Humidity sensors for a pulmonary function diagnostic microsystem

Preview:

Citation preview

�������� ����� �� � �������� ����� ��������� ����������

�� �������� ���� ������� �� ��������������� �� � �� ��� ����� ����������� �������� � ��� ����� �� �� ������������ �� !� "������ ������ #�����

��������

�� ��! ������ �� �� � ���� � � "����� ������ ���#��� �� ��� � �� ���#�� �� �� ���������� � � ���������

���������� �� �������� ��������� ������ �� ������ �$�������� �������� ������ �� ������ ������� �� �������

���������� �� �%���� �� ����� ������������ ��! &�������� '� � ��������� ������ �������� �� ������� ( ��� � �����

�� ��������� � �� �������� ����� �� �������� ������ ��� �������$� �)*+ �������� ������� � � � ������� ������� �����

$� � �������� ���� ��������� ,���������� ����� ��� $ ������ ���� ������ �� ��$������ �������� �� �������� �� ��������

-������ �� ��������� +���� ������ ��� ���� ��� � %���! �$������� � �������� .��� ��� / �0 �� � ���� �������� ./1 �0�

�� �'�� � �� ������ �� �� �������� ������� � �� �� ����� � �� ���� .���������� ����� ���0 ��� $ �������

+�������� ��� �������� ���� � ������ ����� � �� �������� ��� �� ���$�� ������ �� ���������� � 233/ "����� +���

4�5� 6�� ������ ������

$�%&����' ������� �����7 �������� �����7 ,���������� �������7 ��������

� ���� ������

�� ��! ����� �� �� � ���� � � "����� ������

���#�� 8/9 ������� $� ������� ���� .:�;

���0� ���� �� 6��� <����� ��$������� .�� =��;

�����0� ,+6 .��������0 �� ��������� � 4�����&

.>���0� ����$�� .��������0� =�#�� .�� =�������0

�� ��� .4�����0� �� ��� � �� ���#�� �� ��

���������� � � ��������� ���������� �� �����;

��� ����� ��������� �� ������ �$�������� ��������

������ �� ������ �������

�� ������� ���������� �� �%���� �� ����� �����;

������� ��! &�������� '� � ��������� ������ �����;

��� �� ������ .>��� /0� , � ?��� ���� �� ��� ����� ��

������� ����� ��� ��� ����� �� ,@� ��$������� ��� �

����� �� ��������� � �� �������� �����

,� �� ����?� ���� ���� ���� ������ ����� �����

�������� ����� � $������ ���� ��� ��� �����

��� ���� $ ��� ��� / �� 6������� �� ��� ����������

��� ���� �� ����� � ��������� �������� ��� �

�������� ���� ������ �� ��������� , ��������� ��������

����� �� � � ������ ��� �������� 82AB9� ,

��� �������� ������ ����������� �� �$��� ���

������� �� C3 �� ���� �� ����������� � ���������

���� ������ ��� �������� �$������� �� �� ��� ��

��������� � �� ���������

� ������ �� ���������

�� ������� �� �������� ���� .>��� 20 ���� .���� �

�� ������ ����� ����!��� � �0� ��� ������ �� ����� �������� � � ��� ���� >����� ������� � >��!��

�� ���� � ��������� �� �������� ��������� ��������

����� ��� �� ��� $� �� %�����

����

� (�2���2

� �2��%2

� �2��)2

� �./0

�� ( �� �� �� ���� �� ����� � �� ��������� � �� �� ���� ���� �� �� %� ) �� �� ���� �&��

