますので御検討ください。

材質ー

ステンレス鋼アルミニウム

ーーーー

ポリカーボネート

備考ZX1-PV-0

ZX1-NA

ZSE2、ZSP1、ZSE3

ZX1-VA -D-

（PV PS PD）

番号部品名1

2

3

4

5

6

7

8

ポペット弁Ass'y

破壊流量調整ニードルマニホールドベース真空スイッチバルブユニットインタフェイスプレートサイレンサケースフィルタケース注）

構成部品!4

!3

!4 !4

!4

!2!4

!4

ノンロックプッシュ式ロック式ドライバ操作形

無記号B

N．C．（ノーマルクローズ）N．O．（ノーマルオープン）

12

AC100VAC110VDC24VDC12VDC6VDC5VDC3V

※1※3

56VSR

コネクタ（0.3m）コネクタ（リード線なし）コネクタなしコネクタ（0.3m）コネクタ（リード線なし）コネクタなしグロメット（0.3m）グロメット（0.6m）

LLNLOMMNMOGH

パイロット弁個別排気形主弁パイロット弁集合排気形

無記号M ランプ・サージ電圧保護回路なし

サージ電圧保護回路付ランプ・サージ電圧保護回路付

無記号SZ

869


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

A

ユニット品番 ZX1-W05 0.5

5

13

記号q

記号w

0.7

10

23

ー84kPa

0.7MPa

0.2MPa～0.55MPa

0.45MPa

5～50℃サイレンサ内蔵・・・・・・単体・マニホールド用ポート排気・・・・・・・・・・単体・マニホールド用サイレンサ内蔵35g、ポート排気45g

ブラケットB（ZX1-OBB）

1.0

22

46

ノズル径 mm

最大吸込流量 l/min（ANR）空気消費量 l/min（ANR）最高真空圧力最高使用圧力供給圧力範囲標準供給圧力使用温度範囲※形式（エジェクタ排気方法）質量標準装備

12 ZX1-W07 12 ZX1-W10 12

※記号q、wは型式表示方法のエジェクタ排気方法を表します。

エジェクタ排気方法

PV、Vポートの管接続口径ノズル径

W 105ZX1

仕様

外形寸法図／ZX1-W□□

型式表示方法

12

エジェクタユニット

注1）外部破壊を行う場合プラグを外してください。注2）※寸法は、ブラケットB取付時の寸法です。

0.5mm

0.7mm

1.0mm

050710

1 8

サイレンサポート排気Rc

12

M5×0.8

M6×1（準標準）無記号

Y

3

50

13 （33.2）

※48.2

17

17.5

※5.4

※ （55.4）

8

※1

※47

27

※8

※20

※11.5

18

6

10

ポート排気サイレンサ排気

ポート排気の場合

排気ポート（EXH.）Rc1/8

表示記号

P

PD

V

2×ø3

（取付穴）

2×ø3.6

（取付穴）

ブラケットB

ZX1-OBB

（標準装備）

真空ポート（V）M5（またはM6）

注1）

破壊圧供給ポート（PD）M5（またはM6）プラグ

空気圧供給ポート（P）M5（またはM6）

V

P

PD

870

ZX Series

A

排気特性流量特性

流量特性・排気特性流量特性は供給圧力が0.45MPaの時のものです。

ZX1-W07


ZX1-W05 流量特性の図の見方


ZX1-W10

製品個別注意事項

注意

流量特性は、エジェクタの真空圧力と吸込流量の関係を表わし、吸込流量が変化すると真空圧力も変化することを示しています。一般には、エジェクタの標準使用圧力での関係を示しています。図で、Pmaxは最高真空圧力、Qmaxは最大吸込流量を示しています。カタログ等で仕様として掲載されている値はこの値です。真空圧力の変化のしかたについて、順を追って説明します。qエジェクタの吸込口を塞ぎ、密閉すると吸込流量は0となり、真空圧力は最高（Pmax）となります。

w吸込口を序々に開き、空気が流れる（空気が漏れる）ようにすると、吸込流量は増加しますが、真空圧力は低くなります。（P1とQ1の状態）

eさらに吸込口を開け、全開とすると、吸込流量は最大（Qmax）となりますが、この時の真空圧力はほとんど0（大気圧）となります。このように、吸込流量が変化すると、真空圧力も変化します。言い換えますと、真空ポート（真空配管）に漏れがない場合は真空圧力は最高となりますが、漏れ量が増えるに従って真空圧力が低下し漏れ量と最大吸込流量が等しくなると真空圧力はほとんど0となります。通気性のあるワークや漏れのあるワークを吸着させる場合は、真空圧力があまり高くなりませんので注意が必要です。

ZXの選定およびサイジングについては、P.825～P.843真空用機器機種選定方法をご参照ください。

ご使用の前に必ずお読みください。安全上のご注意については前付38、39、真空用機器／共通注意事項についてはP.844～846をご確認ください。

871


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

バルブユニット／ZX1-VA

定格電圧VJ114

DC24・12・6・5・3V、※AC100・※110V（50/60Hz）L形コネクタ、グロメット L形コネクタ、M形コネクタ、グロメット

あり、なしノンロックプッシュ形、ロック式ドライバ操作形

VJ314, VJ324

リード線取出し方法ランプ・サージ電圧保護回路手動操作※プラグコネクタのみ適用。整流器付コネクタAss'yが付属されています。

ZX1 V A K1 5 L Z

PV、Vポートの管接続口径

手動操作

ランプサージ電圧保護回路


パイロット弁仕様定格電圧

システム対応

供給弁破壊弁組合せ


CE対応

型式表示方法／詳細はP.866をご参照ください。

ユニット品番 ZX1-VA - （-Q）構成

操作方法

Cv値 0.17主弁ー動作圧力 0.3～0.6MPa

5Hz

5～50℃

ブラケットC（ZX1-OBC）

最大作動頻度使用温度範囲インタフェイスプレート記号標準装備品

供給弁破壊弁直動方式パイロット方式

電磁弁電磁弁エアオペレートN.C.

（VJ114）N.O.

（VJ324M）N.C.

（VJ314）N.C.

（VJ114）0.08 0.008

N.C.（VJA314）

外部破壊

（ZX1A）N.C.

（ZX1A）N.O.

（VJA324）

エアオペレート

PV PS PD

型式／仕様

電磁弁仕様

電磁弁形式

エジェクタシステム真空ポンプシステム

AB

※ZX1-VB□□の仕様についてはP.906をご覧ください。

バルブ型式

破壊弁

供給弁電磁弁

N.C.（VJ114）電磁弁

N.C.（VJ114）電磁弁

N.C.（VJ314）外部破壊（ZX1A）

エアオペレートN.C.（VJA314）

なし

電磁弁N.O.（VJ324M）

エアオペレートN.C.（ZX1A）

●K1〔82〕

●K5〔73〕

●D1〔77〕●

D2〔100〕●

D3〔41〕●

D2〔100〕

●K3〔132〕

●K2〔73〕

●K6〔58〕

●K4〔119〕●

J2〔100〕●

J1〔77〕●

J3〔41〕

なし

ー

ーー

ー

ー

ー

ー

〔〕の数値は質量（g）です。

872

ZX Series

A

AC100Vの場合は、整流器付コネクタAss'yが付属されています。

AC100V用コネクタAss'y

36 AVJ10

1

3

AC100V50/60HzAC110V50/60Hz（AC115V/60Hz）

青（2本）記号定格電圧リード線の色

灰（2本）

無記号61015202530

300記号 L mm

60010001500200025003000

定格電圧リード線の長さ

整流器付コネクタAss'y品番

バルブユニット

N.C.タイプ

回路図

回路図

N.O.タイプ

注）※寸法はブラケットCの取付時、※※寸法はスペーサの取付時の寸法です。

空気圧出力

ポート（A）

破壊圧出力

ポート（D）

空気圧供給

ポート（PV）

パイロット圧

排気ポート（PE）



破壊圧出力ポート（D）


破壊圧出力ポート（D）


パイロット圧排気ポート（PE）

供給用パイロット弁



8

（ニードル全開時）

A：ロックナット付破壊流量調整ニードル

A

A

873


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

注）使用圧力範囲外および使用温度範囲外でのご使用は故障の原因となります。

フィルタ

ユニット品番使用圧力範囲使用温度範囲ろ過度ろ材質量

ZX1-F－100～500kPa

5～50℃30μm

PVF

35g

標準装備ブラケットA（ZX1-OBA）

仕様

フィルタケースについて本製品について注意

注）※寸法はブラケットAの取付時の寸法です。

サクションフィルタユニット／ZX1-F

qケースの材質はポリカーボネートですので、シンナ、四塩化炭素、クロロホルム、酢酸エステル、アニリン、シクロヘキサン、トリクロールエチレン、硫酸、乳酸、水溶性切削油（アルカリ性）等の化学薬品のご使用あるいは雰囲気中でのご使用は避けてください。

w直射日光を避けてご使用ください。

本製品は簡易的なフィルタです。ダストの多い環境等において使用される場合、本製品では目詰まりが早くなると考えられるためZFA等、容量の大きいフィルタを選定してください。

表示記号

VPV

874

ZX Series

A

-15NPNオープンコレクタ -55PNPオープンコレクタ

主回路

DC12～24V負荷MAX80mA

＋

－

主回路

DC12～24V負荷＋

－MAX30V,80mA

DC（＋）茶

OUT黒

DC（－）青

DC（＋）茶

OUT黒

DC（－）青

LED赤 LED赤

真空圧力スイッチユニット／真空用圧力スイッチ：ZSE2-0X

ユニット品番使用流体設定圧力範囲応差繰り返し精度温度特性使用電圧管接続口径

ZSE2-0X空気

0～ー101kPa

3％F.S.以下±1％F.S.以下±3％F.S.以下

DC12～24V（リップル±10％以下）M5×0.8、M6×1（準標準）

質量 50g

出力オープンコレクタ30V、80mA

動作表示灯 ON時点灯消費電流 17mA以下（DC24V ON時）使用温度範囲 0～60℃最高使用圧力 0.5MPa※

※エジェクタ使用の場合、瞬間的に0.5MPaの圧力が加わっても問題ありません。注）使用圧力範囲外および使用温度範囲外での使用は故障の原因となります。

一般用真空圧力スイッチ

型式表示方法

配線ZSE2の接続方法

高速応答／10ms小型サイズ／39H×20W×15D

（標準形接続部を除く）

配線性向上／コネクタタイプ拡散型半導体圧力センサ使用

圧力検出部（シリコン拡散型半導体センサを使用）

真空圧力の設定方法



ZSE2の場合¡圧力設定トリマでON圧力を設定します。時計回りで高真空の設定となります。

¡吸着確認に使用する場合には、確実に吸着できる真空圧力の最低値に設定します。それ以下に設定した場合吸着ミスや、不十分な吸着状態でもスイッチがONしてしまいます。また、高すぎる設定では、吸着が良好でも、スイッチがONしない場合がありますのでご注意ください。

