1. Technische Gebudeausrstung Building Services Name / 18.03.2004 Raumautomation - RaumfunktionSeite 1 / 40 years of cleanroom technology: some historical remarks Hans H. Schicht, CH-8126 Zumikon 1. The beginnings 2. International symposia and ICCCS 3. A quantum leap forward 4. Standards and regulatory compendia 5. Conquering the world 6. Cleanrooms their impact upon society 7. The future

2. Technische Gebudeausrstung Building Services Name / 18.03.2004 Raumautomation - RaumfunktionSeite 2 / The pioneer of unidirectional airflow: Willis J. Whitfield 3. Technische Gebudeausrstung Building Services Name / 18.03.2004 Raumautomation - RaumfunktionSeite 3 / Earliest air filter technology (Copyright: Luwa AG / Mc Leod Russel Filter Ltd., CH-8610 Uster) 1939 Production of gas filters for the Swiss Army 4. Technische Gebudeausrstung Building Services Name / 18.03.2004 Raumautomation - RaumfunktionSeite 4 / Whitfield clean work station, built in 1962 (Courtesy: The Cleanroom Monitor, edited by the Scottish Society for Contamination Control) 5. Technische Gebudeausrstung Building Services Name / 18.03.2004 Raumautomation - RaumfunktionSeite 5 / 1973 operating theatre for orthopedic surgery with horizontal unidirectional airflow 6. Technische Gebudeausrstung Building Services Name / 18.03.2004 Raumautomation - RaumfunktionSeite 6 / A pioneering cleanroom application: Hip joint replacement in a Meierhans operating cabin 7. Technische Gebudeausrstung Building Services Name / 18.03.2004 Raumautomation - RaumfunktionSeite 7 / Early containment concept for veterinary virology (E. Hovgaard Jensen in: Proc. 2nd Int. Sympos. Contam. Control, London, 23-26 Sept. 1974, p. 41- 43) 8. Technische Gebudeausrstung Building Services Name / 18.03.2004 Raumautomation - RaumfunktionSeite 8 / 1st Int. Sympos. Contamination Control, Zrich, 18-20 Oct. 1972: Title page of the Proceedings 9. Technische Gebudeausrstung Building Services Name / 18.03.2004 Raumautomation - RaumfunktionSeite 9 / 5th Int. Sympos. Contamination Control, Munich, 15-17 Sept. 1980: Title page of the Proceedings 10. Technische Gebudeausrstung Building Services Name / 18.03.2004 Raumautomation - RaumfunktionSeite 10 / Semiconductor fabs in 1990 huge air circulation machines (P.G. Luscuere in: Swiss Contamination Control 3 (1990) 4a, p. 169-171) 11. Technische Gebudeausrstung Building Services Name / 18.03.2004 Raumautomation - RaumfunktionSeite 11 / Minienvironments in a semiconductor fab (Copyright: Zellweger Luwa AG, CH-8610 Uster) 12. Technische Gebudeausrstung Building Services Name / 18.03.2004 Raumautomation - RaumfunktionSeite 12 / A SMIF box in a semiconductor fab (Copyright: M + W Zander GmbH, D-70499 Stuttgart) 13. Technische Gebudeausrstung Building Services Name / 18.03.2004 Raumautomation - RaumfunktionSeite 13 / 1995: Isolator protected ampoule filling machine (Copyright: Cilag AG, CH-8201 Schaffhausen) 14. Technische Gebudeausrstung Building Services Name / 18.03.2004 Raumautomation - RaumfunktionSeite 14 / An early isolator for hospital applications (B. Saint Martin in: Proc. 1st Sympos. Contam. Control, Zrich, 18-20 October 1972, p. 122-124) 15. Technische Gebudeausrstung Building Services Name / 18.03.2004 Raumautomation - RaumfunktionSeite 15 / CEN/TC 243 meeting at AFNOR, Paris, 8 Oct. 1993 16. Technische Gebudeausrstung Building Services Name / 18.03.2004 Raumautomation - RaumfunktionSeite 16 / The impact of cleanroom technology upon society Market estimate for cleanrooms and cleanroom products 2001 [in brackets: 2006]: USD 8 billion [USD11 billion] Market volume of products manufactured in cleanrooms: more than USD 1 000 billion Persons working in cleanrooms: USA: 500 000 persons World: 2 000 000 persons 17. Technische Gebudeausrstung Building Services Name / 18.03.2004 Raumautomation - RaumfunktionSeite 17 / Packaging of sliced meat loaf (Copyright: Migros Genossenschafts-Bund, CH- 8005 Zrich and Zellweger Luwa AG, CH-8610 Uster)