真空ポンプを快適に使用する為に、ULVAC では使い易さを考慮したオプションパーツを多数ご用意しております。用途に合わせてトラップ、真空配管部品をお役立てください。

真空ポンプ　オプション部品

DS-40

OF-2

低真

空ポ

ンプ

低真空ポンプ

前段トラップ ダスト・フィルタ DSシリーズ粉体吸着トラップ TROシリーズオイル・トラップ OTシリーズコールド・トラップ CTシリーズ水冷トラップ WTシリーズ

オイルフィルトレーション オイルフィルトレーションシステム OFシリーズ

真空配管部品

真空フランジ

前段トラップ 前段トラップを使用することにより、粉体などが真空ポンプに侵・入するのを防ぎ、真空ポンプの寿命低下を防ぎます。

オイルフィルトレーション 真空ポンプ油中の粉体や、酸・反応ガスの吸着除去が可能です。

真空フランジ・配管部品様々なフランジ・配管部品を用意しています。装置との接続にお役立てください。

真空ポンプ　オプション部品 特　長

2

OF-3

550 550420

21810096.2

580 580

610610

4-φ10 4-φ10

100

100

200

200

(551

)

100

100

圧力計 圧力計

押ボタン付電磁開閉器

押ボタン付電磁開閉器

ロータリーポンプ油もどり口へ3/8B（接続口メスカプラ３Ｓ）

ロータリーポンプドレン口より3/8Ｂ（接続口メスカプラ3S）

ロータリーポンプドレン口より3/8Ｂ（接続口メスカプラ3S）

ロータリーポンプ油もどり口へ3/8B（接続口メスカプラ３Ｓ）

銘板 銘板

トロコイドポンプAC100 V 0.2 kW

トロコイドポンプAC100 V 0.2 kW

注）1． メンテスペースは610×200×600（mm）です。注）1． メンテスペースは610×200×600（mm）です。

115 216 102.5 68

(554

)

真空ポンプ付属品

オイルフィルトレ－ションシステム　OF シリーズ

仕　　様

外形寸法図

真空ポンプ　オプション部品

CVD及びエッチングプロセスに使用される油回転真空ポンプには、反応生成物、未反応ガス、酸などが吸引されます。そのため、作動油の酸化や劣化が起こりポンプ運転の妨げとなり故障の原因となります。OFシリ－ズは、ポンプ作動油の寿命およびメンテナンス期間の延長を可能にします。

特　　長

OF-2CVD装置などの粉体を多量に発生するプロセス用です。真空ポンプ油中の粉体除去を確実に行います。フィルタエレメントの D.H.C（ダスト捕集能力）は非常に大きく、ポンプ油の寿命を延ばすとともにポンプのメンテナンス間隔を長くします。 OF-3多量の酸を排気するドライエッチング装置や反応性の強いガスを排気するプロセス用で、ポンプ油の寿命延長に大きな効果があります。スラッジを除去する粉体用フィルタエレメントと酸や反応ガスを吸収除去する中和性エレメントの組み合わせで構成します。

OF-2

＊1：0.4〜0.45MPa＝4.0〜4.5㎏/cm2

＊2：ホ−スの長さは変更できません。

（単位：mm）OF-2 OF-3

諸元 型式 OF-2 OF-3捕集粒度 1μ≦ 1μ≦（前段ペ－パ－フィルタ）

捕集量 1200g（600g/エレメント1ヶ）

（1） ダスト： 600g（2） 酸： 500mL

エレメント交換圧力 0.4～0.45MPa（ゲ－ジ圧） ＊1所要油量 L 7 6.5循環油量 L/min 3.0 ≦接続用ホ－スの長さ ＊2 1m（2本）カップリング径 IN、OUTともにR3/8（PT3/8）材質 本体： SUS304、ガスケット： フッ素ゴム所要電源 100V, 50/60Hz 0.2kW

