Upload
mouchak12
View
217
Download
0
Embed Size (px)
Citation preview
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
1/240
THSEPour obtenir le grade de
DOCTEUR DE LUNIVERSIT DE GRENOBLESpcialit: Physique de la Matire Condense et du Rayonnement
Arrt ministriel : 7 aot 2006
Prsente par
Rmi DAUDIN
Thse dirige par Gilles RENAUD et Alain PASTURELcodirige par Tobias SCHLLI
prpare au sein du CEA Grenoble - Service de Physiquedes Matriaux et des Microstructuresdans l'cole Doctorale de Physique de Grenoble
Formation and supercooling ofAuSi eutectic droplets on Si
substrates: an in-situstudy usingsynchrotron radiation
Thse soutenue publiquement le 10 Fvrier 2012devant le jury compos de :
M. Jean-Marie DuboisDirecteur de Recherche CNRS, IJL Ecole des Mines, Nancy, PrsidentM. A. Lindsay GreerProfesseur, University of Cambridge, MSM, Cambridge, Rapporteur
M. Harald ReichertDocteur, Max Planck Institut, Stuttgart, Rapporteur
M. Yves GarreauProfesseur, Universit Paris-Diderot, LMPQ, Paris-7, Examinateur
M. Jol ChevrierProfesseur, Universit Joseph Fourier, Grenoble, ExaminateurM. Gilles RenaudDocteur, CEA Grenoble, SP2M, Directeur de thse
M. Alain PasturelDirecteur de Recherche CNRS, SIMaP, Grenoble, Directeur de thseM. Tobias SchlliDocteur, Responsable scientifique ligne ID01, European SynchrotronRadiation Facility, Grenoble, Co-Directeur de thse
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
2/240
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
3/240
Merci !
Thse : Travail prsent sous forme douvrage exposant une recherche scientifique
originale est ses rsultats dans un tablissement suprieur habilit, soumis soutenance
publique devant un jury pour lobtention du grade de docteur. (Source : Centre National de RessourcesTextuelles et Lexicales : www.cnrtl.fr/definition/these)
Loin de moi lide de porter le discrdit sur mes confrres de la linguistique mais cette
dfinition, bien qulgante et synthtique, nen est pas moins incomplte. En effet, cette
dernire ne dcrit quun tat final et administratif de ce quest rellement une thse, or mon
humble avis, une thse cest bien plus que cela.
Dans la thse, au dbut on signe un contrat, la fin on soutient ( normalement). Entre les
deux il se passe des trucs (Bref
). Ces trucs ont t pour ma part les campagnes dexpriences
synchrotron, les runions, les dpouillements des mesures, les vacances en Australie, linterprtation
des rsultats, les lectures darticles, les prparations de confrences, les pauses cafs, les
relectures darticles, les critures darticle, les rinterprtations des rsultats, les runions, les
prparations des TD dIUT, les nouvelles expriences pour confirmer la nouvelle interprtation
des rsultats, les dpouillements des nouvelles mesures, les pauses caf, les re-relectures des
articles, les vacances Nouma, les modifications dans lcriture de larticle conformment aux rsultatsdes nouvelles mesures, les vacances en Croatie, lencadrement de stages, les demandes de simulations
pour confirmer les expriences, les runions de prparation aux nouvelles expriences pour
rpondre aux questions souleves par les simulations, les pauses caf, les vacances en Slovaquie,
lcriture du dbut du manuscrit, le suivi des derniers cours pour obtenir tous ses crdits, la
rcriture de tout le dbut du manuscrit suite aux premires corrections, les vacances en Ecosse, les re-
re-relectures des mmes articles quon commence enfin comprendre vraiment, lcriture de la
thse, lcriture de la thse, les vacances, lcriture de la thse, lcriture de la thse, lcriture de la
thse [], la correction de la thse, la correction de la thse, la correction de la thse [], le
DEPOT de la thse, la fiesta, quelques 6 ou 7 rptitions de soutenance pour vacuer du discours
75% des heu, et piset autres et bin, et enfin la soutenance ! Et, sans crier gare, cestfini, avec mme des commentaires positifs sur le travail rendu !
Mais le plus mmorable de ces trois quatre annes, au-del mme du pot de thse, ce
sont surtout les personnes que lon ctoie, qui vous aident, et que je tiens remercier ici.
Tout dabord, je tiens remercier les membres du jury davoir pris le temps dexaminer
cette thse. Leur intrt pour ce travail a t une vraie rcompense aux efforts consentis.
Je tiens adresser un grand merci mes deux principaux encadrants: Gilles Renaud et
Tobias Schlli. Il est vident que cette thse naurait pas pu dbuter, se drouler ni aboutir sans
eux. Dbuter grce lobtention de la bourse de thse qui ntait pas du tout acquise, se
drouler grce la forme olympique de Tobias en manip synchrotron et aboutir grce au supercoaching de Gilles. En effet, le changement dencadrement au cours de la thse a t au final
bnfique de part leur complmentarit.
Je tiens ainsi remercier Tobias qui ma accueilli et form sur mon sujet de thse. Je le
remercie de son perptuel enthousiasme, de sa simplicit et de son nergie dbordante qui
sont lorigine dun travail intense mais dcontract. Il est nanmoins parfois difficile de le
suivre, que ce soit sur un vlo ou lorsquil se met rflchir en mode maillot jaune. Mme en
manip 5h du matin, alors que mon cerveau se mettait automatiquement en mode sans chec
avec une frquence douverture des paupires synchronise sur celle de lacquisition des scans,
celui de Tobias affichait encore allgrement 3i.s-1
(ides par secondes) ! Je le remercie davoir
partitionn son cortex et utilis la partie la moins rapide avec moi pour mviter de finir enqueue de grupetto.
Lors du dpart de sir Schlli pour des cieux plus clments (ou pas), cest donc Gilles qui a
su faire face la rcupration dun thsard en perdition !
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
4/240
Un grand merci lui, qui malgr un agenda dj bien fourni, a toujours t disponible
pour moi bien quil se soit souvent excuser de ne pas lavoir t plus. En plus de toute la
formation quil ma promulgu sur la manip, je tiens le remercier de mavoir coach sur
dautres aspects du mtier de chercheur : crire les comptes-rendus de manip, crire un article,
prsenter les rsultats, crire in-situ, ex-situ et ab-inito en italique, aller en confrences et
mme celles auxquelles je ntais pas inscrit, petite anecdote :
Gilles : - Hey Rmi, jai un oral une conf. Santorini, cest une petite le grecque des Cyclades
super jolie. La conf est sympa ya des activits tous les soirs, malheureusement je ne vais paspouvoir y aller car jai trop de boulot, a tennuierai de me remplacer ?
Moi : - Ecoute je vrifie mon agenda car je suis pas mal occup en mai (yeeeesssss !) [] ok bon
je pense que je vais russir marranger si a peut te dpanner
Merci infiniment pour les heures passes corriger cette thse, pour les encouragements, les
prcieux conseils, la disponibilit dans la dernire ligne droite pour prparer la soutenance.
Mes remerciements sadressent bien videmment Alain Pasturel, propuls directeur de
thse sans mnagement et grand manitou des simulations ralises dans ce travail. Toujours
enthousiaste la vue des rsultats exprimentaux, il a la courtoisie de ne jamais traiter les
exprimentateurs de fieffs ttus bien quil ne comprenne pas pourquoi lon sobstine faire
des expriences reintantes sur des instruments ultra-coteux alors quil peut faire la mme
chose avec un ordinateur (ou quelques dizaines de plateformes de calcul). Pour lui rien nest
impossible il suffit de charger en points k. Un grand merci lui ainsi qu toute lquipe qui
lentoure et qui font tout sa place Nol Jakse, Thomas Nogaret et Tuy Nguyen. Jespre
vivement que cette collaboration se prolongera dans le futur.