¡フィルタケースについて注意

真空圧力設定の際は、次のことを注意してください。ドライバは指先で軽く回すようにしてください。ドライバは握り部が大きいものや先端幅がトリマ溝に合わないものは、トリマ溝を破損させる恐れがありますので、使用しないでください。

¡設定について注意

確実に吸着

吸着不安定

吸着しない0大気圧

設定圧力

高真空

供給圧力


出力仕様

リード線取出方法

0X 15ZSE2

M5×0.8


Yグロメット（0.6m）グロメット（3m）コネクタ（0.6m）コネクタ（3m）コネクタなし

無記号LC

CLCN

NPNオープンコレクタ30V 80mA

15

55 PNPオープンコレクタ30V 80mA


圧力スイッチ詳細仕様に関しましては圧力スイッチ・ZSE2シリーズのカタログを必ず参照してください。

875

ZX Series真空ユニット真空圧力スイッチユニット

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

B

真空用圧力スイッチ／ZSE2-0X-

表示記号

コネクタタイプ：ZSE2-0X- C

回路／ワーク吸着の場合

エジェクタの場合

真空ポンプの場合


真空圧力スイッチユニットの使い方設定圧力ワーク吸着確認に、使用する場合、ワークが確実に吸着する圧力に設定してください。

吸着に小径吸着ノズルを使用する場合ノズルの直径が1mm程度のON/OFFの圧力差が小さくなり、ZSE2/ZSE3では吸着確認を行えない場合があります。このような場合は、吸着確認スイッチZSP1（P.879）を検討ください。注）エジェクタ／ポンプの能力も影響しますのでご注意ください。

1つの真空源に複数の圧力スイッチを使う場合1つの真空源を分岐し、個々のラインに圧力スイッチを使用する場合には、吸着と非吸着の個数によって、真空源の圧力が変動するため、スイッチの設定値におさまらない場合があります。特に、小径ノズルでの吸着の場合には、圧力の変動による影響か大きくなります。下記対策を施してください。

¡ニードルにより、吸着・非吸着の変動圧を小さくする。

¡タンクおよび真空用減圧弁（真空調圧弁）を入れて元圧を安定させる。

¡個々に真空用切換弁を入れて、ミスが起こるとすぐにOFFすることにより他のパッドへの影響を低減させる。

1555

1555グロメットタイプ：ZSE2-0X- 15

55

5.8

リード線長さ

600

9.5

50

10 17.6

6.5

18

58

35.67

20

10

8

リード線長さ

600

250 57.6

186.5

17.610

10.2

35.67

20

2×ø3.3（取付穴）

圧力設定用トリマ表示灯（赤）圧力設定用トリマ表示灯（赤）

（※）

真空圧供給ポート（PV）M5（またはM6）

2×ø3.3（取付穴）

アダプタ


真空ポンプシステムヘの応用

876

ZX Series


出力仕様

配線仕様

0X 21ZSE3

21NPNオープンコレクタ2出力アナログ出力なしNPNオープンコレクタ2出力アナログ出力付22

NPNオープンコレクタ1出力・故障予知出力アナログ出力なし23

NPNオープンコレクタ1出力・故障予知出力アナログ出力付24

無記号グロメットタイプリード線長さ0.6m

CN コネクタなしCL コネクタタイプリード線長さ3mC コネクタタイプリード線長さ0.6mL グロメットタイプリード線長さ3m

ただし、アナログはグロメットタイプのみです。

一般用真空圧力スイッチ

真空圧力の設定方法Best Pneumatics No.yをご参照ください。

真空圧力スイッチユニットの使い方P.876をご参照ください。




配線

型式表示方法

故障予知出力機能内蔵真空システム（エジェクタ）のサイレンサの目詰りによる性能低下、パッドの亀裂、真空配管の洩れ等で真空到達度が低下した場合、異常をすばやく検知しシステムの停止を事前に外部に出力します。

2点の独立した圧力設定が可能真空吸着パッド径の変更により設定圧力が２出力必要な場合や正圧ラインのライン切換による2圧確認が必要な場合などに好適です。

充実した自己診断機能■過電流検知機能■過圧力検知機能■データエラー

データ保持機能専用のIC（EEPROM）を使用していますので、設定されたデータは電源を切っても10万時間（約11年）保持しています。

ユニット品番使用流体設定圧力範囲

応差

精度使用電圧管接続口径

ZSE3-0X空気

0～ー101kPa可変（0から可変）ヒステリシスモード

ウインドコンパレータモード固定（3digits）±1％F.S.以下

DC12～24V（リップル±10％以下）M5×0.8、M6×1（準標準）

質量 50g動作表示灯 ON時点灯消費電流 25mA以下使用温度範囲 0～60℃最高使用圧力 0.5MPa

M5×0.8M6×1（準標準）

無記号Y


877


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

真空用圧力スイッチ／ZSE3-0X□-21、22、23、24

グロメットタイプ：ZSE3-0X□-□ コネクタタイプ：ZSE3-0X□-□C


表示記号

真空圧供給ポート（PV）真空ポート（V）

（取付穴）真空圧供給ポート（PV）

真空ポート（V）（取付穴）

878

ZX Series

吸着確認スイッチ／仕様小径吸着ノズル／ø0.3～ø1.2

サクションフィルタ付配線性向上／コネクタタイプ拡散型半導体センサ使用



¡フィルタケースについて

¡配線方法はZSE2と同じです。

注意

適用吸着ノズル範囲外の吸着ノズルや吸着パッドをご使用になりますと、吸着しないことがありますのでご注意ください。

¡その他注意

型式表示方法

回路と配線

適用吸着ノズル範囲グラフ1／ZSP1-S グラフ2／ZSP1-B

空気圧回路と原理

供給圧力と吸着ノズル径との関係は、下のグラフの様になります。

真空圧力スイッチユニット／吸着確認スイッチ：ZSP1-SB

ユニット品番使用流体使用圧力範囲適用吸着ノズル径

内部オリフィス径質量

応差

ZSP1-S ZSP1-B空気

ー20kPa～ー101kPa0.3～0.7mm（グラフ1参照）0.5～1.2mm（グラフ2参照）

ø0.5 ø0.80.5kPa

62g供給電圧 DC12～24V（リップル±10%以下）出力 NPNオープンコレクタ30V 80mA動作表示灯 ON時点灯消費電流 17mA（DC24V ON時）使用温度範囲 0～60℃（結露しないこと）管接続口径 M5×0.8、M6×1（準標準）

注）使用圧力範囲外および使用温度範囲外での使用は故障の原因となります。


配管仕様

S 0X 15ZSP1

記号S

適用適用吸着ノズル径0.3～0.7mm

B 適用吸着ノズル径0.5～1.2mm

機種

空気圧によるブリッジ回路を構成し、吸着ノズル（S4）を非吸着状態にし、調整用ニードルS2で圧力センサに加わる圧力をバランス（P1≒P2）させます。吸着ノズル（S4）に部品を吸着した時に生じる小さな差圧（P2－P1）を圧力センサにより検知します。