3

真空ポンプ付属品

仕　　様寸　　法　　表

外形寸法図

TRO-100

＊1：オプション油：ULVOIL　スーパーR-7500　ULVOIL　D-11＊2：AC200V　3相　50/60Hz

（単位：mm）

TRO-50 TRO-80 TRO-100A 390 600 740B 290 440 550C 135 190 240D 190 200 320E 260 370 470F 115 145 195G 120 200 250H 140 200 260 I 455 620 730J 40 50 55K 140 195 240L VG50 VG80 VG100M VG50 VG80 VG100

諸元 型式 TRO-50 TRO-80 TRO-100油量 L 2.5 8 19推奨油 ＊1 ULVOIL R-4吸気口径JIS B 2290 VG50相当 VG80相当 VG100相当

排気口径JIS B 2290 VG50相当 VG80相当 VG100相当

適応ポンプ容量 L /秒 ≦1600 ≦4000 ≦7000

適応ポンプ例 VDシリーズ、PKS-016

VSシリーズ、PKS-030

PKS-070

重量 kg 30 75 130使用電動機 ＊2 W 25 60 90材質 本体：SUS304、ガスケット：フッ素ゴム

吊り穴

Ｌ

Ｆ Ｇ

ＨＩ

（Ｋ）

Ｍ

Ｊ

Ａ

Ｃ

Ｄ

Ｅ

Ｂ

オイルゲージ

給油口

４-φ１２

φ１８

排油口バルブ（1/2Ｂ）

（ＴＲＯ-５０は吊り穴なし）

粉体吸着トラップ　TRO シリーズ

TROシリーズは、CVDなどの多量な粉体が発生するプロセスでの使用に効果を発揮します。装置と油回転真空ポンプの間に設置することにより、プロセスで発生した粉体をトラップします。油を使用した特殊トラップ方式を採用していますので、長時間コンダクタンス減少がなく粉体を吸着することができます。また、蒸気圧の低い油を用いることにより、油回転ポンプからチャンバ側への油の逆流を阻止する効果がありますので、プロセスの品質や歩留向上に役立ちます。

特　　長

コンダクタンスの減少が少ない従来のフィルタ式粉体トラップのような粉体の吸着に伴うコンダクタンスの減少はありません。 高耐食性排ガス部には耐食性に富んだステンレス鋼およびフッ素ゴムを使用しています。 保守が容易保守は油の交換のみでよく、粉体を吸着した油の状態が覗き窓から観察でき、排気口にはボールバルブが標準装備されています。 ポンプのメンテナンス期間が延長油回転真空ポンプの油交換期間及びオーバーホール期間が延長されます。（例：CVDプロセスで 4倍以上） 油の逆流が少ない油回転真空ポンプ単体の時に比べ、チャンバ側への油の逆流は少なくなります。（1/2以下）

（単位：mm）

4

油回転真空ポンプ

A C

D

B

E AH

B

G

DC F

I

のぞき窓

オイル・ドレーン

油回転真空ポンプ

B

A

D

C

油回転真空ポンプ

E

冷却水出　口

冷却水入　口

油回転真空ポンプ

ドレーンプラグφF

H GB

GA

C

ED

INOUT

RP

バイパス配管

OUT

CTIN

RP

INOUT

WT

RP

DS

RP

IN

真空機器構成部品　前段トラップ

用途・ 粒子径 10μｍ以上の粉体を含む気体の排気（乾燥状態）、真空吸着搬送・真空成型、真空包装、真空溶解炉、真空熱処理炉

構造交換容易なフィルタエレメントを内蔵。エレメントは、十分再生使用できます。 材質：ステンレス銅 適用機種：ULVAC製油回転真空ポンプ

用途粉体を含む吸入圧力の高い連続排気・化学反応プロセスで発生する生成物・を含む排気　ウェーハ成膜プロセス（CVD等） 材質：ステンレス銅 使用油： 低蒸気圧真空ポンプ用油