Ce travail rsulte aussi de lapport inestimable, scientifique ou non, de nombreuses
personnes du laboratoire. Merci Franois Rieutord, le chef NRS, pour son accord ma venue
au laboratoire. Merci Giovanni Davi et Christine Revenant pour leur pugnacit dans le
traitement des donnes GISAXS et Adrien Vaysset pour ces efforts concernant la
reconstruction de surface. Merci Odile, Pascal ainsi que Vincent le seul suivre rgulirement
les changements dadresse des imprimantes. Merci a Carmelo et Ccile du secrtariat qui ont
rsolu tous mes problmes administratifs en un tour de main.
Je noublie bien videmment pas le staff bas lESRF et particulirement Olivier
Geaymond, la technique, sans qui aucune des expriences naurait t possible. Pour les
missions Dbuggages / Cablages / Arrangeages / Rglages / Dmontages / Remontages / Jai-
ractualis-ton-badge / Limprimante-elle-est--ltage / et autres conseils dusage : Olivier
Ulrich himself, merci lui ! Je lui dois au moins 30 cafs ! Merci aussi lhomme assis dans le
fond de la salle de contrle qui code qui code qui code quand il na pas la tte dans son gonio :
Sbastien Micha toujours de bonne humeur et prompt la rigolade.
Un grand merci a Axel Maurice, mon tout premier esclave stagiaire, Auvergnat de
surcroits, avec qui le travail ainsi que les -cts ont t dexcellents moments (il a eu 18/20 !),
et merci pour les cours de LaTeX ! Je remercie de plus chaleureusement Tao Zhou (prononcez
Tao Tch) pour tous les dbuggages de mon ordi et son aide prcieuse sur le MEB. Il a appris le
franais en 2 mois et rflchit plus vite que son ordinateur pourtant configur pour grer en
mme temps 3 parties en rseau, les tlchargements et les lignes de commande dirigeant la
manip depuis son lit, impressionnant ! Merci de plus Nils et Valentina, post-docs arrivs lors de
ma 3eme
anne, toujours plein de conseils de sages et surtout dencouragements lors des
moments un peu difficiles de la rdaction et de la prparation de soutenance.
Enfin un grand merci Francesca (Madame tlou tlou !), ma co-bureau, qui a apport un
vent de fraicheur tout au long de cette thse. Son dbit de parole en italien au tlphone nadgal que les dcibels qui laccompagnent mais son ton enjou a gay pendant trois ans
lambiance monastique du C5 que seul le rire de Gilles venait parfois troubler.
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
5/240
La russite dune thse, ce nest pas seulement les copains du boulot mais aussi ceux
hors-boulot (quoi ? ya une vie en dehors de la thse ? bin sur les 30 premiers mois oui...)
Merci toute la troupe du GPM2 and co. que jai rencontr par le biais de ma dou :
Pinpin sur lequel il faudra un jour crire un livre (best-seller assur !), Laulau mon collgue de
rdaction, de discussions matos vlo et dinventions rvolutionnaires toutes dj tombes dans
le domaine publique, Malika qui ma tu lEkiden et qui participera cette anne son 30eme
Raid INP, Pierrot le M. Bretzel/Fischer et sponsor officiel de bons conseils pour grer sa fin de
thse, Bastien qui nous a forg un magnifique couteau, Bn qui supporte tant bien que malcette bande de thsard, Arthur hey mon ptit vient faire la Royale, cest facile ! , Hlne jamais
cours de bons plans charcute-fromage-pinard-bire, Djo dont lide rcurrente traversant son
esprit est il me faudrait une slack plus longue , Sbastien Gravier qui organise des barbeuks
seulement lorsquil pleut et qui utilise sont garage pour entreposer tout sauf sa voiture et
Charline notre piqueuse professionnel qui nous vaccine en mme temps quelle sert lapro.
Merci bien videmment aux anciens du gaz de la belle poque du 40 Foch et des
parties de coinche endiables qui mont soutenu pendant cette thse. Mon bon Copla et sa Julie
avec lesquels jai heureusement partag bien plus que leur 8 dmnagements (dont un frigo
king-size au 5eme
sans ascenseur), le vieux FlowD toujours chercher la petite bte, le Smon qui
a toujours la banane, la Nono qui nous a fait dcouvrir Edinburgh by night, le TomP cuisinier
hors pair et toujours fringant pour pousser la chansonnette, la Tina monte sur ressort et jamais
fatigue et oui je peux le dire maintenant : Cest super Saint-Sorlin dArves ! , merci pour tous
ces moments inoubliables ! Merci au Sbastien Gay mon voisin de table en CE1 venu
mencourager pour mon oral, merci au zikos connus au Mans (taime la rillette ? et bin
Sarthois !) Marko et Riton venus Grenoble rien que pour tre plus prs de moi de la Bobine !
Un norme merci ma famille, ma sur La (spcialiste du gteau de crme de marron)
et mon frre Benot ainsi que Seb et Marie qui mont soutenu jusquau bout, je penserai eux
emmitoufl dans ma doudoune de luxe ! Il est vident que rien de tout cela naurait pu se
concrtiser sans le soutien inbranlable de mes parents. Je les remercie infiniment pour leurs
encouragements inconditionnels dans tous les aspects de ma vie, je ne pourrais pas rver
mieux. Merci mon pre pour tous ses conseils lucides et aviss ainsi que pour le show lors
du pot ! Merci ma mre toujours aux petits soins et qui, lors de mes priodes dhyperactivit,
sinquite souvent que je ne tire pas trop sur la corde et qui je rponds inexorablement
tinquite mman ! .
Une mention spciale mon pote de toujours, Pyo, avec qui je partage tout depuis la
premire anne de maternelle ! Un soutient sans faille depuis tout ce temps, je le remercie de
sa zen-attitude toute preuve, avec lui rien nest un problme cest tout simplement que
cest a la vie ! Scandant son crdo cest cool ! qui veut lentendre, cest en grande
partie grce lui si jen suis l aujourdhui et ce sera encore le cas pendant longtemps !
Et enfin un merci avec une mention bien plus que spciale et venant du fond du cur
ma dou ! Passe par la case thse un an avant moi, elle a toujours su trouver les ressources
ncessaires et les mots pour me supporter et me rconforter lorsque le moral ntait pas au
beau fixe. Merci pour toutes ses petites attentions, ses bons petits plats (mme en rando !) et sa
tolrance envers mes trop nombreux tinquite, on en reprend une et on y va . Merci pour sa
motivation inaltrable et sa force de persuasion pour mentrainer dans des activits toujours
plus prilleuses ou simplement aller la dchetterie. Et surtout, merci davoir t le catalyseur
de notre futur projet; nos aventures de thse sont maintenant derrire nous alors que se
dressent dj devant les nouvelles et qui, jen suis certain, nous rservent bien des surprises !
Merci mes diffrents sponsors psychologiques : La Bobine, le Yassou, mon vlo, basketusa.com, ma
cafetire et le SAV dOmar et Fred.
