48
8. Semicondutores 8.1 - Historia e propriedades básicas 8.2 - Éxcitons 8.3 – Estatística de portadores em semicondutores intrínsecos 8.4 – Doadores e aceitadores 8.5 – Junções p-n e outros dispositivos 8.6 – Crescimento epitaxial, heteroestruturas, engenharia de gap

Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

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Page 1: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

8. Semicondutores

8.1 - Historia e propriedades básicas

8.2 - Éxcitons

8.3 – Estatística de portadores em semicondutores intrínsecos

8.4 – Doadores e aceitadores

8.5 – Junções p-n e outros dispositivos

8.6 – Crescimento epitaxial, heteroestruturas, engenharia de gap

Page 2: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

“One shouldn’t work on semiconductors, that is a filthy mess; who knows whether any

semiconductors exist!”

(Wolfgang Pauli, 1931)

Física Aplicada(exemplo: chip)

Prêmio Nobel (2000)

Física Fundamental(exemplo: metrologia)

Efeito Hall Quântico: Prêmio Nobel (1985)

02000.0988035.1372

1 ==−

e

hc

Page 3: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

Desenvolvimentos Históricos

-1731 – Stephen Gray: Condução de eletricidade em sólidos e líquidos

-1782 – Alessandro Volta: “Materiais de natureza semicondutora”

Volta (1745-1827)

Pilha de Volta

Page 4: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

-1851 – J. W. Hittorf:Medida de vs. T em Cu2S e Ag2S

1000/T

Tce /

0

−=

Condutividade

-1821 – Humphry Davy: “Poder de condução” dos metais diminui com o aumento da temperatura

Davy (1778-1829)

-1833 – Michael Faraday: Comportamento oposto ao de metais em diversos compostos

Faraday (1791-1867)

Page 5: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

Força magnética em portadores positivos

Sentido da corrente convencional

Efeito Hall para portadores de carga positivos

Força elétrica devido ao acúmulo de cargas

Campo magnético

-1879 – Edwin Hall: Efeito Hall. Quem são os portadores?

B para dentro, I para cima

BvF = qm

Força de Lorentz

-1897 – J. J. Thomson: Descoberta do elétron

Thomson (1856-1940)

Page 6: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

-1899-1900 – Riecke e Drude: Modelo de condução eletrônica por metais

Drude (1863-1906)

m

neD

2

=Modelo de Drude

-1906 – Koenigsberger: Teoria de “dissociação”. Elétrons se dissociariam dos íons para participar na condução

TQenn /

0

−=

-1924 – Gudden: Comportamento não reprodutível seria devido à presença não controlada de impurezas

Exemplo: Cu2O 1000/T

Page 7: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

-1928 – Felix Bloch: Equação de Schrödinger em um potencial periódico

Teorema de Bloch: )()( rr k

rk

k n

i

n ue =

-1931 – Alan Wilson: Teoria de bandas para semicondutores “intrínsecos” e “extrínsecos”. Impurezas doadoras e aceitadoras

- Década de 40: Estudo em silício e germânio, melhores amostras

-1926 – Mecânica quântica: Equação de Schrödinger

Schrödinger (1887-1961)

)()()(2

22

rrr EVm

h=

+

Page 8: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

- 23/12/1947 – Bardeen, Shockley e Brattain: Descoberta do transistor

Bardeen (1908-1991)

Shockley (1910-1989)

Brattain (1902-1987)

Deu no New York Times: “A device called a transistor,

which has several applications in radio where a vacuum tube

ordinarily is employed, was demonstrated for the first time

yesterday at Bell Telephone Laboratories, 463 West Street, where

it was invented.”

Prêmio Nobel em 1956

O primeiro transistor

- 1954 – Bell Labs – Invenção da célula solar de silício

Page 9: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

- 1958 – Joyce e Kilby – Invenção do circuito integrado

Prêmio Nobel em 2000

Page 10: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

- 1965 – Lei de Moore: miniaturização

Page 11: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

- 1958 – Leo Esaki – Aplicação do tunelamento quântico: invenção do diodo-túnel

Prêmio Nobel em 1973

Esaki (1925- )

- 1963 – Alferov e Kroemer – Proposta do laser de heteroestruturas semicondutoras, construído em 1969 por Alferov

Prêmio Nobel em 2000

Laser azul de InGaN (1998)

- Década de 70 – Crescimento epitaxial e “engenharia de gap”

Page 12: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

- 1980 – Klaus von Klitzing – Efeito Hall Quântico

Prêmio Nobel em 1985

2

2

ie

hRH =

- 1982-83 – Störmer, Tsui e Laughlin – Efeito Hall Quânticofracionário

Prêmio Nobel em 1998

Page 13: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

Propriedades BásicasEstrutura Cristalina

Estruturas do diamante e zincblende:Rede fcc + base de 2 átomos

Cristal a(Å)

C 3,57

Si 5,43

Ge 5,66

Cristal a(Å)

GaP 5,45

GaAs 5,65

InP 5,87

InAs 6,04

SiC 4,35

Page 14: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

Hibridização sp3 e ligações covalentes

http://www.sst.nrel.gov/research/cdn.html

Semicondutores heteropolares: ligações parcialmente iônicas e parcialmente covalentes