（ULVOIL R-4） 適用機種： VDシリーズ、

PKSシリーズ

用途蒸気圧の高い溶剤などの排気・水分を多量に含む場合の排気・

材質：ステンレス銅 適用機種：ULVAC製油回転真空ポンプ

用途2660～ 3990Pa以上の飽和蒸気・圧を有する気体の排気大流量の高温気体を接続排気する・場合

材質：SS（メッキ）、ステンレス銅 適用機種：ULVAC製油回転真空ポンプ

DS-40

ダスト・フィルタ DSシリーズ

オイル・トラップ OTシリーズ

コールド・トラップ CTシリーズ

水冷式トラップWTシリーズ

寸　法　図

寸　法　図 寸　法　表

寸　法　表

寸　法　表

寸　法　図

寸　法　図

取付要領図

取付要領図

取付要領図

寸　法　表

（単位：mm）

（単位：mm）

（単位：mm）

（単位：mm）

（単位：mm）

（単位：mm）

（単位：mm）

取付要領図（単位：mm）型式 適用機種 A B C D

DS-20 PVD-18090 90

VG20 VF20DS-25 PVD-360 VG25 VF25DS-40 VD301, VD401

140195

VG40 VF40DS-50 VD601, VD901 VG50 VF50DS-2 PKS-016 290 VG50 VF50DS-3 PKS-030 200 530 VG80 VF80DS-4 PKS-070 220 583 VG100 VF100

（単位：mm）

＊PVD-180、360型には、吸気管（RFシリーズ）の上に組み付けることとなります。

型式 OT-50 OT-80 OT-100A 150 160 185B 83 106 121C 300 366 401D 490 556 591E 180 180 185F φ140 φ165 φ216G VF50 VF80 VF100

H VG50相当

VG80相当

VG100相当

I G1 G1 G1

型式 CT-25 CT-40 CT-50 CT-80 CT-100A 100 110 125 140 155B 96 88 99 114 131C 276 288 314 364 396

D VF25相当

VF40相当

VF50相当

VF80相当

VF100相当

E VG25 VG40 VG50 VG80 VG100

（使用上の注意）CTシリーズは、油回転真空ポンプの油の逆流を少なくすることが主な使用目的です。CTを直接経由して高い圧力の状態で長時間排気すると液体窒素の消耗が激しくなります。そのような使い方の場合、取付要領図のようにバイパス配管を設け、高い圧力ではバイパス配管で排気し、圧力が低くなったらCTを経由して排気するようにしてください。

型式 WT-25 WT-50 WT-80 WT-100A 93 150 150 200B 100 150 150 200C 100 100 140 180D 160 175 250 290E （550）（550）（705）（815）F φ60.5 φ114 φ165 φ216G VG25 VG50 VG80 VG100H VG25 VG50 VG80 VG100I φ120 φ185 φ235 φ300

真空ポンプ　オプション部品

真空ポンプ付属品（真空機器構成部品）

5

φAVG

B

PF 3/4 (PVD-180)PF 1 (PVD-360)