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
6/240
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
7/240
Le luxe de demain sera la lenteur dans le silence
-Anonyme-
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
8/240
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
9/240
C o n t e n t s
F r e n c h S u m m a r y - R s u m d e l a t h s e e n F r a n a i s
I n t r o d u c t i o n x i
C h a p t e r I S t a t e o f t h e a r t
s F I x n o o d o n F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F I
s F I F I o E v d E o l d o F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F I
s F I F P w o l l f m i @ w f i A n d o m o d F F F F F F F F F F F P
s F P m E o n d o n d m l l F F F F F F F F F F F F F F F F F F R
s F P F I n d X l o n n d q m n m F F F F F F F F F F F F R
s F P F P g l X q o l d n d e l m n m F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F U
s F Q s n o n F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F V
s F Q F I d m F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F V
s F Q F P h o E n d d o n o n F F F F F F F F F F F F F F F F F F I H
s F Q F Q h n o n ( l m X o m o n o l n d F F F F F F F F F F F F F F F I I
s F Q F R n d o l o n o l d F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F I Q
s F R h o n o l d X E o l o n n o n F F F F F F F F F F I T
s F S v d E o l d n o n F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F I V
s F S F I o o l n X m o d n m n d l l m o d l F F F F F F F F F F F F I V
s F S F P f o n d l l m o d l X o d l o d F F F F F F F F F F F F P R
s F T l l d o X F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F P U
s F T F I m o d n m n d F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F P V
s F T F P o l d ( o n o l l o F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F Q I
s F U ( o n n n n n o o F F F F F F F F F F F F F F F F F F Q Q
s F U F I v d n m l l d m n o n F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F Q Q
s F U F P I n - s i t u g E n n o o F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F Q S
s F V v d o l o o n F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F Q V
s F V F I v d E o n X l n ' F F F F F F F F F F F F F F F F F Q V
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
10/240
s F V F P v d E o l d n F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F Q W
C h a p t e r I I M e t h o d s a n d e x p e r i m e n t a l s e t - u p
s s F I E n F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F R Q
s s F I F I E o n n n F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F R Q
s s F I F P f E d ' o n F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F R T
s s F P g z o n m o d F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F S H
s s F P F I q z n n d n E n @ q s A F F F F F F F F F F F F F F F F S H
s s F P F P E d ' o n @ h A F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F S R
s s F P F Q q z n n d n m l l n l E n @ q s e A F F F F F F F F S S
s s F Q i m n l E F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F S V
s s F Q F I n o o n n d f w Q P m l n F F F F F F F F F F F F F F F F F S V
s s F Q F P I n - s i t u g r o w t h o f N a n o s t r u c t u r e o n S u r f a c e @ s x A X m n l
F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F T H
s s F Q F Q g o o n o F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F T S
s s F R x m l m l o n F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F T U
C h a p t e r I I I G r o w t h o f A u o n S i ( 1 1 1 )
s s s F I q s e d o l o o m n F F F F F F F F F F F F F F F F F F F T W
s s s F I F I q o S U H u F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F T W
s s s F I F P h o n d n n l n F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F U P
s s s F I F Q g o m o n n o o m o d F F F F F F F F F F F F F F F U T
s s s F P q s d o n l l o n F F F F F F F F F F F F F F F F U U
s s s F P F I i m n l l F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F U U
s s s F P F P h o n o n o n d d n o e o n @ I I I A F F F F F F F F F F V Q
s s s F P F Q e o m o n ( o n o n F F F F F F F F F F F F F F F F F F F V R
C h a p t e r I V A u - i n d u c e d r e c o n s t r u c t i o n s o f S i ( 1 1 1 ) : ( 6
6 ) A u , (
3
3) R 3 0
A u
s F I v F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F W S
s F P i m n l l F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F W V
s F P F I g o n d o n o o m o n o o l d o n o n F F F F F F F F F F F F W V
s F P F P l F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F I H H
s F Q @ I I I A E @ T
T A e F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F I H Q
s F Q F I h o l l o n n d m m n F F F F F F F F F F F F F F F F F I H Q
s F Q F P w o d l i l o n F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F I H S
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
11/240
C h a p t e r V S u p e r c o o l i n g i n A u S i d r o p l e t s
F I y n @ H H I A F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F I I U
F I F I @ H H I A 9 F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F I I U
F I F P o o l n o n @ H H I A F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F I I V
F I F Q o l d F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F I I W
F P y n @ I I I A F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F I P H
F P F I o o l n o n @ I I I A E @
33
A Q H
e o n o n F F F F F F F F I P H
F P F P o o l n o n @ I I I A E @ T
T A e o n o n F F F F F F F F F F F F F I P I
F Q d o l d F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F I P R
F Q F I i m n l d F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F I P R
F Q F P m l o n l F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F I P V
F R d o z ' F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F I Q P
C h a p t e r V I C a s e o f o t h e r s y s t e m s a n d i n e r t s u b s t r a t e s
s F I e o n q @ I I I A F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F I Q W
s F P e l o n @ I I I A F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F I R S
s F Q g o n F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F I S H
s F Q F I e o n y 2 F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F I S H
s F Q F P e q o n y 2 F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F I S P
s F Q F Q e q o n e l 2 y 3 F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F F I S Q
C h a p t e r V I I D i s c u s s i o n a n d s y n t h e s i s 1 5 5
C o n c l u s i o n a n d P e r s p e c t i v e s 1 7 1
A n n e x e : S t r u c t u r e f a c t o r s d a t a s e t a n d m o d e l 1 7 7
R e f e r e n c e s 1 8 9
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
12/240
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
13/240
I n t r o d u c t i o n
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
14/240
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
15/240
x n o n o l o d l o o n o n F s m n l d
o l o o n o o l o n d l l o n o o m F
o d m d o n d m j o o m o d o m E o n d o
d n o F 0 n o n n d n o o o n l o
n m o n o D d o n o z o n o m n n d
m m d o d o n o F w o n l D n n m n n
o n n o E o j n o d o m n n n o n o n o m F
o d ' n o o l d n n o F ( o n l l d
o E d o n o n d o n n l n m l n d d n d z F
o o o m m l m d n o n n o m l l z
n d D n D d ' o o
o j F o n d o l l d o o m E o j l l m o o m
o m F s n D m o ( n d o m m o d n l d D n l l E o n o l l d
m n l o n d o n d n o D o l E o n z o n o o m F s n o
D n d l d o j d o m n d '
o n o n o F
s n o n D m E o n d o n n o @ x A D n n o n E d m n o n l
o j
i
D n o l D m n l o l o n o F w o l D x
o n o m o d d o n E d m n o n l m E o n d o n d d o n o E
d l o m o n n n n l o n o l l l D n o o n l o n d F
i n n o o d m n d o d D o l n d m o
d d o m n o n o o d n I W T R n n d i l l
n n d i l l D
I W T R
F o D n d n ( o o k D l o l d o l d
l o o n z l o n o m n o m o x F i n
l m n m l n d D m n n d m n l o n n l E o
o m n n n d o G n d o n o l F e o l o m
m o n o o n o l o m @ k n D o n o n D m o o l o F F F A o n l l
l d n d x w o D n d o n n d l m n m F
h o k n d o P w E x
i
l o o o g i e q E
n o l n o m l n d d d o z o n o o o
n n o E o j o n i p
i i
F s o o n l n l o n
d d l m n o o m o o x F o k n d n
m n d o n o d l x o D l o m n n d m E
m n X n o l n l d n l l l o m F
i . T h e i r l e n g t h i s m u c h l a r g e r t h a n t h e i r d i a m e t e r .
i . S e r v i c e d e P h y s i q u e d e s M a t r i a u x e t M i c r o s t r u c t u r e s - N a n o m a t r i a u x e t R a y o n n e m e n t S y n c h r o t r o n .
i i . E u r o p e a n S y n c h r o t r o n R a d i a t i o n F a c i l i t y .