グロメット（0.6m）グロメット（3m）コネクタ（0.6m）コネクタ（3m）

無記号LC

CL

M5×0.8M6×1（準標準）

無記号Y


879


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

真空圧力スイッチユニット／吸着確認スイッチ：ZSP1- SB

応差吸着確認調整用ニードルの設定方法応差とは、出力信号がONする圧力と、出力信号がOFFする圧力の差のことです。設定圧力はONする圧力になります。

q真空および電源を供給し、調整用ニードルを止まるまで右回転させ、全閉にします。

w吸着ノズルにワークを付けない状態で調整用ニードルを左回転させ、表示灯が点灯する位置を確認します。

ewの状態から調整用ニードルを1/4～1回転位、右へ戻します。

rワークを吸着ノズルに吸着させ吸着が確実になされた時に表示灯が点灯するように調整用二一ドルを再度調整してください。

吸着確認スイッチ／ZSP1-□0X□-15

コネクタタイプ：ZSP1-□0X□-15

注）（※）エジェクタ組み付ける場合は、アダプタをはずしてください。

真空圧供給ポート（PV）

真空ポート（V）

（取付穴）（取付穴）

880

ZX Series

バルブユニットなし

構成と組み合わせ

型式

真空用圧力スイッチ（ZSE2）の場合ZX1□□□-E□

ZX1□□□E□P□□FD□□□

吸着確認スイッチ（ZSP1）フィルタユニット（F）

真空用圧力スイッチ（ZSE2）エジェクタユニット＋

回路図（真空用圧力スイッチ以外の組み合わせ回路図は、二点鎖線の枠の部分のみ下図のようになります。）

真空用圧力スイッチの場合（E）

吸着確認スイッチの場合（P）

フィルタユニットの場合（F）

注1）外部破壊を行う場合プラグを外してください。注2）※寸法はブラケットAの取付時、※※寸法は、スペーサ1取付時の寸法です。

吸着確認スイッチ（ZSP1）の場合ZX1□□□-P□□

フィルタユニット（F）の場合ZX1□□□-F

※13.6

4.210

41.6

※19

※1 ※10

29.2

620

※41

※51

※4

63.5

57.6

※※1810.259.5

50

57.154.6

6.5

17.610

18

6

10ブラケットA（ZX1-OBA）（標準装備）

圧力設定用トリマ

スペーサ1（ZX1-S1）（側面取付時に使用）

※ø3.6（取付穴）

※2×R1.8（取付穴）


真空スイッチ（ZSE2）

2×ø3.3（取付穴）

フィルタ

注1）

破壊圧供給ポート（PD）M5（またはM6）プラグ

空気圧供給ポート（P）M5（またはM6）


Rc1/8排気ポート（EXH.）

V

P

PD

- +O

※※1


空気圧供給

ポート（PV）

881


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器


型式

真空用圧力スイッチ（ZSE2）の場合ZX1□□□-K1□□□□-E□

ZX1□□□ K1□□□□

真空用圧力スイッチ（ZSE3）吸着確認スイッチ（ZSP1）フィルタユニット（F）

E□D□□□P□□F□無記号

スイッチ、フィルタ無し

真空用圧力スイッチ（ZSE2）

エジェクタユニットバルブユニット（K1）＋＋



（D）


スイッチフィルタ無しの場合


注）※寸法はブラケットAの取付時、※※寸法はスペーサ1の取付時の寸法です。

バルブユニット：K1タイプ

※17.6※13.6

※1 ※10※19

41.6

4.2

※ （68.6）

64.6

※※18

10.2

※15.5

59.5

18

6.5

17.610

76

28

5.8

5

4.71

78

9.3

29.2

20

※41

※51

2

21.6

10

2×ø3.3（取付穴）

ブラケットA（ZX1-OBA）（標準装備）

破壊弁VJ114

供給用パイロット弁VJ114


真空スイッチZSE2

空気圧供給ポート（PV）M5（またはM6）

パイロット圧排気ポート（PE）M3

インターフェイスプレート




※2×R1.8（取付穴）

エジェクタ＋サイレンサ

マニュアル（ノンロック）

Rc1/8排気ポート（EXH.）ポート排気の場合

VJ114VJ114

PS1（PV PD）

PV

PS

PE

PD

V

※※1


空気圧供給

ポート（PV）

パイロット圧

排気ポート

（PE）

8（ニードル全開時）


A

882

ZX Series

真空用圧力スイッチ（ZSE3）の場合ZX1□□□-K1□□□-D□□□

スペーサ1／ZX1-S1

フィルタユニットの場合ZX1□□□-K1□□□□-F

スイッチ、フィルタ無しの場合ZX1□□□-K1□□□□

吸着確認スイッチ（ZSP1）の場合ZX1□□□-K1□□□□-P□□

カベ取付時に製品との間に挟んで取付けます。







8



A

A

A A

883


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器


型式

真空用圧力スイッチ（ZSE2）の場合ZX1□□□-K3□□□-E□

ZX1□□□ K3□□□□


E□P□□FD□□□無記号


真空用圧力スイッチ（ZSE2）真空用圧力スイッチ（ZSE3）エジェクタユニットバルブユニット（K3）＋＋



（D）






※17.6

※ （82.5）

50.3 6178.5

41.6

4.2

10.2

※※18

4

※15.5

59.5

58

50

186.5

17.610

5.82528

154.7

※1

129.2

204151

※10※19 ※13.6

99.6

22.7

21.610



空気圧供給ポート（PV）M5（またはM6）パイロット圧排気ポート（PE）

M3


※2×R1.8（取付穴）

2×ø3.3（取付穴）





破壊弁VJ314

供給用パイロット弁（N.O.）VJ324M



SMCSMC

SMCSMC

-+-+

SMCSMC

PD）PS3（PV

PV

PS

PE

PD

V

- +- +


空気圧供給

ポート（PV）

パイロット圧

排気ポート

（PE）

8



A

884

ZX Series

吸着確認スイッチ（ZSP1）の場合ZX1□□□-K3□□□□-P□□

フィルタユニット（F）の場合ZX□□□-K3□□□□-F

スイッチ、フィルタ無しの場合ZX1□□□-K3□□□□




A

8



A

A

885


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器


型式

真空用圧力スイッチ（ZSE2）の場合ZX1□□□-K6-E□

ZX1□□□ K6




真空用圧力スイッチ（ZSE2）真空用圧力スイッチ（ZSE3）




（D）




注）※寸法はブラケットBの取付時、※※寸法はスペーサ2の取付時の寸法です。


13

10

※10※1※13.6

※17.6※19

※ （63.5）

41.6

4.2

※※1810.2

※15.5

59.5

18

6.5

17.61076

28

5.8

54.71

7829.2

20

※41

※51

2

21.6

M5パイロットポート


破壊用外部破壊（ZX1A）

供給用エアオペレート（ZX1A）








※ø3.6（取付穴）※2×R1.8

（取付穴）




V

PD）PS1（PV

PV

PS

PE

PD

※※1


空気圧供給

ポート（PV）

パイロット圧

排気ポート

（PE）

2×ø3.3（取付穴）

M5外部破壊ポート

8



A

886

ZX Series

吸着確認スイッチ（ZSP1）の場合ZX1□□□-K6-P□□

フィルタユニット（F）の場合ZX1□□□-K6-F

スイッチ、フィルタ無しの場合ZX1□□□-K6




A

8



A

A

887


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器


型式

真空用圧力スイッチ（ZSE2）の場合ZX1□□□-K8-E□

ZX1□□□ K8

吸着確認スイッチ（ZSR1）フィルタユニット（F）







（D）






56.5

18

6.5

17.610

59.5

58

50

2×ø3.3（取付穴）


41.6


4.3

6

3

78.6

10

21.6

29.2

※※1

20

※41

※51

※17.6※13.6

※1 ※10※19

M3×0．5（破壊用パイロットポート）

M3×0．5（供給用パイロットポート）




※2×R1.8（取付穴）


※63.5

※4

※※1810.2

※15.5

4.2



V

50

25

154.7

28

5.8

（ノンロック）マニュアル

供給用弁N.O（エアオペレートVJA324）

（エアオペレートVJA314）

破壊用弁




PD）PS3（PV

PV

PS

PE

PD



空気圧供給

ポート（PV）

パイロット圧

排気ポート

（PE）


8



A

888

ZX Series

吸着確認スイッチ（ZSP1）の場合ZX1□□□-K8-P□□

フィルタユニット（F）の場合ZX1□□□-K8-F

スイッチ、フィルタ無しの場合ZX1□□□-K8




A

8



AA

889


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器


型式

真空用圧力スイッチ（ZSE2）の場合ZX1□□□-J1□□□□-E□

ZX1□□□ J1□□□□





エジェクタユニットバルブユニット（J1）＋＋



（D）





バルブユニット：J1タイプ

※17.6※1※13.6

※10※19

25

41.6

4.2

※ （68.6）

64.6

※※1810.2

※15.5

59.5

18

6.5

17.61076

285.8

54.71

78

9.3

29.2

20

※41

※51

2

21.610

2×ø3.3（取付穴）






M3




※ø3.6（取付穴）※2×R1.8

（取付穴）





PS1（PV PD）

PV

PS

PE

PD

V

※※1


空気圧供給

ポート（PV）

パイロット圧

排気ポート

（PE）

8



A

890

ZX Series

吸着確認スイッチ（ZSP1）の場合ZX1□□□-J1□□□□-P□□

フィルタユニット（F）の場合ZX1□□□-J1□□□□-F

スイッチ、フィルタ無しの場合ZX1□□□-J1□□□□




A

8



A A

891


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器


型式

真空用圧力スイッチ（ZSE2）の場合ZX1□□□-J2□□□□-E□

ZX1□□□ J2□□□□





エジェクタユニットバルブユニット（J2）＋＋



（D）




バルブユニット：J2タイプ


6178.5

99.6

22.7

5.8

620

※51

※41

29.2

※17.6※13.6

※1 ※10※19

50.3 59.5

58

50 ※ （82.5）

2528

51 4.7

5.8

18

6.5

17.610

※4

※※1810.2

※15.5

4.2

41.6

マニュアル（ロック式の場合は押してから回してください）



エジェクタ＋サイレンサ ※ø3.6（取付穴）※2×R1.8

（取付穴）供給用パイロット弁（N.O.）VJ324M

マニュアル




M3

2×ø3.3（取付穴）


真空ポート（V）M5（またはM6）ブラケットA

（ZX1-OBA）（標準装備）



SMC

SMC

-+

PD）PS1（PV

SMC

PV

PS

PE

PD

V

+-

※※1


空気圧供給

ポート（PV）

パイロット圧

排気ポート

（PE）

8



A

892

ZX Series

吸着確認スイッチ（ZSP1）の場合ZX1□□□-J2□□□□-P□□

フィルタユニット（F）の場合ZX1□□□-J2□□□□-F

スイッチ、フィルタ無しの場合ZX1□□□-J2□□□□




A

8



A

A

893


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

エジェクタシステム用／マニホールド仕様

マニホールド型式表示方法

供給ポート位置

マニホールド左右左側右側PV○●○

●●●

●○○

●●●

PS PV PSL（左側）R（右側）B（両側）

○供給します。 ●プラグが付いています。EXHポートは大気開放です。注）個々のバルブユニットの全てのポートには、プラグが付いています。

ポート

最大ユニット連数 MAX. 8連

1連：73gで1連増すごとに50g増加します

供給ポート〔PV〕管接続口径排気ポート〔EXH〕

質量

（Rc, NPT, G）1 8

（Rc, NPT, G）1 8

（1）PDポートはすべてブランキングとなります。（2）ZX1103タイプのマニホールド4連以上ではEXHポートを両側排気としてください。

仕様

供給・排気ポートねじの種類

06 RZZX1供給ポート位置 ※1）連数

※1 バルブユニットを手前にして左右を判断してください。

※2 EXHポートは両側開放です。PDポートはつねにプラグが付きます。バルブのポートはすべてにプラグが付きます。

R1 1ZX1配列（バルブ側から見て右からバルブ連数の1連目）

※スペーサを交互に装着する場合には併記してご指示ください。※後付けする場合はM2.5×32（ZX用）3ヶも必要になります。また、直管個別スペーサを取付けない連数に対して、ダミースペーサ（ZX1-R16）を必ず取付けてください。

（例）1連目と3連目に装着ZZX106-R……1ケ＊ZX1101-K15LZ-EL（-Q）……6ヶ

＊ZX1-R1-1

＊ZX1-R1-3

＊ZX1-R16（ダミースペーサ）……4ケ

直管個別スペーサについて¡マニホールドからの供給、バルブユニットからの供給がポートごとに選択可能。下表、各品番ごとに記号のポートかマニホールドからの供給になります。その他は、バルブユニットからの個別供給になります。

¡直管個別スペーサには上面に下表表示記号がプリントされております。

マニホールド化したエジェクタの供給ポートや排気ポートを個別にしたい場合には直管個別スペーサを指示してください。

※直管個別スペーサについて参照

〈マニホールドベース〉〈直管個別スペーサ〉

（例）ZZX106-R……1ケ（マニホールドベース）＊ZX1101-K15LZ-EC（-Q）…5ヶ（真空ユニット単体）＊ZX1-BM1……1ケ（ブランキングプレート）