�� �������� �� ���� ����!�� � �������� �����

��� ����� �� >��! ���� �� ./0 $� ���� ?�� ����

6=+�+ 1�1 ���������� (��� ���� �� � ��� �� ��������

�� ���� �� ����� ���� � ������ ������ �� ������ �

��$� / 819�

�� ������ ���� ���� �� �� �� � ����� � ���������

�� �� ��������� �� �� �� �������� ����������

�� ������ �������� �� �� ���� �D

� ���$����� � �������� � 37

� ����� � �� %������ � E1F <� �$���$� � ��������

����7

� ���� � G1F <�7

� (��$����� � (������� � 37

� (�������� � 1�/3�/E �2H��

+���� �� 6�������� 4 IJ .233/0 E3BAE3G

� ���������� ������� ���D �EE;11J;CBJ1;BG7 �&D �EE;11J;EI/1;B1�*+,��� �������D ������K�&���;$�����&� � .�� ������0�

3G21;B331H3/HL A � ��� ����� � 233/ "����� +��� 4�5� 6�� ������ ������

�,,D + 3 G 2 1 ; B 3 3 1 . 3 / 0 3 3 1 G I ; B

�� ����� �� ���� ��� ��� $ ������� �� � �����

� �������� ����!�� �� ������ � ��$� 2�

�� ����!�� � �� �������� ���� ������� $� ���

������ ���� $ �� � ��� 2 ��� ��� �������� �� ��������� ������� ���� �� ����� �� �������� ����!;

�� $� ������ ������

, ������� �� ��� ������� �� �� �����$� �� ����� ��

��������� �������� ����� ���� � �� ���� �� ��$;

����� �� � �������� ���� 6������ � �� ���� � � ���

��� �� �� � �� ��� ������ ������$���� �� �� ��

��� �� ����������� �� ����� ����� � �� ���� ��$;

���� ���� ��� �� ��� ����� � ��� �� ������� $�

���� ��� ����� �� �?�� ���� �� ��� $� 8J9

������

� /� C

�2����3

/

�2�� /�2 &� �(�2�� /�2�2��2

� �.20

�� ( �� �� �� ���� �� ����� � �� ����!�� � ��

�������� ��������� �������� �� �������� ����������� ��� �� �������� �� �� � ���2������ � ��������

>��� �� "%� .20� �� ���� �� ��������� ��������

��� �������� �� ���� � �������� ���� ����� ����

�������� �� ��� 8B9

���� � � � ��� � � � C�2����3

/

�2�� /�2

� &� �(�2�� /�2�2��2

� �.E0

, ���� &������� �� �� ������� ���� ��������� �������� ��

����������� �� �� ����� � ��� �� ���� � �� ����

���� ������ ��� ����� �� �������� �� �������� �� ����

�� ���� $� ��������� ��� &������� �������

� ������� ����� �� �����������

*�� ��������� ��������� ����� � � ����������� ��;

����� ����� $� � �������� �� ��� � >��� E� �� ������

�������� �� �������� -������ I13/�

>��� /� +������� � �� �����������

>��� 2� �����;����� � �� �����

��$� /

6=+�+ ������ ������

������ ������ ����������� ��������

�������� �� ���� �� ���� ���������

��$� 2

6=+�+ �� ���� ���������

�������� ����!�� .��0 / /�1 E 1

����� �� ���� ��� .�0 3�1 /�1 2 1

�- ������� �� ��- . ������� ��� /�������� � 01 23!!�4 �! 5�!6 E31

�� ���� ��M �� / ��� / ��� ��� ��M� � �����;�� �� �����D 1� /3 �� 21 ��� ��� ����� �������� �������� �� ������� �)*+ �������D � � �;

���� ������ � � � ��� ���� � ������ +�*2 �� �����;

��� �� �������� �� 3�1 �� � �������� �� ������� ������ �� ������� �� ������� .>��� B0� 6� �� �

��� ����� E �� � ��������� +���� �� �������

������ ���� � ���� �� ��#��� �������� ����!��� (� ��

�� ��� � 21 ��2 ����� ��� ��� ����� � �� ��� ��M�

�� ����� �� $��� � � ��&� ��$����� �� ������

��� � ����?� ��� �� .>��� 10�

� ��������� �������

�� ���� �� ������ �� � ���������� ���� �� �����

�� ��������� �������� ��� � �%��� ���������( ���

���� �� ��! �� � �%��� ���� �� / !�M $���� �

�������� �������� �������������� ��� � ���� �� ������;