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
16/240
I n t r o d u c t i o n
n o n l m n ) d n m l l d l o m l n
m n o m n o n l l d o o l n F h l l E k n o n n o m n o n D
n d n d n o m n m o n n n o m l F o o m l m n E
o o l n ' F ( o n D o n o d o l l
o n D d o m o o o n o o d o o l n o F n E
m o d n m l o n D o o l n d o n l d l o m l n o n D n o d o l l z
D n n l o m o n o l o l d n l F n l
d o o m l l n l d o n d l l o o o o l d
F e z o l n l n l o o o n l o d o o o l n D
m o l d o o l d o l d ( F d o n d l d n
m l n o d n d o n o l o l d ( o n o F
o n d o d o m o o m o n o F s l n o o l n
o l d o m l o l l o m l d l n n o m E
l o o o l d l F e o n n D l d E o l d n o n l o d
d o n o m l d o d d D n n l o n ( o n o l o n D
n d o d l o n z n m n o d o l F
l l m d o n ( E o l d m m D o d D E
n o m o n o n o d d l
i
F k n d o o d n n l d l d n
o d m n d 0 l o z m n l l
i i
F s n m o d 0 l
o m k l n k n d l o m n o ( E o l d o d n n l d n d E
o o l n o F r o D m o m n o z o n n n o l l o
o d n m o d l l l n l o n z o n o n n n
n ( l d o o n d n d m F
o m l o o o l n n o m n n d n o n n o l d ( o n
o l l o F o n o k n o e E m n d F
w o o D e E l d l l o o m l d m n o n o m E
o o n D e l d l d l z d o n o l o m F f l o
m D l d d o n d o m l l o o l n
n d o l l z o n o d ' n o m o n n F s n n o k
o o o n o e l d l l l o m
@ n d o m o n n o E d o l n o n A l d o n
o m n E d ' o n F n d n d n o n o n
n e l d n d o m m o n o
d ' n m o n o o n n o F
i . A c r y s t a l p r e s e n t i n g a n o r d e r a t l o n g d i s t a n c e s a d o p t s a t h r e e , f o u r o r s i x - f o l d s y m m e t r y .
i i . E v i d e n c e s o f t h i s k i n d o f o r d e r i n g h a s b e e n d e m o n s t r a t e d b y s i m u l a t i o n s .
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
17/240
d ' n o o k o n n n o m o n n d o o l n E
o o e d o l n d o l l o n m n X
C h a p t e r I : S t a t e o f t h e a r t . s n n d l o n d
o n d n d o l l o n l F o m l o n n n n
d d D m l d n o k n d o n d
o o o n n o n d F e o d o n o l d ( o n D
l o d d d o o l d n d l d E
o l d n o n F ) l l o m n l o n o n o l d ( o n o
l n o n ( l l o d d n o k F o m o n n n l d
l l o o o n n o l n d ( o n n o o d d F
C h a p t e r I I : M e t h o d s a n d e x p e r i m e n t a l s e t u p . y m n o n n n
i n - s i t u d o 9 D n l r m D o n o o n
d o n F s n o l l d o m o n n n E
d ' o n n d o o n o o n l F n n d l o
m m n o m d l l m n l o o o d n d n E
d n o l F
C h a p t e r I I I : G r o w t h o f A u o n S i ( 1 1 1 ) . f o n n l d d o l D
o o n o o m o n d o o n o l d ( l m
n n o l n d n d n n o d o l n n m F
m o m m o o l o l m o l n d l l o l o n
o o m o o l d E l o n n n n l n F
C h a p t e r I V : A u - i n d u c e d r e c o n s t r u c t i o n s o f S i ( 1 1 1 ) : ( 6
6 ) a n d (
33
) R 3 0
. o m o n o o l d l n d n d d o l k l n n o
o l d n l n d n o n o n l F s n
n o m n l l o n n n o m o n o E
o n o n n d d m n o n o o m F
C h a p t e r V : S u p e r c o o l i n g i n A u S i d r o p l e t s . s n h o k D l E
o o l n ' n o d n e d o l n n o n
d ' n o F d d d o n o n
o l d l n o l d ( o n o n d o l d F
C h a p t e r V I : C a s e o f o t h e r s y s t e m s a n d i n e r t s u b s t r a t e s . m j o o
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
18/240
I n t r o d u c t i o n
o k o n n n o n o e E m F r o D o m m n
n o m d o o o m E o n d o n n o n
d d n m m n l o n d o n F l o n d o n e E q
n d e l E m n d n F
C h a p t e r V I I : D i s c u s s i o n a n d s y n t h e s i s . e l o h o k n l n
n n d l n e E m D o n k l d
o n n o m ( o n d n l d d d o n o n
m n l o n d o n n d n m n o z o n F s n l D
o m o l o n l n d o o n o o d ' n
o n l l n d d F
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
19/240
C h a p t e r I
S t a t e o f t h e a r t
C o n t e n t s
I . 1 N a n o w i r e s p r o d u c t i o n . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
I . 1 . 1 T h e V a p o u r - L i q u i d - S o l i d p r o c e s s . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
I . 1 . 2 M o l e c u l a r B e a m E p i t a x y ( M B E ) a n d g r o w t h m o d e s . . . . . . . . 2
I . 2 S e m i - c o n d u c t o r s u b s t r a t e s a n d m e t a l c a t a l y s t s . . . . . . . . . . . 4
I . 2 . 1 S u b s t r a t e s a n d s u r f a c e s : S i l i c o n a n d G e r m a n i u m . . . . . . . . . . 4
I . 2 . 2 C a t a l y s t s : G o l d a n d A l u m i n u m . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
I . 3 I n t e r a c t i o n s . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
I . 3 . 1 P h a s e d i a g r a m s . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
I . 3 . 2 D e p o s i t - i n d u c e d s u r f a c e r e c o n s t r u c t i o n s . . . . . . . . . . . . . . . 1 0
I . 3 . 3 D e w e t t i n g o f t h i n l m s : f o r m a t i o n o f i s l a n d s . . . . . . . . . . . . 1 1
I . 3 . 4 W e t t i n g d r o p l e t o n a s o l i d s u r f a c e . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1 3
I . 4 D e s c r i p t i o n o f t h e l i q u i d s t a t e : t h e p a i r - c o r r e l a t i o n f u n c t i o n . . 1 6
I . 5 L i q u i d - s o l i d p h a s e t r a n s i t i o n . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1 8
I . 5 . 1 S u p e r c o o l i n g : t h e r m o d y n a m i c a n d c l a s s i c a l m o d e l . . . . . . . . . 1 8
I . 5 . 2 B e y o n d t h e c l a s s i c a l m o d e l : t h e i c o s a h e d r a l o r d e r . . . . . . . . . 2 4
I . 6 P a r t i c u l a r l i q u i d b e h a v i o u r : . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2 7
I . 6 . 1 T h e r m o d y n a m i c a n d s t r u c t u r e . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2 8
I . 6 . 2 S o l i d i c a t i o n o f e u t e c t i c a l l o y s . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 1
I . 7 S p e c i c f e a t u r e s c o n c e r n i n g n a n o w i r e s g r o w t h . . . . . . . . . . . 3 3
I . 7 . 1 L i q u i d s i n s m a l l d i m e n s i o n s . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 3
I . 7 . 2 I n - s i t u S C - n a n o w i r e s g r o w t h . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 5
I . 8 L i q u i d b e h a v i o u r c l o s e t o i n t e r f a c e s . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 8
I . 8 . 1 L i q u i d - V a p o u r i n t e r f a c e s : l a y e r i n g e e c t . . . . . . . . . . . . . . . 3 8
I . 8 . 2 L i q u i d - S o l i d i n t e r f a c e s . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 9
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
20/240
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
21/240
I . 1 . N a n o w i r e s p r o d u c t i o n
n n l o n n n o n d d n o k F
o o n n o n o o n n o D d o n o m l
d n d l l ( o n n n o F e o n n
d d d o l d D o l d ( o n o n d o l m l n k d o
n o n F
I . 1 N a n o w i r e s p r o d u c t i o n
o o o n o n o d o n o o E v d E o l d @ v A o
l l o m o n d o n o n n n l o F s n d D n o n
d o n l n o n o d o d m l n d l n o
n d n d ( n n n o F d d m n o o d
o o ) n d n o n n o n o m d F v o o n d
o n n o o n d l d ' n l m
n n ( l d o n n o n F o m l o n n n o l l l o
n o d d n o l n d n d n o o o o k F p o
o m l d o n o n n n o o n n o D d d d o o
n o n e t a l .