右側（右側PVポートより空気供給します。）左側（左側PVポートより空気供給します。）両側（両側PVポートより空気供給します。）

RLB

1連2連

8連

0102

08… … R1

R16

Rc

G注）

NPTF

無記号FT

…

連数全装着1連目のみ

8連目のみ

無記号1

8…

…

注）Gネジについてネジ山形状はGネジの規格（JIS BO203）に準拠しておりますが、その他の形状についてはI S O 1 6 0 3 0およびISO1179に準拠しておりません。

直管個別スペーサ

表示記号品番ZX1-R1

R2R3R4R5R6R7R8

R1

R2

R3

R4

R5

R6

R7

R8

PE

PE

PE

PEPD

PD

PS

PS

PS

PS

PD

PD

表示記号品番ZX1-R 9

R10R11R12R13R14R15R16

R 9

R10

R11

R12

R13

R14

R15

R16

PE

PE

PE

PEPD

PD

PS

PS

PS

PSPV

PV

PV

PV

PV

PV

PV

PV

PD

PD

供給方法

マニホールド型式表示上の注意

＊は組込み記号です。搭載するエジェクタに＊印を記入してください。＊をつけない場合、マニホールドベースとエジェクタは別々に出荷されます。

894

ZX Series

B

マニホールド構成／システム回路例直管個別スペーサを使用しない場合直管個別スペーサを使用した場合

（ZX1-R1を使用した場合）

〈システム回路例〉〈システム回路例〉

PV：空気圧供給ポートPS：パイロット圧供給ポートPD：破壊圧供給ポートPE：パイロット圧排気ポートEXH：集合排気ポート

ダミースペーサZX1-R16側

ダミースペーサZX1-R16

直管個別スペーサZX1-R1側


直管個別スペーサZX1-R1


895


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

連数（mm）

記号

L1 334550

1546671

2758792

396108113

4117129134

5138150155

6159171176

7180192197

8

L2L3

エジェクタシステムマニホールド

131.3

61

22.7

10

9.313

L3 L2

L1

6

10

10

10

28.4

29.5

16

32

620

ピッチ

＝21

10

14.5

70.3

57.4

4737.4

3022

44

7.5

60

50

0.5

3

44

2.5

10

3361.5

20.5 50.5

28.550.8

5

ピッチ＝2122.5

A

B


アダプタD

M5×0.8（外部破壊ポート）

M5×0.8（パイロットポート）

ボディ（エアオペタイプ）（ZX1A）

マニュアル（ロック式の場合はそのまま

回してください。）

マニュアル（ロック式の場合は押してから回してください。）

マニホールドベース

エンドプレート

サイレンサ＋エジェクタ

アダプタB

真空スイッチZSE2フィルタ

圧力設定トリマ

排気アダプタRc1/8

調整用ニードル

吸着確認スイッチZSP1

共通空気圧供給ポート（PV）1/8（Rc, NPTF, G）

集合排気ポート（EXH.）※11/8（Rc, NPTF, G）


破壊弁（VJ114）（ノーマルクローズ）

供給用パイロット弁（VJ114）（ノーマルクローズ）

破壊弁（VJ314）（ノーマルクローズ）

供給用パイロット弁（VJ324M）

（ノーマルオープン）

マニュアル（ロック式の場合は

そのまま回してください）

ø4×5.5（取付穴）

PV

PS

EXH

PD

-+-+

PD）PS1（PVPD）PS1（PV

SMCSMC

PV

PD

PD）PS3（PV

PV

PS

PE

PD

PV

PS

PE

PD

PV

PS

PE

PD

SMCSMC

共通空気圧供給ポート（PV）

集合排気ポート（EXH.）

個別空気圧供給ポート（PV）M5（またはM6）

破壊圧供給ポート（PD）M5

20

37.4

※1 集合排気（EXH.）ポートはパイロット弁のパイロット圧排気（PE）ポートを兼ねています。大気開放にてご使用願います。

8



A

896

ZX Series

（直管個別スペーサを使用した場合）

B矢視

A矢視

システム回路例

（標準）（準標準）（直管個別スペーサを使用した場合）

39.9

2.5 10

63.5

133.8

25.5

6.3

1 4.7

7.5

5

ピッチ＝2122.5

79

4.2ピッチ＝21 22.5

65.1

8.5

10.7





R16PV

PSPD

PER16PV

PSPD

PER1SMCSMC

R1

-+-+

PD）PS1（PVPD）PS1（PV

SMCSMC

PV

PD

PD）PS3（PV

PV

PS

PE

PD

PV

PS

PE

PD

PV

PS

PE

PD

- ＋

VV V

V







20

897


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

連数（mm）

記号

L1 334550

1546671

2758792

396108113

4117129134

5138150155

6159171176

7180192197

8

L2L3

エジェクタシステムマニホールド：K1タイプ

ピッチ＝10

11.5

97

2

28.1

37.4

23.4 32 12.4 10

4

L2

6.5

20

ピッチ＝21

L1

L3

6（44）

リード線長さ

約300

60

337.4

44

65

33

10

28.5

ピッチ＝21

520

22.5

4×ø5.5（取付穴）









破壊弁VJ114



PV

PS

EXH

PDPD）PS1（PVPD）PS1（PV

PV

PS

PE

PD

PV

PS

PE

PD






8



A

898

ZX Series

回路図

10.7

22.5214.2

VV


899


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

連数（mm）

記号

L1 334550

1546671

2758792

396108113

4117129134

5138150155

6159171176

7180192197

8

L2L3

エジェクタシステムマニホールド：K3タイプ

21.6

10

118.6

22.7

61

45 3212.4 10

（44）

6.5

4

ピッチ＝2120

L3

L2

L1

6

リード線長さ

約300

79

61.5

33

10

1017.5

50.8

28.5

5

22.5 ピッチ＝21

20 37.4

44

3


4×ø5.5（取付穴）


圧力設定用トリマエンドプレート


マニュアル

破壊弁VJ314







SMCSMC

SMCSMC

PV

PS

EXH

PDPD）PS3（PVPD）PS3（PV

-+

SMC

-+

SMC

PV

PS

PE

PD

-+

SMC

-+

SMC

PV

PS

PE

PD






8



A

900

ZX Series

回路図

10.7

22.5214.2

- +- +- +- +

VV


901


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

注意ACタイプの場合、整流器を介して、DCソレノイドを使用しています。ご使用の際は必ず、整流器付コネクタAss'yと専用ソレイドを組み合せてください。他の組合せでは、コイル焼損、作動不良等のトラブルを生じます。

注意サージ電圧保護回路

ランプ、サージ電圧保護回路

DCの場合極性をコネクタの＋、－表示に合せて接続してください。極性を間違えますとダイオードまたは、スイッチング素子の焼損を招く場合がありますので十分にご注意ください。あらかじめ、リード線が接続されている場合には＋赤、－黒となっています。ACの場合整流器Ass'yによりサージ電圧の発生を防いでいますので、サージ電圧保護回路付はありません。

ZX100

ZX100

5 L Z E CK1

5 L Z E CK3

5 L ZK1ZX100

バルブユニットNOタイプ


バルブユニットNCタイプ


FバルブユニットNCタイプ


供給弁・破壊弁の組合わせ




手動操作真空スイッチユニット


真空スイッチ



無記号DC：1Wタイプ（ランプ付：1.05W）

ACタイプ


PV・Vポート管接続口径無記号

YM5×0.8


※1注）※3注）

AC100V50/60Hz

AC110V50/60Hz

5 DC24V

6 DC12V

V DC6V

S DC5V

R DC3V

無記号エアオペレート

（K6、K8、J3、J4、D3、D4に適用）


Bノンロック式プッシュ式ロック式ドライバ操作形

ランプ・サージ電圧保護回路無記号

※S

なし

Z ランプ・サージ電圧保護回路付

サージ電圧保護回路付

真空スイッチユニット／フィルタユニットの場合E

E55PS注）PB注）

F

真空用圧力スイッチ（一般用）（ZSE2）（NPN仕様）真空用圧力スイッチ（一般用）（ZSE2）（PNP仕様）



サクションフィルタのみ

サクションフィルタ付吸着確認スイッチ

（ZSP1）

真空スイッチリード線取出し方法無記号

Lリード線長さ0.6mグロメット

タイプ



C リード線長さ0.6m

CL リード線長さ3m

CN コネクタなしリード線も付いていません。

真空用デジタル圧力スイッチユニットの場合（ZSE3）

D

21222324



LLN

リード線長さ0.3mL型プラグコネクタタイプ

M型プラグコネクタタイプ


MNMO


グロメットタイプ

GH

無記号

コネクタなしリード線長さ0.3m（DCのみに適用）リード線長さ0.6m（DCのみに適用）エアオペレート

LO コネクタなしM リード線長さ0.3m


注）供給弁・破壊弁の組み合わせがK1タイプの場合、Mプラグコネクタタイプは取り付きません。



注）1, 3のCE対応品はありません。※プラグコネクタのみ適用。整流器付コネクタ

Ass’yが、付属されています。


バルブユニット／供給弁・破壊弁組み合わせP.903の表1バルブユニット／供給弁・破壊弁の組み合わせをご参照ください。

※0.45WタイプはDC24、12V

のみとなります。

※ACの場合／Sタイプはありません。DCの場合（サージ電圧保護回路）極性を間違えますとダイオードまたはスイッチング素子の焼損を招く場合がありますので十分ご注意ください。

構成機器


・コネクタ付リード線品番についてはP.903の表3をご参照ください。


・コネクタ付リード線品番についてはP.903の表2をご参照ください。・マニホールドの手配方法についてはP.916をご参照ください。・組換用ユニットの手配方法についてはP.926、927をご参照ください。

型式表示方法

真空ユニット真空ポンプシステム

ZX Series


破壊流量調整ニードル無記号


L

注）PS, PBのCE対応品はありません。

CE対応無記号

Q―

CE対応品

［オプション］注）CE対応品は型式表示方法をご確認ください。

CE対応――●●●●●

―

CE対応●●――●

（エアオぺレートを除く）

902B

バルブユニット構成機器

供給弁

電磁弁（N.C.）

電磁弁（N.C.）

電磁弁（N.O.）

電磁弁（N.C.）

エアオペレート（N.C.）外部破壊

エアオペレート（N.O.）

エアオペレート（N.C.）

破壊弁記号

K1 ●

ー

ー

ー

ー

●

ー

ー

ー

ー

●

ー

ー

ー

ー

●

ー

ー

ー

ー

●

ー

ー

ー

ー

●

ー

ー

ー

ー

ー

●

ー

ー

●

ー

ー

ー

ー

ー

K3

K6

K8

無記号バルブユニットなし

電磁弁供給弁破壊弁

N.C.（VJ114）

N.O.（VJ324）

エアオペレートN.C.