��� �� ���$� �� ���� �%��� �� �� ����� �� �������

.>��� J0�

�� $���� ��� ���������� �� � ="111 � ����$� ����;

���� �� �%��� ������ .#0 �� �� ������ �����������

�� �� ��������� ����� �� ������ �%��� � �� �����;

����� �� �� ������ � � ������ $� 3 �� 1 5 .>��� I0�

� �����������

�-�- *�7���,����� 7���������

"&������ �� �� �������� �� � � ��������D

� +����� ��������D ��� �������� �� �� � ��������� ����$�� $� 21 �� 13�� �� $� E3�� G3F <��

>��� E� +��� ��� ����������� ��������

>��� B� 6 21 �� ������ ���� �����

>��� 1� ���� $��� � ��$������

>��� J� <�� ����������� .�0 �� �����& ����������� .� 0�

>��� I� )������ ��������

E3J �- ������� �� ��- . ������� ��� /�������� � 01 23!!�4 �! 5�!6

� ������ ��������D ��� �� �� � ��� ��������� $������ ����

�-3- ������ ,������,����

�-3-�- #���� �������

>�� �� ������ �������� � � �� ������� ��������

����� �� � ���� ������ ��������� �� ����� ��

../H�0.����<�� � 2I�0 .>��� C0� ( ��� ��$����� �������� �� $���� .>��� G0� �� ��������� �������� �� �

��� �� .N/3F0� ���� ���� ���� $ ��� ��! ���� ��

�� ����?� ����������� ,� �� ������ �� ����� ��

�������� ���������� �� &���� $� ���� ��� �� ����

��� ��� 6� �� �� �%���� �� ����� �� ����� ����

���� �� $ ������ ����� $� ������� �� ������

���� ����!��� (��� �� ��� � ������ ���� ����!��

�� ������� ��� �� ��������� �� ���� �������� ����� �

����� ��� $ ������ �����

�-3-3- �8������ �8 ���9��: �� ����������%

"&������� ������ �� ���� ����� �� ������ �

��$� E� ������ ����� � �������� ����� �'���

����������

6� ������ � >��� /3� �� �������� ����� �� %���

���� �� �;���� ��������� ��� � �������� ���������

.�/��������<��0 � �$��� 2IF� >�� ���� ������ ��

>��� C� 6� ������� ���� ��������� ��� �������� � �������

>��� G� 6� ������� ���� ��������� � $������ ����

��$� E

+��� �������� ��������� �� �� �� ���� <�

+��� ����!�� .��0 �/��3������<�� .3F N <� N I3F0 .F0 �/��3������<�� .I3F N <� N G3F0 .F0

6� ������� 2�1 2I 2I

G3 � ���� 3�J1 EC IEE

>��� /3� 6� ������� �� ���� ����� ��������� ����� ���������

�- ������� �� ��- . ������� ��� /�������� � 01 23!!�4 �! 5�!6 E3I

������� �� ��� ������� �� <� $�� I3F� �� � ����

������ ��������� ���� �� �$����� �� �������� �;