φAVG

B

C

“O”リング

オイルミスト・トラップ付

吸気管はすべてネジ込みです。ベース下部ヨリ ベース下部ヨリ（床面）

排気

排気吸気

吸気

H

H

TMX

RP RP

RF1，3，4

RF2，5，6

MM

ベース下部ヨリ

オイルミスト・トラップ付

排気管はすべてネジ込みです。床面ヨリ床面ヨリ

吸気吸気

H

H

TMX

RP RP

RF7，8

RF9～12

MM

H

真空機器構成部品　真空配管部品

用途PVD-180型、360型用フランジ・継手ヘリウム回収型吸気口取合用・

適用機種：PVD-180型、360型 仕様フランジ部回転方式（ガスケッ・ト溝付）　フランジ取付方向自由ガスケット付（ボルト・ナット類・は含まれておりません。）

用途一般排気用・ヘリウム回収型排気口取合用・

適用機種：PVD-180型、360型 仕様フランジ部回転方式（ガスケッ・ト溝付）　フランジ取付方向自由ガスケット付（ボルト・ナット類・は含まれておりません。）

材質ステンレス鋼・ガスケット：フッ素ゴム・

ルーズ式・フランジ付吸気管 RFシリーズ ルーズ・式フランジ付排気管 RFシリーズ

寸　法　図 寸　法　図

寸　法　表 寸　法　表

取付要領図 取付要領図

（単位：mm） （単位：mm）

（単位：mm） （単位：mm）

※フランジ規格JIS B2290による。＊Hは取付要領図をご参照ください。

※フランジ規格JIS B2290による。＊Hは取付要領図をご参照ください。

型式 適用機種　　　寸法 Ａ Ｂ Ｈ＊

RF-1 PVD-180型φ80

72 315RF-2 PVD-180型TMX付 235 478RF-3 PVD-360型

φ90

72 315

RF-4D-330K型

220419

D-330DK型 425RF-6 PVD-360型TMX付 310 528

RF-6D-330K型TMX付

310509

D-330DK型TMX付 515

型式 適用機種　　　寸法 Ａ B Ｃ Ｈ＊

RF-7 PVD-180型 φ80 PF3/4″ 50 314RF-8 PVD-360型 φ90 PF1″ 80 344RF-9 PVD-180型TMX付 φ80