n e t a l . D P H H V
D m d e t a l .
m d e t a l . D P H I H
n d
o e t a l .
o D P H I H
l l n n F
I . 1 . 1 T h e V a p o u r - L i q u i d - S o l i d p r o c e s s
p s F I l l d n v m n m X
! p D m l l d o d o n D o n n o o m m
@ A D n o m o n ( l m F
! n D m l n n l d D ( l m d @ o n s F Q F Q A n d l d d o l
o m m e o n m @ o n s F Q F I A
! p n l l D l d o l o d o m o n d o @ g A o ) F n E
o m n g o m d ' n d o o d o l d o o n n o n
d n F e l v o m n o m d n U H H u n d W H H u F
o d m o o n n d m D g o m l l z
d o l E n n d n n o o o F o E
o m d o n n l o n g o m n n d o l n d
n l E o m d n n o D d m d n d n o n l l z o d o l F
I
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
22/240
C h a p t e r I . S t a t e o f t h e a r t
F i g u r e I . 1 S c h e m e o f t h e V a p o u r - L i q u i d - S o l i d p r o c e s s i n t h e c a s e o f S i n a n o w i r e s g r o w t h c a t a l y z e d
b y A u i s l a n d s .
I . 1 . 2 M o l e c u l a r B e a m E p i t a x y ( M B E ) a n d g r o w t h m o d e s
e j n D d o o l o n o v
m n F i l
i
o o m m o n ( l d o n D o n d ( l d
o n n o d F p o m l D o o q o n n n l
d d
o l n d D P H H I Y o e t a l . D P H I I Y q o m n n e t a l . D I W V S Y u l e t a l . D I W W I
F
l l o o m d w o l l f m i o n n n
m l o o d ) o o m o n d o d d d F
h n d n o n m n l m
i i
m n o m o n k l D
n d n p s F P F g o n o l l n ) l l d o o n m m k o l
o m o n o n ( l m o l e n m F
l l n o o m d o w f i o l d E o l d n F e
m o d n m l l m d ' n o m o d @ p s F Q A X
! p n k E n d w m o d D o o n d n o o m l n o
d o d l F o m o d d l l F
! n k E u n o m o d o o l d n n l o l o
i . T h e w o r d E p i t a x y c o m e s f r o m a c o m b i n a t i o n o f G r e e k w o r d s : a n d w h i c h m e a n o n a n d a r r a n g e m e n t , r e s p e c t i v e l y .
i i . s u c h a s n a t u r e o f m a t e r i a l s , t e m p e r a t u r e , u x , e t c . . .
P
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
23/240
I . 1 . N a n o w i r e s p r o d u c t i o n
F i g u r e I . 2 I l l u s t r a t i o n o f t h e d i e r e n t p h y s i c a l p r o c e s s t h a t c a n a r i s e d u r i n g M o l e c u l a r B e a m
E p i t a x y .
F s n o m l n @ l l d n
l @ v A A D o l l o n o m o m o l d l n d o n o o F
! o l m E m o d o n o n l n o m F o o n n
o m o n o l n d d l o n F
f l l D d ' n o m o d d n d o n d ' n n
n o o m l F p o m l D m l o m d o d o n m o l d
l k l o o l l o n o l m E o m o d F r o n o
m o d D d 0 l o d o m o d D d ' n n o
m o d n o m m m l l n d l m o n d o n l d F e m o
d l d d o n o n o m o d n d n g s s s n o e o n @ I I I A F
o n l l l o n o n n n n n d l n n o
@ o n s F Q F R A F
F i g u r e I . 3 P r e s e n t a t i o n o f t h e t h r e e t y p i c a l g r o w t h m o d e s . T h e F r a n k - v a n d e r M e r v e m o d e
c o n s i s t i n g i n a l a y e r b y l a y e r g r o w t h , t h e S t r a n s k i - K r a s t a n o w m o d e f o r w h i c h 3 D o b j e c t s f o r m o n a
w e t t i n g - l a y e r a n d t h e V o l m e r - W e b e r m o d e d i s p l a y i n g d i r e c t i s l a n d n u c l e a t i o n .
Q
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
24/240
C h a p t e r I . S t a t e o f t h e a r t
I . 2 S e m i - c o n d u c t o r s u b s t r a t e s a n d m e t a l c a t a l y s t s
s n o k D d d m o l e E m l l e E q n d e l E
m F e k n o d o n o m l n n o n F
I . 2 . 1 S u b s t r a t e s a n d s u r f a c e s : S i l i c o n a n d G e r m a n i u m
l o n
i i i
@ a I R A o n d m o n d n l m n n 9 @ (
o n n o n A n d o n d n l l n d o m o o d l o n m n l F
l o n D l l l o m m l l D d o m o d o m o n
i v
F s l o n o m E o n d o l @ n o n l n n d
o n d o n n d A n d o o o o n o d n d l D o m l
n o l n l F
F i g u r e I . 4 S i l i c o n c r y s t a l i n i t s d i a m o n d - t y p e s t r u c t u r e c o n s i s t i n g i n t w o f a c e c e n t e r e d c u b i c
( f c c ) c r y s t a l s t r a n s l a t e d b y a (1/4, 1/4, 1/4)
v e c t o r . I n t r a n s p a r e n c y i s p r i n t e d t h e ( 1 1 1 ) p l a n e w h i c h
c o r r e s p o n d s t o t h e o r i e n t a t i o n o f s u b s t r a t e s s t u d i e d i n t h i s w o r k .
s l l z n d m o n d
v
@ p s F R A D l m o
S F R Q H W D n o o m l o d n n o d l n d
o o n d n n o F
q m n m @ a Q P A
v i
l o m E o n d o o m l o o n
i i i . T h e d i s c o v e r y o f s i l i c o n i s g e n e r a l l y a t t r i b u t e d t o J n s J a c o b B e r z e l i u s ( i n 1 8 2 4 ) , i t s n a m e c o m i n g f r o m
t h e L a t i n w o r d s i l i c i s w h i c h m e a n s i n t .
i v . S i O 2 + 2 C S i + 2 C O v . G r o u p e n u m b e r : 2 2 7 ; S p a c e g r o u p e : F d3m
v i . T h e G e r m a n i u m e l e m e n t w a s p r e d i c t e d b y M e n d e l e e v i n 1 8 7 1 a n d d i s c o v e r e d b y C l e m e n s A l e x a n d e r
W i n k l e r i n 1 8 8 6 . I t s n a m e c o m e s f r o m G e r m a n i a m e a n i n g G e r m a n y i n L a t i n .
R
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
25/240
I . 2 . S e m i - c o n d u c t o r s u b s t r a t e s a n d m e t a l c a t a l y s t s
o l o n F s l l z n m D l m l l l X
S F T S U S @ C R 7 o m d o A F s o m F
F i g u r e I . 5 T o p v i e w a n d s i d e v i e w o f a s i l i c o n ( 1 1 1 ) o r i e n t a t e d s u b s t r a t e .
s n n D n n d o n o l l o n n l k o o
m l F s o m o l n o n o m o n o n d n
( l d n d l l n o k F y n o m o l n o o
o l o n o m o d n F
l n l l d o n o n F
@ I I I A E @ U
U A o n o n n m l o n d n d o o m
n o n ( o n o n n l l o l o d F s (
o n o n n m d n n n n n l n w o o @ w A
f n n e t
a l . D I W V Q
F e d l d d o n n o n d n
k n e t a l . D I W V S
n d
o l n d D
P H H I
F
@ I I I A o n o n n d o n d o n
v i i
D
o m o l k E m n d @ I I I A l n l k o n o n d o d l
d n l n o n d F m o d n l n o n d D n D o
o m o d n m o d n l n o n d F r o d o c
p s F S o o m n @ I I I A l n n d n E l F s
o m o d o l o o ( E l @ l o m n ( E l A D l
n d n l n o n d o m F r o D l m n d
o E l @ d o m A D d n l n o n d d d o o n
v i i . I n t h e c a s e o f S i ( 1 1 1 ) , t h e s a m p l e m u s t b e o u t g a s e d f o r s e v e r a l h o u r a r o u n d 9 0 0 K a n d t h e n a s h e d a t
a b o u t 1 5 0 0 K u n d e r U l t r a H i g h V a c u u m .