�������� �� ����� �� � G3 � ���� ���� .�� �� /C3 ��

IE3F �� ���� ��������0� ���� �� ���$�$�� �� �� ���

�������� �� �� ���� ��� ���

�-3-�- �8������ �8 ��,7�������

�� �������� �'�� � ��������� ��� $ ������

��� 21�� �� �� 13��� 6 ���� � ���� �����

��� �������� �� ��� �$���� �� �������� ���� ����

.<� �$�� I3F0� �� ������ �� ��������� � ��$� B� 6�

������� ?��� �� ���� ��� ���$� �� �������� ���

���� ��� ���� ��������� ������ ��� 21F �� ��

133F ��� �� ����� ����� C13F �� G3 � ���� ������

)�� ��� ���� �������� ��������� �� ��� ��� �����

�� �� ������� ���� ./�3BFH��0 ��� �� G3 � �������� .3�EJFH��0 .��$� 10������ � $������ ���� �������� ����� �� �$���

23��� ,� ���� � ��������� ���� ����� � 23F �� � �;���� ���� ������� �� IF �� � ���� �����

�-�- (%��,�� ,������,����

(��� �� ��� � �������� ����� ��� � ��� ������

��� ��� $ ��$����� �� $����� ������� ����� �����

�� ������ � >��� //� �� ������� ��������� �� $����

������ <����� �������� � ��������� �� I �� BEF�

���������� �� � �� ������� �� � J3 � ���� ����� >��

�� ������� ����� ����� ��� �� �$��� / �� >�� ����

����� ����� ��� �� ��� ��� / � � �$������� �� /1 �

� ���������

! "���������

�� ������ � ������� ������ � � ��������� ���;