（ZX1A）N.O.

（VJA324）

電磁弁N.C.

（VJ114）N.C.

（VJ314）

エアオペレート外部破壊N.C.

（VJA314） ZX1Aなしなし

3A36VJ10

無記号6

1015202530

0.3m（標準）0.6m1m1.5m2m2.5m3m

1A36VJ10

（DCのみ適用）



4A20VJ10 6

6

6リード線長さ

DC24V コネクタタイププラグコネクタタイプ

ランプ・サージ電圧保護回路付




真空スイッチユニット／フィルタユニット

真空スイッチリード線取出し方法

供給弁・破壊弁組合せ供給弁

（パイロット弁）N.C.

（VJ114）N.C.

（VJ114）N.O.

（VJ324M）

N.C.（VJ114）

サクションフィルタ（ZX1-F）


N.C.（VJ114）N.C.

（VJ314）

破壊弁（直動弁）

型式

ZX100-K15LZ-F

ZX100-K15LZ-EC

ZX100-K35MZ-EC

※ 上記型式は短納期品です。

無記号3050

0.6m3m5m

リード線長さ

表2.バルブユニットコネクタ付リード線コネクタAss'y品番手配方法

リード線長さが600mm以上の真空ユニットを必要な場合には、コネクタなしの真空ユニットの品番とコネクタAss'yの品番を併記してください。

例）ZX100-K15L0Z-EC（-Q）……………1ケ＊VJ10-20-4A-6 ………………………2ケ

注）リード線長さが5mのスイッチを発注する場合には、コネクタなしのスイッチとコネクタ付リード線の品番を併記してください。

例）ZX100-K150Z-ECN（-Q）…1ケ＊VJ10-20-4A-6 …………2ケ＊ZS-10-5A-50 ……………1ケ

真空ポンプシステムの代表的な推奨型式／下記型式は短納期品となります。

ZX100-K15LZ-E□ ZX100-K35MZ-E□

表1.バルブユニット／供給弁・破壊弁の組み合わせ（詳細仕様はP.904をご参照ください）

5A10ZSZSE2用ZSP1用

5A20ZS

表3.真空スイッチコネクタ付リード線

ZSE3用

82

132

58

132

質量（g）

＊が組み込み品番になります。

＊が組み込み品番になります。

903

ZX Series真空ユニット真空ポンプシステム

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

A


操作方法

用途：電気信号により、制御する場合に使用します。


操作方法

用途：エア信号により、制御する場合に使用します。

真空ポンプシステム／供給弁・破壊弁の組み合わせ

供給弁電磁弁ONOFFOFF

OFFONOFF

電磁弁破壊弁操作


供給弁電磁弁ONOFFOFF

OFFONOFF




操作方法

用途：電気信号により、制御する場合に使用します。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、エジェクタヘの供給圧力は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止に使用します。


操作方法

用途：エア信号により、制御する場合に使用します。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、エジェクタヘの供給圧力は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止に使用します。

供給弁電磁弁OFFONON

OFFONOFF



供給弁エアオペレート弁

OFFONON

OFFONOFF

エアオペレート弁破壊弁操作


904

ZX Series

材質ー

ステンレス鋼アルミニウム

ーーー

ステンレスポリカーボネート

備考ZX1-PV-0

ZSE2、ZSP1、ZSE3ZX1-VB -D-

（PV）・（PS PD）

番号部品名12345678

ポペット弁Ass'y破壊流量調整ニードルマニホールドベース真空スイッチバルブユニットインターフェイスプレート復帰スプリングフィルタケース注）

電磁弁エアオペレートエアオペレート電磁弁

No.2～No.3のみ可能品番を各々併記願います

適用バルブ組み合わせ

ZX1-VJ3 4 -

ZX1-VJA3 4

ZX1-VJ114- K1、J1

K3、J2

K6

型式No.構成機器

1

2

3

4

供給弁破壊弁電磁弁N.C.（VJ114）電磁弁N.O.（VJ324）エアオペレートN.O.（VJA324）

電磁弁N.C.（VJ114）電磁弁N.C.（VJ314）エアオペレートN.C.（VJA314）

12

12

材質

PVFー

部品品番表2、表3をご参照ください。

ZX1-FE

番号部品名

109フィルタエレメント

ZX1-FG11 ガスケット

パイロット弁

注）フィルタケース取扱い上のご注意1）ケースの材質はポリカーボネートですので、シンナ、四塩化炭素、クロロホルム、酢酸エステル、アニリン、シクロヘキサン、トリクロールエチレン、硫酸、乳酸、水溶性切削油（アルカリ性）等の化学薬品のご使用あるいは雰囲気中でのご使用は避けてください。

2）直射日光を避けてご使用ください。

ZL5ZX1-VJ114 -

ZL42 5ZX1-VJ3


手動操作方法

リード線取出し方

定格電圧

無記号

DC：0.45Wタイプ（ランプ付：0.5W）

ACタイプ


※Y

※0.45WタイプはDC24、12Vのみとなります。注）ZXシリーズ用VJ100、VJ300は、ビスの長さが標準品と異なります。

〈ビスの長さ〉VJ100ーM1.7×15VJ300ーM1.7×22


注）ノーマルクローズの場合、無記号のパイロット弁個別排気形です

注）ZX1-VJ114の場合、M・MN・MOは不適当です。

無記号B

ノンロックプッシュ式ロック式ドライバ操作形

切換方式12

N．C．（ノーマルクローズ）N．O．（ノーマルオープン）

無記号S

ランプ・サージ電圧保護回路なしサージ電圧保護回路付


※1※3

AC100VAC110V

5 DC24V6 DC12VV

ボディオプション

無記号パイロット弁個別排気形

M 主弁パイロット弁集合排気形

DC6VS DC5VR DC3V

※プラグコネクタのみに適用

LLN

コネクタ（0.3m）コネクタ（リード線なし）

LO コネクタなしM コネクタ（0.3m）

MN コネクタ（リード線なし）MO コネクタなしG グロメット（0.3m）H グロメット（0.6m）

M3M5

M3×0.5 パイロットポート外部破壊ポートM5×0.8

ポートサイズ

M3ZX1A

真空ポンプシステム／構造図

構成部品

表1.パイロット弁／型式表示方法

交換部品

表2.電磁弁／型式表示方法

表3.エアオペレート／型式表示方法

注意破壊流量調整ニードルの調整は、時計回りで破壊流量は絞られ、止まったところで、全閉となります。全閉状態から、反時計回りで、2回転しますと全開となります。4回転以上回しますと、ニードルが外れますのでご注意ください。また緩み止め対策品を用意しております。

!1

注）ZX1-VJ324M-□ZX1-VJ314-□のみの対応となります。

-

905


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

A

ユニット品番 ZX1-VB -構成

操作方法

Cv値 0.17 ー動作圧力 0.3～0.6MPa

5Hz5～50℃

ブラケットB（ZX1-OBB）

最大作動頻度使用温度範囲インタフェイスプレート記号標準装備品

供給弁破壊弁直動方式パイロット方式

電磁弁電磁弁エアオペレートN.C.

（VJ114）N.O.

（VJ324）N.C.

（VJ114）N.C.

（VJ314）0.008 0.08

外部破壊

（ZX1A）N.C.

（ZX1A）N.O.