S
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
26/240
C h a p t e r I . S t a t e o f t h e a r t
o m F l n D m n l l D @ I I I A l m n d
E l F
s n d d o n D o m o ( l l o l o n m o d n l n o n d n n
o n ( o n F d o n o n o n d n o n d
l d o n n l l n m l n o n o l k E m n d
@ I I I A l @ p s F T A F
F i g u r e I . 6 T o p - v i e w a n d s i d e - v i e w o f t h e S i ( 1 1 1 ) - ( 7 x 7 ) r e c o n s t r u c t i o n s t r u c t u r e
[
V o i g t l n d e r ,
2 0 0 1
]
. T h e r e a r r a n g e m e n t o f a t o m s c r e a t e s a s u r f a c e u n i t c e l l s e v e n t i m e s l a r g e r t h a n t h e t h e o r e t i c a l
o n e .
n m n o o m l d o n o X
! d o m D n d n l n o n d n d l n o m n d
! d m D o m o n d d o m o n @ d o l n l l A n d l o
d n m o d n l n o n d F
o m o n o d m k n l n d l d o n l o n l l
l d @ p A n d o l n l d @ A D o l k k n
n F s l o m @ U
U A n l l m D l l d o n
o l
v i i i
F n m n l l o o d n m o d n l n o n d o m
R W o I W n d o o d n
e t a l . D I W W P
F e o n o n
o n n o l o l l o n d n d j m n D l d n d o n l l o
o n o n F p o m l D @ H H I A o m o m @ P
I A o n o n n d
v i i i . T h e c o m p l e t e t r a n s f o r m a t i o n p r o c e s s f r o m t h e u n r e c o n s t r u c t e d S i ( 1 1 1 ) s u r f a c e t o S i ( 1 1 1 ) - ( 7
7 ) s t r u c -
t u r e c a n b e s e e n v i a t h e n i c e a n i m a t i o n p e r f o r m e d b y Y a n L i a n g f r o m t h e D e p a r t m e n t o f C h e m i c a l E n g i n e e r i n g
a n d M a t e r i a l s S c i e n c e , U n i v e r s i t y o f M i n n e s o t a : h t t p : / / v i m e o . c o m / 1 0 8 6 1 1 2 .
T
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
27/240
I . 2 . S e m i - c o n d u c t o r s u b s t r a t e s a n d m e t a l c a t a l y s t s
n n o n o @ I I I A F
p o l l o n m l o o D n o n o l l d q @ I I I A l o o n d F E
n l D l o n d q m l m l D d o n o n m
o n o n X m o l o q @ I I I A @ P
V A o n o n
n n d o m n d o m o d m D o n E o l o k n l
f k e t
a l . D I W V W
F
I . 2 . 2 C a t a l y s t s : G o l d a n d A l u m i n u m
q o l d @ a U W A n l ( m l d d n m n o F x o o d k n o o
d o d ( o n m n
i x
F
F i g u r e I . 7 G o l d c r y s t a l u n i t c e l l i l l u s t r a t i n g i t s f c c s t r u c t u r e .
q o l d o D d l m l Y o o d o n d o o n d l n d n o
n d m o n F s o l l d l d n j l o o l o F s o E o m l
@ m l l l n d o o o n n o n n A m k l n o n d n F
w o n l D o n d n m n m d n ( l d o n n o m l D o l d n n o E
l o n d o l l n d d n d m d l l o n
f o l n d
e D P H H W
F s l n d @ A
x
l m o
R F H U V P D n d n p s F U F
e l m n m @ a I Q A n d l m o l l o l e l E d l l o l o o n o d F
r o l m n m o l d o n l n I V P S n d n o n m n n d n o n k n m l F
s n o o n d n n o d o m F s n l n d
d D m o l n d o m o l l o D n d n o l o n @ o m n o o l
i x . T h e r s t t r a c e s o f g o l d m a n i p u l a t i o n s g o b a c k t o a b o u t 3 6 0 0 B C i n E g y p t .
x . G r o u p n u m b e r : 2 2 5 S p a c e g r o u p :
F m3m
U
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
28/240
C h a p t e r I . S t a t e o f t h e a r t
o o n d A F v k o l d D l l m l l
m l l X R F H R W S F
I . 3 I n t e r a c t i o n s
s n o o n @ s F P A D ) n d n l o o
m l d d n o k F s n o n o o n l n o m n o m
o n l n o n n d o d m l n d g F
I . 3 . 1 P h a s e d i a g r a m s
e m o d n m l d m d l d ' n d o m n @ A n o
n l l o D o l m n D o m ( n o l d F s l o o
d o m n l l o l d o l d n l m o l d
F d ' n d o m n d n d o n o n n o n l l o n m
x i
F
p s F V d l l m d m o e E m
o n o k F s m l D o n l S d ' n X o m o n o
l d @ A D o d o m n n o o l d e @ A o @ A o l d
l l o n d o o l d e E p g g n d E h m o n d F
F i g u r e I . 8 G o l d - S i l i c o n p h a s e d i a g r a m .
o m k l n o n d o X
! n o l o o n @
S i
a
I W F 7 D e a T Q T u A o
o n o m o o n D l l o n n l d l o m
x i . [ ] , ( ) a n d < > s t a n d f o r g a s , l i q u i d a n d s o l i d p h a s e s , r e s p e c t i v e l y .
V
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
29/240
I . 3 . I n t e r a c t i o n s
o m d o m l n m o o m o n n k n l F
! n o l l k l l n l l o X l o n n o o l l n e o l d
@ n d n l A F
d o e E d m l l o o o m o n o n
v o n d n o n s F I F I F e m m o m o d
o d o l m d o o m o o n F s o n n o o m
o o n n o U H H u D n n l n m o d d m l d
o d o l o n o o m n o d o l o l l o n l d l n F e
U H H u o n n o n n d o l o P I F 7 n d l m o n m o n o
o n d o l d l n F n D n d o l o d o
o ) D o m n l d n d d ' o n F p o l l o n
d m D d o l o n n o n d o n d d o l d l n
n d m n o o n d n o o E ` b C @ e A d o m n F
p o l l o n l l E q l l l D l o n n @ o m d o l d o m o o n
U H H u A l l z o o m o l d F o l d ( o n d o l E
n o ' n l o n o o m F s d l l D n n o n
k o n l o n o ) m n n d F x o m o o
l m m n n o n n o o n n n n o o o n D d ' o n n d
o l d ( o n o o m F
e E q n d e l E d m D n d n p s F W @ A n d s F W @ A D l D
l o d l o n d ' n o m o o n n d m F v o
n l o o m d n m @ l l m n o
m d e t a l . D P H I H
A F
r o D o o m D m l l o n o g o l l n o l d
o m l F l l d m l l d o m n l n d d
o d m D o n n o d
n l F
( a ) ( b )
F i g u r e I . 9 ( a ) G o l d - G e r m a n i u m p h a s e d i a g r a m . ( b ) A l u m i n u m - S i l i c o n p h a s e d i a g r a m . T h e
p h a s e c o r r e s p o n d s t o t h e m e t a l - S C b u l k s o l i d p h a s e i n b o t h c a s e s .