Exemplo: SiC

Cristal Ionicidade

Si 0,00

SiC 0,18

GaAs 0,31

NaCl 0,94

Coesão Cristalina

Page 15: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

1a Zona de Brillouin da rede fcc

Cálculos de estrutura de bandas

Gap diretoGap indireto

Bandas de energia

Page 16: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

Propriedades elétricas

Resi

stiv

idade a

T a

mbie

nte

(.c

m)

10

-61

0-3

10

91

02

2

Meta

isSem

iconduto

res

Isola

nte

s

Ge, com diferentes concentrações de impurezas

Page 17: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

m

neD

2

=Modelo de Drude

e-

Elétron sofre colisões

E

• n: densidade eletrônica

• : tempo de relaxação

• m: massa do elétron

Qual a densidade eletrônica?

• Sódio tem 11 elétrons por átomo, mas apenas 1 parece participar da condução: apenas elétrons de valência contribuem?

• Silício tem 4 elétrons de valência, mas condutividade menor que a do sódio

Bandas totalmente ocupadas não contribuem para a condução

Page 18: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

Semicondutores intrínsecos (puros)

f()

1

elétrons

buracos

Distribuição de Fermi-Dirac

TkE BgeTn2

)(−

Cristal Eg (eV)

Si 1,17

Ge 0,744

GaAs 1,52

Para Eg ~ 1 eV, T = Eg/2kB ~ 6000 K

Page 19: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

Qual a massa do elétron?

• Modelo de Drude assume elétron livre, ignora potencial cristalino

• Em Mecânica Quântica, um elétron livre (onda plana) teria energia

• Elétrons no fundo da banda de condução e buracos no topo da banda de valência têm relação de dispersão aproximadamente parabólica

m

kh

2

22

Page 20: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

Semicondutores intrínsecos (puros)

f()

1

Distribuição de Fermi-Dirac

TkE BgeTn2

)(−

Cristal Eg (eV)

Si 1,17

Ge 0.744

GaAs 1,52

Para Eg ~ 1 eV, T = Eg/2kB ~ 6000 K

elétrons

buracos

Page 21: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

Qual a massa do elétron?

• Modelo de Drude assume elétron livre, ignora potencial cristalino

• Em Mecânica Quântica, um elétron livre (onda plana) teria energia

• Elétrons no fundo da banda de condução e buracos no topo da banda de valência têm relação de dispersão aproximadamente parabólica

m

kh

2

22

m

kh

2

22

m* => massa efetiva

• Efeito do potencial efetivo é “alterar a massa” do elétron: elétron responderia aos campos externos como se tivesse uma massa m*

(aproximação de massa efetiva)Cristal m*/m

(elétron)

InSb 0,015

GaAs 0,066

InP 0,073

Page 22: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

Propriedades óticas

Semicondutores podem ter gap direto ou indireto

k

E

Gap direto

k

E

Gap indireto

Ex.: Si, Ge, AlAsEx.: GaAs, InAs, InP

Absorção de luz

h

• Se h < Eg: não há

absorção (transparência!)

• Se h > Eg: há absorção

(criação de par e-b)

Eg

GaAs

BV

BC

BV

BC

Page 23: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

• Conservação do momento cristalino: kfóton = kelétron

• Tipicamente, h = 1 eV => kfóton = 106 m-1

• Dimensões da 1a ZB ~ 1/a => kZB ~ 1010 m-1

Transição vertical

Gap indireto

E0

Egabsorção

emissão

Transição indireta pode se dar (com menor probabilidade) através da absorção ou emissão de um fônon

EMISSÃO DE LUZ GAP DIRETO

h

E0Eg

Page 24: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

O que são estes picos no coeficiente de absorção???

ÉXCITONS

• Eg é energia para formar

elétron e buraco “descorrelacionados”

• Par e-b pode se ligar por atração eletrostática: ÉXCITON

Eexc

Energia de ligação do éxciton

Como calcular?

8.2 - Éxcitons

Page 25: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

(A) Éxcitons de Mott-Wannier (éxcitons estendidos)

• Elétron e buraco interagem através de potencial coulombiano

r

erU

2

)( −= → constante dielétrica do material

Lembrando do átomo de hidrogênio eVnhn

meEn 22

4 6,13

2−=−=

Para o éxciton: m → (massa reduzida); e2 → e2 /

+=

be mm

111

eVnm

Eexc

n 22

6,131−=

Valores típicos: ~ 10, /m ~ 0,1-1,0

Eexc ~ 0,01-0,1 eV

Page 26: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

(B) Éxcitons de Frenkel (éxcitons localizados)

• Excitação localizada no átomo (cristais orgânicos, cristais moleculares, gases nobres e halonegetos alcalinos)

Eexc ~ 1 eV

Page 27: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

Éxcitons em sistemas de baixa dimensionalidade (1D ou 2D)

• Éxcitons estendidos (Mott-Wannier), porém com altas energias de ligação

Page 28: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

8.3 – Estatística de portadores em semicondutores intrínsecos

(Cálculo da densidade de elétrons e buracos como função da temperatura, no quadro negro)