（VJA324）

エアオペレート（VJA314）

（PV）・（PS PD）

型式／仕様

K1（N.C.）タイプ K3（N.O.）タイプ

バルブユニット／ZX1-VB 詳細仕様については、P.872をご参照ください。

注）※寸法はブラケットBの取付時、※※寸法はスペーサの取付時の寸法です。


パイロット圧供給

ポート（PS）

パイロット圧

排気ポート

（PE）

真空圧供給

ポート（PV）


真空圧供給

ポート（PV）


ポート（PS）

パイロット圧

排気ポート

（PE）








供給用パイロット弁（N.O.）

A

A

8



906

ZX Series

サクションフィルタユニット／ZX1-F 詳細についてはP.874をご参照ください。

真空圧力スイッチユニット／ZSE2・ZSE3・ZSP1 詳細についてはP.875～880をご参照ください。

ユニット品番使用圧力範囲使用温度範囲ろ過度ろ材質量

ZX1-F負圧～0.5MPa5～50℃30μmPVF35g

標準装備ブラケットA（ZX1-OBA）


ユニット品番使用流体設定圧力範囲応差繰り返し精度温度特性使用電圧管接続口径

ZSE2-0X ZSE3-0X空気

0～ー101kPa3％F.S.以下±1％F.S.以下±3％F.S.以下

DC12～24V（リップル±10％以下）M5×0.8、M6×1（準標準）


ユニット品番使用流体使用圧力範囲適用吸着ノズル径

内部オリフィス径応差

ZSP1-S ZSP1-B空気

ー20～ー101kPa0.3～0.7mm 0.5～1.2mm

0.5mm 0.8mm0.5kPa




適用吸着ノズル範囲外の吸着ノズルや吸着パッドをご使用になりますと、吸着しないことがありますのでご注意ください。

¡その他注意

真空用圧力スイッチ高速応答／10ms拡散型半導体圧力センサ使用

吸着確認スイッチ小型吸着ノズルに最適／ø0.3～ø1.2サクションフィルタ付配線性向上／コネクタタイプ拡散型半導体センサ使用

仕様

一般用真空圧力スイッチ／仕様詳細仕様はBest Pneumatics No.yをご参照ください。

吸着確認スイッチ／仕様

907


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器


型式

真空用圧力スイッチ（ZSE2）の場合ZX100-K1□□□-E□

ZX100 K1□□□□

真空用圧力スイッチ（ZSE3）吸着確認スイッチ（ZSP1）

E□D□□□P□□F

フィルタユニット（F）

真空用圧力スイッチ（ZSE2）バルブユニット（K1）＋




（D）




66

66

※17.6※13.6

※1 ※10※19

4.2

※ （68.6）

64.6

64.6

※※18

10.2

※15.5

59.5

18

6.5

17.610

28

5.8

5

4.71

9.3

29.220

※41

※51

2

21.6

10


パイロット圧供給ポート（PS）M3


破壊弁VJ114








※ø3.6（取付穴）※2×R1.8

（取付穴）



V

VJ114VJ114

（PS1（PV） PD）

PV

PS

PE

PD

2×ø3.3（取付穴）

※※1


真空圧供給

ポート（PV）


ポート（PS）

パイロット圧

排気ポート

（PE）

8



A

908

ZX Series

真空用圧力スイッチ（ZSE3）の場合ZX100-K1□□□□-D□□

フィルタユニット（F）の場合ZX100-K1□□□□-F

吸着確認スイッチ（ZSP1）の場合ZX100-K1□□□□-P□□


真空圧供給ポート（PV）





VJ114


A

8



A

909


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器


型式

真空用圧力スイッチ（ZSE2）の場合ZX100-K3□□□-E□

ZX100 K3□□□□

吸着確認スイッチ（ZSP1）フィルタユニット（F）E□P□□FD□□□






バルブユニット（K3）＋





（D）



※1 ※17.6

87.6

※ （82.5）

50.3 61

78.5

4.2

10.2

※※18

4

※15.5

59.5

58

50

186.5

17.610

5.82528

1

5

4.7

1

29.2

20

41

51

※10※19 ※13.6

22.7

21.6

10

圧力設定用トリマ（マニュアル）（ロック式の場合は押して

から回して下さい）



※2×R1.8（取付穴）

2×ø3.3（取付穴）





破壊弁VJ314


- +- +

V

-+-+


SMCSMC

PV

PS

PE

PD

SMCSMC


真空圧供給

ポート（PV）


ポート（PS）

パイロット圧

排気ポート

（PE）

8



A

910

ZX Series

吸着確認スイッチ（ZSP1）の場合ZX100-K3□□□□-P□□

フィルタユニット（F）の場合ZX100-K3□□□□-F



8



A

A

911


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器


型式

真空用圧力スイッチ（ZSE2）の場合ZX100-K6-E□

ZX100 K6


E□P□FD□□□







（D）



13

10

66

※10

66

25

※1※13.6

※17.6※19

※ （63.5）

4.2

※※18

10.2

※15.5

59.5

18

6.5

17.610

28

5.8

5

4.71

29.220

※41

※51

2

21.6





破壊用外部破壊（ZX1A）

供給用エアオペレート（ZX1A）





※ø3.6（取付穴）※2×R1.8

（取付穴）

V


PV

PS

PE

PD

※※1


真空圧供給

ポート（PV）

パイロット圧

排気ポート

（PE）




2×ø3.3（取付穴）


8



A

912

ZX Series


吸着確認スイッチ（ZSP1）の場合ZX100-K6-P□□

フィルタユニット（F）の場合ZX100-K6-F


8



A

A

913


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器


型式

真空用圧力スイッチ（ZSE2）の場合ZX100-K8-E□

ZX100 K8


E□P□□FD□□□







（D）



29.2

66.66

20

※41

※51

※1※19

※10 ※17.6※13.6

5056.5

※63.5

※4

10.2

※※18

※15.5

10 17.6

186.5

3

50

28

25

5.8

54.71 ブラケットA

（ZX1-OBA）（標準装備）



※2×R1.8（取付穴）



2×ø3.3（取付穴）

M3（破壊弁用パイロットポート）

破壊用弁（エアオペレート

VJA314）

M3（供給弁用パイロットポート）

破壊用弁N.0（エアオペレート

VJA324）



マニュアル（ノンロック）破壊流量

調整ニードル

V


PV

PS

PE

PD

PV

PS

PE

PD




4.2


真空圧供給

ポート（PV）


ポート（PS）

パイロット圧

排気ポート

（PE）

8



A

914

ZX Series


吸着確認スイッチ（ZSP1）の場合ZX100-K8-P□□

フィルタユニット（F）の場合ZX100-K8-F


8



A

A

915


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

真空ポンプシステム／マニホールド仕様

最大ユニット連数 MAX. 8連

1連：73gで1連増すごとに50g増加します

供給ポート〔PV〕管接続口径排気ポート〔EXH〕

質量

（1）PDポートはすべてブランキングとなります。（2）ZX100タイプの外部真空ポンプ吸引の6連以上ではPVポートを両側吸引としてください。

仕様

供給ポート位置ポート

マニホールド左右左側右側PV○●○

○●○

●○○

●○○

PS PV PSL（左側）R（右側）B（両側）

○PVポートより真空を供給します。 ○PSポートより、空気供給します。●プラグが付いています。

注）バルブユニットの全てのポートには、プラグが付いています。

供給方法

マニホールド型式表示方法

・マニホールド化したエジェクタの供給ポートや排気ポートを個別にしたい場合には直管個別スペーサを指示してください。

〈マニホールドベース〉〈直管個別スペーサ〉

供給・排気ポートねじの種類

06 RZZX1連数

※1 バルブユニットを手前にして右、左を判断ください。

※2 EXHポートは両側開放です。PDポートはつねにプラグが付きます。バルブのポートはすべてにプラグが付きます。

（例）ZZX106-R……1ケ（マニホールドベース）＊ZX100-K15LZ-EC（-Q）……5ヶ（真空ユニット単体）

＊ZX1-BM1……1ケ（ブランキングプレート）


記号

R

供給ポート位置※1）

右側

供給方法真空供給空気供給右側PVポートより

右側PSポートより

L 左側左側PVポートより

左側PSポートより

B 両側両側PVポートより

両側PSポートより

1連2連

8連…

0102

08…

RcG注）

無記号FT NPTF

注）Gネジについてネジ山形状はGネジの規格（JIS BO203）に準拠しておりますが、その他の形状についてはI S O 1 6 0 3 0およびISO1179に準拠しておりません。

R1 1ZX1配列（バルブユニットを手前にして右からバルブ連数の1番目）

※スペーサを交互に装着する場合には併記してご指示ください。※後付けする場合はM2.5×32（ZX用）3ヶも必要になります。また、直管個別スペーサを取付けない連数に対して、ダミースペーサ（ZX1-R16）を必ず取付けてください。

無記号連数全装着1 1番目のみ

8 8番目のみ……

（例）1番目と3番目に装着ZZX106-R……1ケ＊ZX100-K15LZ-EC（-Q）…6ヶ＊ZX1-R1-1＊ZX1-R1-3＊ZX1-R16……4ケ

（ダミースペーサ）

※直管個別スペーサについて参照

R1

R16…

直管個別スペーサ

表示記号品番ZX1-R1

R2R3R4R5R6R7R8

R1R2R3R4R5R6R7R8

PE

PE

PE

PEPDPD

PSPSPSPS

PDPD

表示記号品番ZX1-R 9

R10R11R12R13R14R15R16

R 9R10R11R12R13R14R15R16

PE

PE

PE

PEPDPD

PSPSPSPSPV

PVPVPVPVPVPVPV

PDPD

直管個別スペーサについて¡マニホールドからの供給、バルブユニットからの供給がポートごとに選択可能。下表、各品番ごとに記号のポートかマニホールドからの供給になります。その他は、バルブユニットからの個別供給になります。