W
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
30/240
C h a p t e r I . S t a t e o f t h e a r t
d m n d o o n n n o n d n n m n
l k D o n n n l n ' F e l l n d l
@ o n s F U A D o m o n d l o m l k o n n m
o o n n o l
x i i
F
s n ( l d o n D ( n n n l d d
o n o n o 9 o n d o o n o m l l m o n o m l F
I . 3 . 2 D e p o s i t - i n d u c e d s u r f a c e r e c o n s t r u c t i o n s
n n o n s F P F I D o m o @ I I I A
n d m l o l k o n o F o n z o n n m n
o d n n o m F e m l o k l l
o m l d o F d o d m l n d n m n o o m
n o d l n F
p s F I H n m l o @ P
P A o n o n F d o d o m o m
n l l l n n l l o F w o o D
o m ( o n o n o d n o m m o n d
o l F n l o d d d o n o o n X o m l D
@
33
A Q H
o n o n o l d o n l l
3
m l m
n d Q H
o o n F
F i g u r e I . 1 0 I l l u s t r a t i o n o f a ( 2 2 ) r e c o n s t r u c t i o n . T h e s u r f a c e u n i t c e l l d i s p l a y e d b y t h e d e p o s i t e d a t o m s ( y e l l o w ) c o n t a i n s i n t h i s c a s e 5 a t o m s (
4 1/4 + 4) a n d i s t w i c e a s l a r g e a s t h e s u r f a c e u n i t
c e l l o f t h e u n d e r l y i n g s u b s t r a t e ( b l a c k ) .
p o m l E g m n d n o k D l o n o n k n o n o
F p o d o d e o m o n @ I I I A D m o o m m o n l o d o n E
o n @ S
P A D @
33
A Q H
n d @ T
T A o n o n F e m o d l d
d o n o o n o n n n g s s s F y l d d o n o n
x i i . T h i s i s p e r f e c t l y i l l u s t r a t e d i n t h e c a s e o f t h e c a r b o n e l e m e n t : t h e p h y s i c a l p r o p e r t i e s o f a s i n g l e s h e e t
o f g r a p h i t e ( u n d e r t h e f o r m o f g r a p h e n e o r n a n o t u b e , o r e v e n f u l l e r e n e ) d i e r a l o t f r o m t h e o n e s o f b u l k .
I H
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
31/240
I . 3 . I n t e r a c t i o n s
o o l d o n @ I I I A @ P
P A
e t a l . D P H H I
D @2
323A o @
2
21221A
10.9 E
k e t a l . D I W W V
o n o d F
s n m D e o m @
33
A Q H
o n o n o n q @ I I I A
o d o m l o o n o n @ I I I A
r o e t a l . D I W W Q
F x o
n o @ T T A o n o n k n o n o o m n e E q @ I I I A m F e e l o n n d D o n n o k o v n d n d w o o n l d o m o n o
o n o n o e l o n @ I I I A o m o n o l n n d m
v n d
n d w o o n D I W T R
F @ I I I A E @
33
A E e l o n o n n l d d n
m o d l l n
x o D I W V R Y m d e t a l . D I W V R Y r n e t a l . D I W W H Y
r o o D I W W W
o n o n o m o o m o E d m n o n l n d
d d o o o o d o o n m o n o l
x i i i
F p o o D l l o
P w v D o m o n o n l l n ( l m @ o l n d d n d n o n o m o d D
o n s F I F P A o o d F n l o l d ( l m n n d o m o o l o l
n o m o n n m n o l n d F o o n o n @ s F Q F Q A F
I . 3 . 3 D e w e t t i n g o f t h i n l m s : f o r m a t i o n o f i s l a n d s
o o l D o n m n o n d l d l d o l o E
n d n n m D n d d n o o l d ( l m o l
d o d w f i F o n l d o l o l d n o E
n d n o m o d F p o n n D d o o m d m n
l d o d l n d n o d n o o l m E o n k E u n o o
m o d F s n o l o d l l d o n e m o d o l o n
p l
e t a l . D P H H V
F s d n o o n d D l d d n d l F f o
e d o n o m n o l d l d o l n d o o o
n n o D o l d ( l m ( d n o l d D i . e . n d o l n
o n n n l n l d n o o n o o l d l n d F d o n o
o o n o d l n d n g s s s F
o n n o k o l
l D I V U V
D l l o l l o n d o w l l n
w l E
l n D I W S U
l l o d m o n o o d m o d l o n n n d n o
o d o l o n o l d ( l m
o l o z n d n D I W V T Y I W V T Y
t n n d o m o n D I W W P
F o l d ( l m n E o E o l m o o
m o d F d o n n d d ' o n o
o m n d o l o m F y o l D l o m o n m
x i i i . T h e c a s e o f G e - ( 2
N ) r e c o n s t r u c t i o n o n S i ( 0 0 1 ) , w i t h N d e p e n d i n g o n t h e c o v e r a g e ( 1 - 3 M L ) h a s b e e n
r e p o r t e d
[
Z h o u e t a l . , 2 0 1 1
]
.
I I
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
32/240
C h a p t e r I . S t a t e o f t h e a r t
o m d ' o n n n d F d n o o n n o n n l n
n n l n n o d n o @ d o n o n A F p s F I I
l l d n o o n o X o n o o d n ( l m
@ @ A D @ A A n d n o @ @ A D @ d A A F
F i g u r e I . 1 1 S i d e v i e w i l l u s t r a t i n g t h e t w o s t e p s d e w e t t i n g p r o c e s s . ( a ) T h e p o l y c r y s t a l l i n e l m
i s a t w i t h t h e p r e s e n c e o f a g r a i n b o u n d a r y . ( b ) F l u c t u a t i o n d u e t o t h e r m a l a c t i v a t i o n s e t s i n a t
t h e p o s i t i o n o f t h e g r a i n b o u n d a r y ( c ) T h e c r e a t e d v o i d s i s l a r g e e n o u g h t o c r e a t e a c o n t a c t a n g l e
( d ) T h e v o i d s t a r t s t o g r o w .
s l n o l d ( l m n n l d D m l l m l d ) o n X i . e . ( l m
o F o n o o d o n n o ) o n l n o o
d o o n F s n o l l l n ( l m D o n l m d
o n o n d @ p s F I I @ A D @ A A F e o n n l d n
n d o l d o o n F n D m n o
d ' o n o d o ( l m d l n n o o
o d @ p s F I I @ A D @ d A A F h o n n o m o n o o n o m o d o m @
p s F I P A D o m o n k @ e A n o @ f A F e o n n D o d o
n o n o f n d l n o n E l n o o n o o d F e o m
o n k o e d o m ( l m n d o l d l n d m n F
F i g u r e I . 1 2 T o p v i e w s h o w i n g t h e n o n - p l a n a r p r o p a g a t i o n o f t h e v o i d . T h i s r e s u l t s i n t h e p r e s e n c e
o f t h i c k e r a r e a s ( A ) w h i c h d e t a c h f r o m t h e s o l i d l m a n d b e c o m e i s l a n d s .