���� 8I9D

� ������� ��������� �� �����������D ����������� � ��� ������� �� ��� ��� �� �����&���� ,�O� ��

������ �������

� �������� ��������� �� ������������D ��!� ���� � ����� � �� ��� �� ���� $� �������$� �����&���� ,

�� ���� ��������$� ��� ����� �� ������� �� ���$�

������ $��� �� � � ��� �� �����&���� , �� ����

������ �� ������ �� ����� ������ $���� 6� ����

��$� B

�������� � ��� � ���������

+��� �/��3������<�� .<� P I3F0 .F021�� B3�� 13��

6� ������� 2I 2C3 133

G3 � ���� IEE CBJ C1J

��$� 1

+��� �������� ��������� �� ���� <�

+��� .G3F <�0 �/��������<�� .FH��06� ������� /�3B

E3 � ���� 3�BC

G3 � ���� 3�EJ

>��� //� 6� ������� �� J3 � ���� ���� � $������ ����

>��� /2� 6� ������� �������� .//�333�0�

>��� /E� �������� ���� ����� /E1 � .//�333�0�

E3C �- ������� �� ��- . ������� ��� /�������� � 01 23!!�4 �! 5�!6

�������� ��� .P B3F <�0� ��%��� ��� ����� � ��

���� �� ���������� �������� ��!� ���� � �������

�� �� �E*� �������� � �$���$� ����� �� �����

������� ����� ��� �������� �� �� �� ���������

������

�� �� �� $� �� ��������� �� � ��������

������� �� � ���� �� I3F <� ����� $ &����� $�

�� ������ ��������� ����D

� ������� ���������D �� ������� �������� ���� ��<� � I3F�

� �������� ���������D ���� �������� ���� ��

<� � I3F�

���� ��������� �� ��?��� $� �� ���� ��������

$������� �� ���� ��������D ��������� �� ��� ��������

� �������� ������ �� � �� ������� ���� ���

�� � ���� ���� .23F ������� �� IF0�

( ��� �$���� �� ���� ��� �� $� ����� �����

���������� ( �� � ���� �� ���� ������� ��

������ $� ����� ��� .>���� /2 �� /E0� �� ����

������� ������ �� �������� �������� �� �� ��� �

�� ������ �����

, ������ �� ��������� �������� �� ��� ��������

�� ���� ������ ����� ���� �� ����� ��� �� �$���

133 �� � �$�������� �� �������� �� �� � � �

����D

� ����� ��� �� �� ��� � �� ������ ���� ����;���� .�$��� � �� /1 �0�

� �������� � �� ��� ������ ���� �� ������������ .133 ��0�

( ��� ������� ��� &������� ������ ��� ���

����� >�� � �� ���� �� ?��� ( � 1� /3�/E �2H�� �$��� ������ ������� ����� .>��� /B0�

+����� �� � ������� �� ������ �������� ��

�������� ��� � ���� �������� 4�� �� �� ���������

�� ��� ���� � �������� ����� ����� $�

E� /3�/E �� J�G� /3�/E �2H� �� ������ ���������8B9� ( �� �� ���� ��� ���� �� ������ � ����

����

# $��� �����

( ��� ������ � �������� ���� �� � ��������

����� ���������� ����������� �� ���� ����� � �

����������� ������� ����� $� � �������� ���������

�� ��������� �� �� ������� ���� �� ��� �! � ��

��� �������� � ��� +� �� ������ ���� ��� $ ������

����� >�� � G3 � ���� ����� �� ��������� �� %��� ��

B3F �� �� �������� .$�� I3F <�0 �� �� �� I33F ��

���� �������� .$� I3 �� G3F<�0� �� ����� ���

�� �� �$������� ���� �� �$��� 133 ��� �������� ��;

��� � �� ���� �������� ����� ����� ����� $ ��

��������� �� ���� ���� ���$�� �� �� ��! �����

�������� ����� � $������ ��� � ���� ��� $

������ � �� �����

%���������

8/9 6�>��� �� ����� � ���� )�������� )��������� �� ��������

>����� ���������� �� �*�� �� 6����� ������ +����� +����

+��� �������� � ������� ������ "� 4���� �<6>� 4);+�;G1/2�

)�� /GGI�

829 �� 4��������� � ���� ���� ��������� �)*+ �������� ����� ��� �;

���� �$����� ��������� ������� ������ +�� 6�������� 4

/1H/J ./GGE0 I1AC3�

8E9 �� +��$���� � ���� 6 ������� �������� ���� � �������� ��� ������

�������� ����� ,""" ����� ,������ )����� B1 ./GGJ0 1JBA1JG�

8B9 ���� ���� � ���� )������ �� ���� � �������� ���� � �������

��������� �� "������ )���� /B ./GC10 //GA/EJ�

819 ����� � � ����! ��� ���$ .�� ���� 6�����0� 6=+�+

5�� ������ )����� 5) /JB�

8J9 �� ���!� �� )��������� � �� ����� 2� "������ *& ���

-������� ����� ���$����� /GI1� ��� BGA1E�

8I9 ��:� >���� � ���� <���$����� �� ��������$����� � ������ ������ ����

,,,� �������� ������ 6�� ����� +��� 4���� I2HIE ./GGE0 //GA/E3�

&����������

������� ������� �$���� �� )�QR���� .:��������0 � "�������� "�����

.:�� "�����%� � , ������%� ,��������0 � /GGJ �� �� �����R�

�O"���� 6���� ���� .)����0 � ,���������� �� )�������

��� �� -������� � 4�����& , � /GGI� +� �� ��!�� ��� E ���� ��

�� ��$������� �O,�������� �� ��������� � +���S�� "������%��

.,@�0 �� �� ��� ����� � "��������� �� ������ �� ����� �

�������� ����� �� � ������ �����������

;��� <��� (������:� �� �������� ��� �� �������� � 4�����&�

>���� � /GG1� �� � #��� �� ,@� ������������ ��$������� � ����

-������� �� ��! � � ���������$��� ����$����� ������ �������O� �

��������� ��� +*�"��<*= ������� � �� ������� ������� ��

��� ���� ��� ������ ������ ���� �� ����$����� � +)� ����$���

��� ������� ��������� ��������

������ =����� �� � ������� �� �� TT,������ �O"������%� >����;

���OO � �� -������� ����� @,;*���� ��� /GC2 �� /GGE� �� � ���

������ �� �������� � ��� ��� $� �� $�� ��������� � #��� ��

,@� ��$������� � )������������ �� ��� ��� ���� � /GGE� ��� ��!�

�� � ������ � ������������� �� �� ������� � �����;

������� � �� ������ � �� �� ��������D �������� � ����$��

��������� ����$����� � ������������ ���������� �� ������

������������

>��� /B� J3 � ���� �������� ���� ������

�- ������� �� ��- . ������� ��� /�������� � 01 23!!�4 �! 5�!6 E3G

Recommended