=

Tk

ETkmTn

B

cBe

exp

22)(

2/3

2

=

Tk

ETkmTp

B

vBb

exp

22)(

2/3

2

Ec

Ev

μ

( )

=

Tk

Emm

Tknp

B

g

beB exp

24

23

3

2 “Lei de Ação das Massas”

Page 29: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

Para semicondutores intrínsecos:

( ) ( )

===

Tk

Emm

Tknppn

B

g

beB

2exp

22

43

2/3

2

2/1

++=

e

bBgv

m

mTkEET ln

4

3

2

1)(

Cristal Eg (eV)

Si 1,17

Ge 0,744

GaAs 1,52

Page 30: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

8.4 – Doadores e aceitadores• Para semicondutores puros, n ~ exp (-Eg/2kBT)

• Se Eg ~ 1 eV, a T ambiente temos exp (-Eg/2kBT) ~ e-20 ~

10-9: semicondutores intrínsecos têm condutividade

muito baixa a T ambiente

• Pode-se aumentar drasticamente por impurezas

(“dopagem”)

• Exemplo: 1 B para 105 Si aumenta por um fator de

1000!

Page 31: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

Ge dopado com Sb

Page 32: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

Impurezas doadoras e aceitadoras

Doadores: por exemplo, átomo do grupo V em um cristal do grupo IV => 1 elétron a mais

Si

Si

Si

Si

Si Si

Si

Si

Si

Si

+As

e-

Aceitadores: por exemplo, átomo do grupo III em um cristal do grupo IV => 1 elétron a menos (1 buraco a mais)

Si

Si

Si

Si

Si Si

Si

Si

Si

Si

-B

b+

Page 33: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

Energia de ligação: modelo hidrogenóide

Energia de ligação (meV)

(doadores)

P As Sb Teoria

Si 45 49 39 30

Ge 12,0 12,7 9,6 9,1

• Novamente, átomo de hidrogênio:

• m → m* ; e2 → e2/

eV 6,132 2

4

−=−=

meE

eV) 6,13(*2m

mElig −=

BV

BCED

Torna-se muito mais fácil ionizar termicamente as impurezas e preencher com elétrons a BC ou com buracos a BV

• Impurezas doadoras: material tipo-n, condutividade devido aos elétrons

• Impurezas aceitadoras: material tipo-p, condutividade devido aos buracos

EA

Page 34: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

“Raio de Bohr” do estado de impureza

• Hidrogênio: 𝑎0 =ℏ2

𝑚𝑒2≈ 0,53 Å

• Novamente, m → m* ; e2 → e2/ 𝑎 ∗= 𝜀𝑚

𝑚 ∗≈ 50 − 100 Å

Impureza doadora em GaAs: cálculo tight-binding com 106

átomos

Page 35: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

8.5 – Junções p-n e outros dispositivos

Junção pn

Polarização direta

Polarização reversa

z

V

V0

camada de depleção

(10-1000 nm)

V+

z

V

barreira menor, corrente alta

z

V

V-

barreira maior, corrente baixa

(cálculo detalhado de I(V) no quadro-negro)

Page 36: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

Curva I-V Junção pn pode ser usada como diodo (retificador de corrente)

Page 37: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

LED (light-emitting diode)

Diodo formado por materiais de gap direto, operando em polarização direta

+-

luz

• Cor da luz depende da energia do gap: GaP, GaAsP, GaN, etc

• Infravermelho (telecomunicações em 1,55 m): InGaAsP

Page 38: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

Laser de Semicondutor

Estrutura básica do diodo, com maior dopagem e cavidade ótica

Laser de homojunção

Laser de heteroestruturas

Page 39: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

Células solares

Transformação de luz em corrente elétrica pela criação de par elétron-buraco na camada de depleção => gera corrente reversa

luz

I

Silício, silício amorfo, GaAs, CdS, polímeros

Page 40: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited
Page 41: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

MOSFET (metal-oxide-semiconductor field-effect transistor)

pn n

Fonte DrenoPorta

óxido

canal

IFD

VFD

VP

Curva I-V

contatos metálicos

Page 42: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited
Page 43: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited
Page 44: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

8.6 – Crescimento epitaxial, heteroestruturas, engenharia de gap

Combinando materiais: ligas

Page 45: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited
Page 46: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

Crescimento epitaxial

MBE (molecular beam epitaxy)

MOCVD (metalorganicchemical vapor deposition)

Page 47: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

Heteroestruturas: poços quânticos e super-redes

Confinamento quântico em duas dimensões

AlAs AlAsGaAs

direção do crescimento

BV

BC

Eg (AlAs) Eg (GaAs)

GaAs/InGaAs/GaAs

BC

BV

Super-rede: periodicidade artificial

Poço quântico

Page 48: Oxygen Diffusion in Silicon Revisited

Heteroestruturas: pontos quânticos

• Confinamento quântico em 0 dimensões

• Alguns pontos quânticos são auto-formados (InAs em GaAs)

GaAs

InAs