PF1・1/2″50

507

RF-10PVD-360型TMX付

φ90D-330K型TMX付 383（486）D-330DK型TMX付 389（492）

RF-11D-650K型TMX付

φ105383（486）

D-650DK型TMX付 389（492）

RF-12D-950K型TMX付

φ120 PF2″383（491）

D-950DK型TMX付 389（497）

適用機材PVDシリーズ、DKシリーズ（モータ直結型油回転真空ポンプは、キャスタだけを取り付けられます。）

ハンドル・キャスタ付きポンプベース

寸　法　図寸　法　表 （単位：mm）

適用機種 HPVD-180（B） 25PVD-360（B）、D-330K 25D-650K、D-950K 50

真空ポンプ付属品（真空機器構成部品）

材質ステンレス鋼、ガスケット：フッ素ゴム・

6

ゲージボードφ18（標準）φ

d

φd

φD

φ18

φ10

100tt

VGVF

リークポート

φD1

φD2

φd

4-φ10

A

VG

VF

T管型 L管型

φD

φD

φd

φd

φd

φD

T

T

B VG

VG VG

VFVF

A

A

A

4-φ10

φD

φD

LL

VFVG

T

• JIS規格真空フランジ型 • ISO規格KFフランジ型

A

VF VG

φD

L=1000

φd

φD

真空機器構成部品　真空配管部品

材質： ステンレス銅 ガスケット：フッ素ゴム

材質： ステンレス銅 ガスケット：フッ素ゴム

材質： ステンレス銅 ガスケット：フッ素ゴム

材質：ステンレス銅

材質：ステンレス銅、ガスケット：フッ素ゴム 材質：天然ゴム

ゲージポート付短管 TPシリーズ

Ⅰ型管

L型管／ T型管

フレキシブルホース

ベローズジョイント BJシリーズ 真空ゴムホース

寸　法　図

寸　法　図

寸　法　図

寸　法　図

寸　法　図 寸　法　図

寸　法　表

寸　法　表

寸　法　表

寸　法　表

寸　法　表 寸　法　表

（単位：mm）

（単位：mm）

（単位：mm）

（単位：mm）

（単位：mm） （単位：mm）

（単位：mm）

（単位：mm）

（単位：mm）

（単位：mm）

（単位：mm） （単位：mm）

品番 φD φd φp t 適用機種TP-20 80 27.2 60

8PVD-180（B）

TP-25 90 34.0 70 PVD-360（B）TP-40 105 48.6 85

10VD301, VD401

TP-50 120 60.5 100 VD601, VD901

品番 φD1 φD2 φd AI-VF20×VG20

80

80

27.2

100

VG25 90VG40 105VG50 120

I-VF25×VG2590

9034.0VG40 105

VG50 120I-VF40×VG40 105 105 48.6VG50 120I-VF50×VG50 120 120 60.5

品番 A φDBJ-25A 65 90BJ-40A 90 105BJ-50A 105 120BJ-80A 110 160BJ-100A 110 185BJ-150A 100 235

品番 φd φD L 適用配管R-5 4.5 18

1000

-R-9 9 24 3/8BR-15 15 36 1/2BR-18 18 42 3/4BR-25 25 55 1B

品　番 D L T 型　式 D LVFH-20-200

80200

8

KFH-20-200

40

200 500 500 500 500 1000 1000 1000 1000VFH-25-200

90200 KFH-25-200 200

500 500 500 500 1000 1000 1000 1000VFH-40-500

105500

10

KFH-40-50055

500 1000 1000 1000 1000 2000 120 2000 2000 2000VFH-50-500

120500 KFH-50-500

75500

1000 1000 1000 1000 2000 2000 2000 2000

品番 φD φd A BT-20 80 27.2 50 100T-25 90 34.0 55T-40 105 48.6 60 130T-50 120 60.5 150