¡直管個別スペーサには上面に下表表示記号がプリントされております。

マニホールド型式表示上の注意

＊は組込み記号です。搭載するエジェクタに＊印を記入してください。＊をつけない場合、マニホールドベースとエジェクタは別々に出荷されます。

（Rc, NPTF, G）1 8

（Rc, NPTF, G）1 8

916

ZX Series

A

マニホールド構成／システム回路例直管個別スペーサを使用しない場合直管個別スペーサを使用した場合

（ZX1-R1を使用した場合）

〈システム回路例〉〈システム回路例〉

PV：真空圧供給ポートPS：パイロット圧供給ポートPD：破壊圧供給ポートPE：パイロット圧排気ポートEXH：集合排気ポート

ダミースペーサZX1-R16側


直管個別スペーサZX1-R1側




917


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

連数（mm）

記号

L1 334550

1546671

2758792

396108113

4117129134

5138150155

6159171176

7180192197

8

L2L3

真空ポンプシステムマニホールド

2.5

7.5

20.5

28.5 50.5

61.5

15

10

9.3

13

L2

L1

L3

18

37.4

22 35

45.4

58.3

4 ピッチ＝21

10

10

22.7

61

119.3

16.410

17.5

10

60

50

0.533

21.5

10

3

44

5

22.5 ピッチ＝21

50.50

B

A





アダプタD

ボディ（エアオペタイプ）（ZX1A）


そのまま回してください。）


アダプタB

フィルタ


圧力設定トリマ

吸着確認スイッチZSP1

調整用ニードル4×ø5.5（取付穴）


共通空気圧供給ポート（PV）1/8（Rc, NPTF, G）共通パイロット圧供給ポート（PS）

2×M5


そのまま回してください。）


破壊弁VJ314

破壊弁VJ114

供給用パイロット弁（N.C.）VJ114


PV

PS

EXH

PD（PS1（PV） PD）（PS1（PV） PD）（PS3（PV） PD）

SMCSMC

P

PD

PV

PS

PE

PD

PV

PS

PE

PD

PV

PS

PE

PD

-+-+

SMCSMC

20

32

37.420

（44）

共通真空圧供給ポート（PV）

共通パイロット圧供給ポート（PS）


個別真空圧供給ポート（PV）M5（またはM6）


※1 集合排気（EXH.）ポートはパイロット弁のパイロット圧排気（PE）ポートとなっております。大気開放にてご使用願います。

8



A

918

ZX Series

（直管個別スペーサを使用した場合）システム回路例

（準標準）（直管個別スペーサを使用した場合）

（標準）B矢視

A矢視

121.8

22.5

39.9

2.5 10

63.5

25.5

6.3

1 4.7

7.5

5ピッチ＝2122.5

79

4.2ピッチ＝21

22.5

65.1

8.5

10.7







R16PV

PSPD

PER16PV

PSPD

PER1

R1

SMCSMC

PD）（PS1（PV） PD）（PS1（PV） PD）（PS3（PV）

-+

SMC

-+

SMC

PV

PD

PV

PS

PE

PD

PV

PS

PE

PD

PV

PS

PE

PD

VV V

V

- ＋

20


真空ポート（V）M5（またはM6）真空ポート（V）

M5（またはM6）

919


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

真空ポンプシステムマニホールド：K1タイプ

連数（mm）

記号

L1 334550

1546671

2758792

396108113

4117129134

5138150155

6159171176

7180192197

8

L2L3

L1

L3

L2

6.5

4

6

1016.4

28.1

37.4

85

ピッチ＝21

6

11.5

ピッチ＝10

44

65

リード線長さ

約300

33

21.5

10

60

337.4

44

5

28.5

22.5 ピッチ＝21

マニュアル




共通パイロット圧供給ポート（PS）2×M5

フィルタユニット真空スイッチZSE2


破壊弁VJ114


PV

PS

EXH

PD（PS1（PV） PD）（PS1（PV） PD）

PV

PS

PE

PD

PV

PS

PE

PD

32

4×ø5.5（取付穴）

20

23.4






20集合排気ポート（EXH.）※11/8（Rc, NPTF, G）



8



A

920

ZX Series

回路図

10.7

22.5214.2


VV

921


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

真空ポンプシステムマニホールド：K3タイプ

連数（mm）

記号

L1 334550

1546671

2758792

396108113

4117129134

5138150155

6159171176

7180192197

8

L2L3

2.5

61.5

79

22.70

16.422.7

45

61

106.6

L3

44

6

6

ピッチ＝21

L1

L2

6.5

4

10

37.4

44

3

60

33

21.5

10

1017.5

50.8

28.5

5

22.5 ピッチ＝21






真空スイッチZSE2マニュアル

破壊弁VJ314


SMCSMC

SMCSMC

PV

PS

EXH

PD（PS1（PV） PD）（PS1（PV） PD）

-+

SMC

-+

SMC

PV

PS

PE

PD

-+

SMC

-+

SMC

PV

PS

PE

PD

共通パイロット圧供給ポート（PS）2×M5

324×ø5.5（取付穴）

20

20










8



A

922

ZX Series

回路図

10.7

22.5214.2

- +- +- +- +

VV


923


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

組換用ユニット


K1AVZX1 5 Z B L D S

手動操作

PVポート管接続口径


無記号B

ノンロック式プッシュ式ロック式ドライバ操作形

L

ランプ・サージ電圧保護回路無記号なし


無記号ACタイプ



※1※3

AC100V50/60Hz

CE対応――●●●●●

AC110V50/60Hz

5 DC24V

6 DC12V

V DC6V

S DC5V

R DC3V


※プラグコネクタのみ適用。整流器付コネクタAss’yが、付属されています。

エジェクタシステム用供給弁・破壊弁の組み合わせ（詳細はP.867をご参照ください。）


リード線取出し方法L L形プラグコネクタ

無記号Y

M5×0.8


CE対応無記号

Q―

CE対応品

無記号L

ロックナット無ロックナット付

05 1DWZX1

0507

0.5mm

0.7mm

10 1.0mm

1

2

サイレンサ内蔵ポート排気

Rc1 8

エジェクタ排気方式ノズル径


15 C0XZSE2 D

配管仕様


無記号L

グロメット（0.6m）グロメット（3m）

C コネクタ（0.6m）CL コネクタ（3m）CN コネクタなし

無記号L



配管仕様


C0XZSE3 D

21222324




S 0.3～0.7mm

B 0.5～1.2mm

適用吸着ノズル径

配管仕様


無記号L



15 C0XBZSP1 DD：組換用ユニットとは製品において、あるユニットを交換するためのユニットです。例. ZX1071-K15LZ-PBCにおいて、吸着確認スイッチユニットを真空圧力スイッチユニットに交換する場合、ZSE2-0X-15C-Dの品番となります。また、組付けるためのねじM2.5×51（2個）が必要となります。ユニットの組合せをしないで、ユニット単体で使用する場合は無記号です（バルブユニットとエジェクタアッセンブリとスイッチユニットを組合せて使用するのではなく、バルブユニットのみ、エジェクタアッセンブリのみ、スイッチユニットのみとして使用する場合）例. ZSE2-0X-15C、ZX1-VAK15LZ、ZX1-W051.

エジェクタシステム／ユニット構成（仕様変更、メンテナンス等でユニットの交換をする場合、下記型式表示方法を参照ください。）

型式表示方法（組換用ユニット）

単体の場合

qバルブユニット

eエジェクタアセンブリ

r真空圧力スイッチユニット

t真空用デジタル圧力スイッチユニット

w吸着確認スイッチユニット

出力仕様

21

1555

NPNオープンコレクタPNPオープンコレクタ

出力仕様

単体用（PD、PSポートにプラグが付きます。）

924

ZX Series

A


手動操作


マニホールド用

パイロット弁仕様電磁弁定格電圧リード線取出し方法

エジェクタシステム用供給弁・破壊弁の組み合わせ

K1AVZX1 5 Z B D MLCE対応

15 C0XZSE2 D

配管仕様組換用ユニット

システム対応エジェクタ用（PD、PSポートにプラグがつきます）

05ZZX1 R A C

無記号F G

Rc

T NPTF

1 8…

1連

8連…01

08

RL 左側

右側

B 両側


無記号C 集合排気用

個別排気用

排気形式対応連数

ポートねじの種類

05 1DWZX1

0507

0.5mm

0.7mm

10 1.0mm

1

2

サイレンサ内蔵ポート排気

Rc

3マニホ－ルド集合排気

1 8

エジェクタ排気方式ノズル径



出力仕様

21 C0XZSE3 D

21222324





マニホールドの場合

qバルブユニット ※型式の詳細は→P.872をご参照ください。

wマニホールドベース

r吸着確認スイッチユニット

t真空用圧力スイッチユニット

y真空用デジタル圧力スイッチユニット

eエジェクタアセンブリ

S 0.3～0.7mm

B 0.5～1.2mm



15 C0XBZSP1 D配管仕様無記号

Lグロメット（0.6m）グロメット（3m）


無記号L



注1）集合排気用は、集合排気ポートが開いています。個別排気用は閉じています。集合排気用はエジェクタシステムの集合排気形式のみ適用します。

注2）ポートがM5の場合、品番末尾は-4、M6は-1です。注3）ポートがM5の場合、品番末尾は-1、M6は-2です。

無記号L



1555


出力仕様

L



無記号Y

M5×0.8


無記号L


すべてのポートにプラグが付いています。

925


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

A

真空ポンプシステム／ユニット構成（仕様変更、メンテナンス等でユニットの交換をする場合、下記型式表示方法を参照ください。）


単体の場合

qバルブユニット w吸着確認スイッチユニット

r真空用デジタル圧力スイッチユニット

単体用組換用ユニット


K1BVZX1 5 Z B D S


Bノンロック式プッシュ形ロック式ドライバ操作形

L

ランプ・サージ電圧保護回路無記号なし


無記号ACタイプ



※1※3

AC100V50/60Hz

CE対応――●●●●●

AC110V50/60Hz

5 DC24V

6 DC12V

V DC6V

S DC5V

R DC3V


※ プラグコネクタのみ適用。整流器付コネクタAss’yが、付属されています。

真空ポンプシステム用

供給弁・破壊弁の組み合わせ（詳細はP.903をご参照ください。）


リード線取出し方法L L形プラグコネクタ

S 0.3～0.7mm

B 0.5～1.2mm


15 C0XBZSP1 D


無記号L



無記号L



配管仕様


出力仕様

21 C0XZSE3 D


21222324




D：組換ユニットとは、製品において、あるユニットを交換するためのユニットです。例. ZX100-K15LZ-PBCにおいて、吸着確認スイッチユニットを真空用圧力スイッチユニットに交換する場合、ZSE2-0X-15C-D

の品番となります。また組付けるためのねじ、P3270148-39（2

個使い）が必要となります。ユニットの組合せをしないで、ユニット単体で使用する場合は無記号です。例. ZSE2-0X-15C、ZX1-VBK15LZ

15 C0XZSE2 D

配管仕様無記号



e真空圧力スイッチユニット

L



無記号Y

M5×0.8


無記号L


1555


出力仕様

CE対応無記号

Q―

CE対応品（PDポートのみプラグが付きます。）

926

ZX Series

A


マニホールドの場合

qバルブユニット ※型式の詳細はP.906をご参照ください。 r真空用圧力スイッチユニット

wマニホールドベース ※型式の詳細はP.916をご参照ください。

t真空用デジタル圧力スイッチユニット

e吸着確認スイッチユニット

注1）ポートがM5の場合には品番末尾は-

4、M6は-1になります。注2）ポートM5の場合、品番末尾は-1、M6

は-2になります。

ランプ・サージ電圧保護回路手動操作

組換用ユニットマニホールド用すべてのポートにプラグが付きます。パイロット弁仕様

電磁弁定格電圧リード線取出し方法

真空ポンプシステム用供給弁・破壊弁の組み合わせ

K1BVZX1 5 Z B D MLCE対応

PDポートにプラグがついています。

06ZZX1 R B

無記号F G

Rc

T NPTF

1 8…

1連

8連…01

08

RL 左側

右側

B 両側

供給ポート位置連数

システム対応真空ポンプ用

ポートねじの種類

S 0.3～0.7mm

B 0.5～1.2mm

適用吸着ノズル径組換用ユニット

15 C0XBZSP1 D

配管仕様無記号




無記号L



15 C0XZSE2 D

配管仕様

無記号L



配管仕様


出力仕様

21 C0XZSE3 D

21222324




L

PVポート管接続口径破壊流量調整ニードル無記号

YM5×0.8



1555


出力仕様

927


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

A

表．1

表．2

M2.5×51

P3270148-39♯1

(M2.5×39)

P3200152-12

(M2.5×28)

真空スイッチZSE3,ZSP1場合

真空スイッチZSE2の場合

フィルタユニットZX1-Fの場合

組合わせ品番

注）．1組合わせにより使用ビス（表．2）は異なりますが単体とマニホ－ルドは共通のビスとなります。

1．プラマイナベ小ネジを外す。2．精密機器用十字穴付きさらコネジを外す。3．バルブユニットにプラグを取付る。4．バルブユニットをプラマイナベ小ネジ（P3200152-12)3本にてマニホ－ルドに取付る。

5．真空スイッチをプラマイナベ小ネジ2本にてマニホ－ルドに取付る。締付けトルクは表．1に従ってください。

使用する使用しない使用しない使用する使用する

使用する

使用する使用する使用する使用しない使用しない

使用しない

単体の場合マニホ－ルドの場合個数2

1

1

2

1

3

品番名称

P3200150

P3200152-24

M-3P

ZX1-MP1

※P3200152-12

(M2.5×28)

プラマイナベ小ネジプレートA

精密機器用十字穴付きさらコネジプラグプラグ

プラマイナベ小ネジ

注）．1 0.28±0.1(N･m)

0.28±0.1(N･m)

0.46±0.05(N･m)

1.6±0.15(N･m)

0.28±0.1(N･m)

単体からマニホ－ルドの組換

適正締付トルク値


P3200152-12(M2.5×28)


真空スイッチ

注）．1プラマイナベ小ネジ

1(PV)(PSPD)

PS

PE

PD

PV

PV

1(PV)(PSPD)

