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Vacuum systems
Vacuum vessel Pumps Piping
Vacuum Gauges Valves, Traps …
un minimo di Fisica …
un minimo di Matematica …
Vacuum systems
Vacuum vessel Pressure/Volume
P * V
Pump Pumping speed
S = dV/dt Flux-out Q = P * S
Particle conservation: dN/dt [*kT] = Qin -Qout
Pumping equation: -V dP/dt = P*S - Qo
Walls Outgassing Flux-in Qo
Vacuum systems
Piping
Walls Outgassing
At equilibrium: P = Qo / S no outgassing => P 0 but … how much time ?
Pressure at pump is not vessel pressure
Which mechanisms ? Could be controlled ?
-V dP/dt = SP P= Po exp (- S/V t)
-V dP/dt = SP – Q
P = Q/S *
[ 1 - exp(- S/V t) ] + Po exp (- S/V t)
La velocità di pompaggio S
è una conduttanza …
Velocità di pompaggio
effettiva Seff = 1 /
[ 1/S + 1/Ctot ]
Flux sources (Losses) QIN
Outgassing
Leakage Inlet …
QIN = Σ Qi
plasma
un minimo di Tecnologia …
in laboratorio …
Misura di curve di pompaggio
Misure di Spettrometria
di massa
- Misura di conduttanze in regime viscoso - Misura della pressione limite e del tasso di degasaggio
- Composizione del vuoto alla pressione limite - Ricerca di una fuga