品番 φD φd A TL-20 80 27.2 60 8L-25 90 34.0 65L-40 105 48.6 80 10L-50 120 60.5 90

真空ポンプ　オプション部品

真空ポンプ付属品（真空機器構成部品）

7

VF

P

T804-φ10

φD

φd1

φd3

ULVAC No.5O-リング

φ18

φD

VF

TA 内部構造

45VF または VG

φD1

φD2

クランプ

B

AC

φD

φD

H

φB

φ5 3.9

8

φd1φd2

φD

40

φB

真空機器構成部品　真空フランジ

材質：ステンレス銅

材質：ステンレス銅

材質：ステンレス銅

吸気管付フランジ

ゲージポート付フランジ

クイックカップリング接続アダプタ

真空フランジ　ISO規格クイック（リリース）カップリングフランジ（ISO28661 1～ 1974）

寸　法　図

寸　法　図

寸　法　表

寸　法　表

寸　法　表

（単位：mm）

（単位：mm）

（単位：mm）

（単位：mm）

（単位：mm）

品　番 P φD T φd1［外径］ φd2［内径］ d3 適用ゴムホース

VF20 ×15A60 80 8

21.7 16.1 18 φ15×φ3620A 27.2 21.6 24 φ18×φ4225A 34.0 27.6 30 φ25×φ55

VF25 ×15A70 90 8

21.7 16.1 18 φ15×φ3620A 27.2 21.6 24 φ18×φ4225A 34.0 27.6 30 φ25×φ55

VF40 ×15A80 105 10

21.7 16.1 18 φ15×φ3620A 27.2 21.6 24 φ18×φ4225A 34.0 27.6 30 φ25×φ55

VF50 ×15A100 120 10

21.7 16.1 18 φ15×φ3620A 27.2 21.6 24 φ18×φ4225A 34.0 27.6 30 φ25×φ55

品番 φD A TGF-20 80

60 8GF-25 90GF-40 105

62 10GF-50 120GF-80 160

64 12GF-100 185

寸　法　図

寸　法　図

寸　法　図

寸　法　図

寸　法　図

（単位：mm）

（単位：mm）

（単位：mm）

（単位：mm）

（単位：mm）

品　番 D1 D2 呼び径 KCG KCFKCG-10 KCF-10

3080

NW10VG20 VF20KCG-16 KCF-16 NW16

KCG-20 KCF-2040

NW20KCG-25 KCF-25 90 NW25 VG25 VF25KCG-32 KCF-32

55 105NW32

VG40 VF40KCG-40 KCF-40 NW40KCG-50 KCF-50 75 120 NW50 VG50 VF50

材質：アルミニウム合金

材質：ステンレス銅 304

材質：ステンレス銅 304 材質：フッ素ゴム

材質：ステンレス銅 304

クランプ

カップリング（ショート）

Oリング座 Oリング

カップリング（ロング）

寸　法　表

寸　法　表

寸　法　表

寸　法　表

（単位：mm）

（単位：mm）

（単位：mm）

（単位：mm）

品番 呼び径 A B C φDKQC-16 NW10/16 45 61 16 22KQC-25 NW20/25 55 75 16 32KQC-40 NW32/40 70 90 16 47KQC-50 NW50 95 123 25 62

品番 呼び径 φd1 φd2KBR-10 NW10 10 12KBR-16 NW16 16 17KBR-20 NW20 20 22KBR-25 NW25 25 26KBR-32 NW32 32 34KBR-40 NW40 40 41KBR-50 NW50 50 52

品番 呼び径 φB φDKLC-10 NW10 15

30KLC-16 NW16 20KLC-20 NW20 25

40KLC-25 NW25 30KLC-32 NW32 38

55KLC-40 NW40 45

品番 呼び径 φB φD HKSC-10 NW10 15

30 16KSC-16 NW16 20KSC-20 NW20 25

40

20KSC-25 NW25 30KSC-32 NW32 38

55KSC-40 NW40 45KSC-50 NW50 56 75

真空ポンプ付属品（真空機器構成部品）

当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。

お問い合わせ

www.ulvac.co. jp株式会社アルバック 規格品事業部

国内販売： アルバック販売株式会社 ■東日本営業統括部 TEL03-5218-6011（代） ■西日本営業統括部 TEL06-6397-2281（代）海外販売： 株式会社アルバック ■規格品事業部 TEL+81-467-89-2261

平面座型 みぞ型d

g

h

f

T

CD

d

g

h

f

T

CD

S S

G1

G1G2

G2

CI

1173N-1/2013102500TL

真空機器構成部品　真空フランジ

真空フランジ（JIS B 2290）

寸　法　図

真空用フランジ・ガスケット寸法表（JIS B 2290）

（単位：mm）

（単位：mm）

呼び径 適用する鋼管の外径d

フランジ外径D鋳造製

フランジの外部寸法 ボルト穴ボルト呼び

ガスケットの溝フランジの厚さT

f g 中心円の径C 数 径h 内径G1 外径G2 呼びS鋳造フランジ その他

10 17.3 70 10 8 1 38 50 4 10 M8 24 34 320 27.2 80 10 8 1 48 60 4 10 M8 34 44 325 34.0 90 10 8 1 58 70 4 10 M8 40 50 340 48.6 105 12 10 1 72 85 4 10 M8 55 65 350 60.5 120 12 10 1 88 100 4 10 M8 70 80 365 76.3 145 12 10 1 105 120 4 12 M10 85 95 380 89.1 160 14 12 2 120 135 4 12 M10 100 110 3100 114.3 185 14 12 2 145 160 8 12 M10 120 130 3125 139.8 210 14 12 2 170 185 8 12 M10 150 160 3150 165.2 235 14 12 2 195 210 8 12 M10 175 185 3200 216.3 300 18 16 2 252 270 8 15 M12 225 241 4.5250 267.4 350 18 16 2 302 320 12 15 M12 275 291 4.5300 318.5 400 18 16 2 352 370 12 15 M12 325 341 4.5350 355.6 450 － 20 2 402 420 12 15 M12 380 396 4.5400 406.4 520 － 20 2 458 480 12 19 M16 430 446 4.5450 457.2 575 － 20 2 511 535 16 19 M16 480 504 7500 508.0 625 － 22 2 561 585 16 19 M16 530 554 7550 558.8 680 － 24 2 616 640 16 19 M16 585 609 7

真空ポンプ　オプション部品

真空ポンプ付属品（真空機器構成部品）