PS

PE

PD

PV

ZX1-MP1

プラグ

プラグ

M-3P

十字穴付きさらコネジP3200152-24

精密機器用

プレートA

P3200150

1(PV)(PSPD)

PS

PE

PD

PV


1(PV)(PSPD)

PS

PE

PD

PV

PS

PD

EXH

真空ポンプシステム／単体からマニホールドの組換

※直管個別スペーサを用いる場合はM2.5×32を使用してください。

q

w

e

r

t

928

ZX Series

A

注）．1組合わせにより使用ビス（表．2）は異なりますが単体とマニホ－ルドは共通のビスとなります。締付けトルクは表．1に従ってください。

1．プラマイナベ小ネジを外す。2．プラマイナベ小ネジを外し,エジェクタアッセンブリをバルブユニットから外す。

3．バルブユニットにプラグを取付る。4．バルブユニットをプラマイナベ小ネジ（P3200152-12)3本にてマニホ－ルドに取付る。

5．エジェクタアッセンブリをプラマイナベ小ネジ（M2.5×14）1本にてマニホ－ルドに取付ける。

6．真空スイッチをプラマイナベ小ネジ2本にてマニホ－ルドに取付る。

単体からマニホ－ルドの組換

表．2

M2.5×63

M2.5×51

P3270148-39♯1

(M2.5×39)

真空スイッチZSE3,ZSP1場合真空スイッチZSE2の場合

フィルタユニットZX1-Fの場合

組合わせ品番

表．1

使用する使用しない使用する使用する使用する

使用する

使用する使用する使用する使用しない使用しない

使用しない

単体の場合マニホ－ルドの場合個数2

1

1

1

1

3

品番名称

P3200150

M2.5×14

M-3P

ZX1-MP1

※P3200152-12

(M2.5×28)

プラマイナベ小ネジプレートA

プラマイナベ小ネジプラグプラグ


注）．1 0.28±0.1(N･m)

0.28±0.1(N･m)

0.46±0.05(N･m)

1.6±0.15(N･m)

0.28±0.1(N･m)

適正締付トルク値

真空スイッチ


P3200152-12(M2.5×28)

プレートA

P3200150

M2.5×14


エジェクタアッセンブリ

1(PVPS

PD)

PS

PE

PD

PV

プラマイナベ小ネジ注）．1

1(PVPS

PD)

PS

PE

PD

PV


プラグZX1-MP1

プラグ

M-3P


1(PV)(PSPD)

PS

PE

PD

PV

PS

PD

EXH

PV

1(PVPS

PD)

PS

PE

PD

PV

エジェクタシステム／単体からマニホールドの組換

※直管個別スペーサを用いる場合はM2.5×32を使用してください。

q

w

e

r

t

y

929


ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

A

バルブユニット／供給弁・破壊弁の標準外組み合わせ（エジェクタユニットの場合）1

組み合わせ記号K2用途：供給の制御は電気信号で行い、破壊は外部からのエアにて行います。

組み合わせ記号K7用途：供給の制御は、外部からのエア信号にて行い、破壊は電磁弁で行います。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、エジェクタヘの供給圧力は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止の場合に使用します。

組み合わせ記号K4用途：供給の制限は電気信号で行い、破壊はエア信号にて行います。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、エジェクタヘの供給圧力は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止の場合に使用します。

組み合わせ記号 J1用途：電気信号により、制御する場合に使用します。破壊はサイレンサとパッドとワーク間の大気の回り込みとなります。破壊の速度を速くする必要のない場合に使用します。

組み合わせ記号K5用途：供給の制御は、外部からのエア信号にて行い、破壊は電磁弁で行います。

組み合わせ記号 J2用途：電気信号により、制御する場合に使用します。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、エジェクタヘの供給圧力は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止の場合に使用します。破壊はサイレンサとパッドとワーク間の大気の回り込みとなります。破壊の速度を速くする必要のない場合に使用します。

操作供給用弁破壊用弁電磁弁外部2ポート弁ON OFFOFF ONOFF OFF


操作供給用弁破壊用弁エアオペレート弁電磁弁OFF OFFON ONON OFF


操作供給用弁破壊用弁電磁弁エアオペレート弁OFF OFFON ONON OFF


操作供給用弁破壊用弁電磁弁ONOFFOFF


操作供給用弁破壊用弁外部3ポート弁電磁弁ON OFFOFF ONOFF OFF


操作供給用弁破壊用弁電磁弁OFFONON


操作方法操作方法



エジェクタユニットバルブユニットの供給弁・破壊弁の標準組み合わせ（P.867をご参照ください。）以外の組み合わせについては、用途に合わせて下記の組み合わせの中より選定ください。（型式表示方法はP.866をご参照ください。）

930

ZX Series

オーダーメイド仕様詳しい寸法・仕様および納期については、当社にご確認ください。

OrderMade

組み合わせ記号 J3用途：供給の制御は、外部からのエア信号により行います。破壊はサイレンサとパッドとワーク間の大気の回り込みとなります。破壊の速度を速くする必要のない場合に使用します。

組み合わせ記号D2用途：供給の制御は、外部の弁にて行い、破壊は電磁弁で行います。

組み合わせ記号 J4用途：供給の制御は、外部のエア信号により行います。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、エジェクタヘの供給圧力は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止の場合に使用します。破壊はサイレンサとパッドとワーク間の大気の回り込みとなります。破壊の速度を速くする必要のない場合に使用します。

組み合わせ記号D3用途：供給の制御は、外部にて行い、破壊は外部2ポート弁（真空用弁）にて行います。

組み合わせ記号D1用途：供給の制御は、外部の弁にて行い、破壊は電磁弁で行います。

組み合わせ記号D4用途：供給の制御は、外部の弁にて行い、破壊は外部からのエア信号にて行います。




操作供給用弁破壊用弁外部3ポート弁ONOFFOFF


操作供給用弁破壊用弁外部弁電磁弁ON OFFOFF ONOFF OFF


操作供給用弁破壊用弁エアオペレート弁OFFONOFF






操作供給用弁破壊用弁外部弁エアオペレート弁ON OFFOFF ONOFF OFF


931

オーダーメイド仕様

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

バルブユニット／供給弁・破壊弁の標準外組み合わせ（真空ポンプシステムの場合）2

組み合わせ記号K2用途：供給の制御は電気信号で行い、破壊は外部からのエアにて行います。

組み合わせ記号K7用途：供給の制御は、外部からのエア信号にて行い、破壊は電磁弁で行います。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、真空供給は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止の場合に使用します。

組み合わせ記号K4用途：供給の制御は電気信号で行い、破壊はエア信号にて行います。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、真空供給は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止の場合に使用します。

組み合わせ記号 J1用途：電気信号により、制御する場合に使用します。パッドとワーク間のエアの漏により、ワークは離脱しますが漏の無い場合は、供給用弁をOFFしても真空保持状態となりワークは離脱しません。破壊を行う場合は、外部に2ポート弁（真空用弁）を設けてください。

組み合わせ記号K5用途：供給の制御は、外部からのエア信号にて行い、破壊は電磁弁で行います。

組み合わせ記号 J2用途：電気信号により、制御する場合に使用します。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、真空の供給は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止の場合に使用します。パッドとワーク間のエアの漏により、ワークは離脱しますが漏の無い場合は、供給用弁をONしても真空保持状態となりワークは離脱しません。破壊を行う場合は、外部に2ポート弁（真空用弁）を設けてください。



操作方法

操作方法

真空ポンプシステムバルブユニットの供給弁・破壊弁の標準組み合わせ（P.903をご参照ください。）以外の組み合わせについては、用途に合わせて下記の組み合わせの中よりご選定ください。（型式表示方法はP.902をご参照ください。）

操作供給用弁破壊用弁電磁弁外部2ポート弁ON OFFOFF ONOFF OFF


操作供給用弁破壊用弁電磁弁電磁弁OFF OFFON ONON ON




操作供給用弁破壊用弁エアオペレート弁電磁弁OFF OFFON ONON OFF


操作供給用弁破壊用弁電磁弁ONOFFOFF


操作供給用弁破壊用弁電磁弁OFFONON


932

ZX Series


OrderMade

組み合わせ記号 J3用途：供給の制御は、外部からのエア信号により行います。パッドとワーク間のエアの漏により、ワークは離脱しますが、漏の無い場合は、供給用弁をOFFしても真空保持状態となりワークは離脱しません。破壊を行う場合は、外部に2ポート弁を設けてください。

組み合わせ記号D2用途：供給の制御は、外部2ポート弁（真空用弁）にて行い、破壊は電磁弁で行います。

組み合わせ記号 J4用途：供給の制御は、外部のエア信号により行います。供給用弁がN.O.タイプですので、停電時に、エジェクタヘの供給圧力は停止することがなく、吸着状態を維持します。停電時のワークの落下防止の場合に使用します。供給の制御は、外部からのエア信号により行います。パッドとワーク間のエアの漏により、ワークは離脱しますが、漏の無い場合は、供給用弁をONしても真空保持状態となりワークは離脱しません。破壊を行う場合は、外部に2ポート弁を設けてください。

組み合わせ記号D3用途：供給の制御は、外部2ポート弁（真空用弁）にて行い、破壊も外部2ポート弁にて行います。

組み合わせ記号D1用途：供給の制御は、外部2ポート弁（真空用弁）にて行い、破壊は電磁弁で行います。

組み合わせ記号D4用途：供給の制御は、外部2ポート弁（真空用弁）にて行い破壊は外部からのエア信号にて行います。




操作供給用弁破壊用弁外部3ポート弁ONOFFOFF


操作供給用弁破壊用弁エアオペレート弁OFFONON










933

オーダーメイド仕様

ZA

ZX

ZR

ZM

ZMA

ZQ

ZH

ZU

ZL

ZY□

ZF□

ZP□

SP

ZCUK

AMJ

AMV

AEP

HEP関連機器

高消音タイプサイレンサアッシ3

エジェクタの排気音の低下（消音効果8dB（A）標準サイレンサアッシ比較）

ノズル径排気形式バルブリード線取り出し電圧ZX1

高消音タイプサイレンサアッシ

X121 CE対応

［オプション］

934

ZX Series


OrderMade

A

Documents

真空ユニットZX Series真空ユニット エジェクタシステム・真空ポンプシステム対応 特長・用途例 P.864 エジェクタユニット基本仕様 P.865

真空ユニットZX Series真空ユニットエジェクタシステム・真空ポンプシステム対応特長・用途例 P.864 エジェクタユニット基本仕様 P.865