m l m o d l l l d n l n d o n n n d n o o l d
( l m F e n m l o n n n d n o e ( l m n o n d n
0 e t a l . D
P H H W
F r o o d o n o m o o m l n o m n D m o m o d l
n d d
n n d D P H I I Y E v o e t a l . D P H H W
@ n d n n A F
I P
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
33/240
I . 3 . I n t e r a c t i o n s
I . 3 . 4 W e t t i n g d r o p l e t o n a s o l i d s u r f a c e
f o d n o D n m l o l d ( l m o m o l d l n d o n n E
d l n g F n m m n d o o n D
o l d E l d n o n k l n d l d d o l m n F m o o l o l E
l m l n k n d o l o n d n o n 9 o n
n d F
a Y o u n g ' s e q u a t i o n
n o o l d d o l @ i . e . A n n o n o l d
d n d o n n n l m d d l l E k n o n o n 9 o n
o o d n I V H S
o n D I V H S
X
liqvap cos() = solvap solliq @ s F I A
liqvap D solvap n d solliq l d E o D o l d E o n d o l d E l d
n o n D l n d
o n n l @ m d n l d A D n d
n p s F I Q F r o D l o o n n l o m D
n m D n d m n l m n m l n l d o
n d n o n o m D d 0 l o o n m n l l F d o
n n ( ( l d d l n m n o m l n n d n n o
n o d d F r o D l ( o n n n n o k n d
) F
F i g u r e I . 1 3 S c h e m e r e p r e s e n t i n g t h e w e t t i n g o f a l i q u i d d r o p l e t i n i n t e r a c t i o n w i t h a s o l i d
s u b s t r a t e .
b P r e c i s i o n s r e l a t i v e t o s u r f a c e e n e r g i e s
e ( m k o m d o n d ( n o n d o n
D n o n o n F p o l D o n l m n d
I Q
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
34/240
C h a p t e r I . S t a t e o f t h e a r t
n d d n o n d l d o o k n d d o d o m
o l d l l l D n l d o o k n d d o
n @ n t F m
2A F n o n m l d n l o o
n o o l d F s n m l n o m m o n o n o n o
n m l l o o F
s n d D n o n d o n n o o e d o l o n E
F s o m o n o n d o d ' n n l o n E
n n m o n o o l d n d o k n o n l l
d ' n n o n m o o l d F
S i s u b s t r a t e s u r f a c e e n e r g y
n m n l l n
t o d n D I W T Q
o D m o n l D n d n o n
n o l d o m o l l d n m m l o n
n k e t a l . D P H H T
l l o E
l l l o n n w o d ( d i m d d d e o m w o d @ w i e w A
n e t a l . D P H H Q
o l o l l n F n o o l d l o n
d n d o n l l o o n o n l o n d l n n n l o
n n d X
Si(111) 1.2 t F m 2 < Si(110) 1.5 t F m 2 < Si(100) 1.9 t F m 2 @ s F P A
G o l d s u r f a c e e n e r g i e s
o o l d m o m o o m l D l l d l s F I
d ' n
l n o n d n l F s l o l d E o n d
o l d E l d n D o m o n n d ' n n o o d m n n d
o d o m m o n l d l X
!liqvap 1.2 t F m 2 n d
!solliq 0.13 t F m 2 F
p o l o o l d E o n solvap D d o n l n d m
o m d ' n m o n d n m l o n n l l m n l
n n F
s n d d o n D solvap m d n d n n d D o D l l o o n o n
l o n ) n l F r o D n m o m l D d ' n n solvap n H u n d
m l n m m d o n o d I H 7 o n n d w l l D I W U U D o
m n l o F
m n l o l l solvap o l s F I I F S R 0.19 t F m 2 F s o m l l
l o d d o n o k n o o n l l o o n o n
'
o n n d w l l D I W U U Y w z n d q D I W V P
F y n n l o n o D o
I R
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
35/240
I . 3 . I n t e r a c t i o n s
T a b l e I . 1 S u r f a c e e n e r g y v a l u e s f o u n d i n l i t e r a t u r e f o r p u r e g o l d . T h e t e m p e r a t u r e a n d t h e m e t h o d
a r e i n d i c a t e d w h e n e x p l i c i t l y m e n t i o n e d .
(Au)i n @ t F m
2A n n
Au(111) I F P V @ H u A Au(001) I F T Q @ H u A h p o e t a l . D I W W V
Au(110) I F U H @ H u A Au(111) I F Q V @ H u A n d n Au(001) I F R W @ H u A o l E n w l n d o n n o o l o D I W W T
Au(110) I F V S @ H u A m o d Au(111) I F T I @ H u A Au(001) I F U I @ H u A A b - i n i t i o k n d o n d D I W W P
Au(110) I F U W @ H u A d o o n l
solvap I F P S @ H u A n x d n d w n ( l d D I W V W
m o d
solvap I F S @ H u A n o o n n d w l l D I W U U
I F Q S @ I Q Q T u A m o n
g l l o n
solvap I F T P @ Q H H u A o m n l w z n d q D I W V P
I F Q T @ W H H u A o o m z o n
liqvap I F I S m o d n m m o d l n e t a l . D P H H P
liqvap I F I V n D P H I H
liqvap I F Q @ Q H H u A v d d o l i e t a l . D I W W S
solliq H F I Q m o d n m m o d l n e t a l . D P H H P
solliq H F I Q h o l o n l n l l D I W S H
l l m l D l o k d @ l o n d l n A o l m o l X
Au(111) < Au(001) < Au(110) F
f o n d o l d D n o o k l n e E l l o F e n o n
o D n o l m n l d d 0 l o l F y o l D n
d n o l l o n d d d l m F e o n d o m d e t
a l . n n o n n n o D n o o l o n l n ) n
o n n o F s o l n o m n l o n o d ' n
n m n o e l l o F
k n solvap = 1.25 t F m
2 o @ I I I A n D
liqvap = 0.85 t F m2
o
e l d l l o
x d e t a l . D I W U S
D n d R Q
o n n l
l e t a l . D P H H Q
D
o n 9 o n o d n l o n o n n n d o l n d
@ (AuSi) A o H F T P t F m
2
m d e t a l . D P H I H
F
s n o d o l o n n o n d o n o
d ' n D m o d n m l o o o d o e t a l . l d
liqvap = 0.91t F m
2
I S
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
36/240
C h a p t e r I . S t a t e o f t h e a r t
n dsolliq = 0.8 t F m
2
o e t a l . D P H H U
F l l o o d l o
solliq = 0.75 t F m2
x o l 9 n e t a l .
x o l n n d n n D P H H Q
F
w o o D o o n o m l n o o o l d n o o o n o o m
l l o d u m e t a l . o l l n n n o l d e n d e l d
l l o X (AuSi) = 0.3 t F m 2 D V H H u
u m e t a l . D P H H W
F
I . 4 D e s c r i p t i o n o f t h e l i q u i d s t a t e : t h e p a i r - c o r r e l a t i o n
f u n c t i o n
d o l d o d m m l o n n o d o d
o m o n o m F ( o m n m n d n
l d D o m d d n d o m l F r o o m n d d o
n m n n m F d o n n d o n o o
o l o n n o n d o n o o m d n n o n o
d n o m d n l F n o n m o n n d o l d
n d m n d n E o n o n n n F
n o n D l l n o d g(r)
D l o d o n n p s F I R F s n
n d d l o l o n n o n m n d n d n n
o o n o l F n o n l z o o n @ n o m l d A
o l o n l o n n d n n l m m o o n d n o d E
n o o o m d ( n d ( D o n d D d D F F F n o F p o l l o
rD n o n n d o n l d d o d d l o n n X o o n o
o m l o d l r
n o n ) n d o o n o n o m F
n m l d D o l o n n o n n n o l o ( n d n n
o m n n o ( n k n r
n d o n n l F s n X
g(r) =V
N
n(r)
4r2r@ s F Q A
N
n m o d n l l l o d n o o l m V
n dn(r)
n m o o m l o d n r
n dr + r
F
s o l l o o n o l l m n n m o o m n d n R
o n d o m o n D l l d o o d n o n n m N
X
N = 4R2
R1
r2g(r)dr , o
rl m d o l l o ( n E n o @ s F R A
N o o n d o d n d o g(r [R1, R2]) n d o o d o
I T
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
37/240
I . 4 . D e s c r i p t i o n o f t h e l i q u i d s t a t e : t h e p a i r - c o r r e l a t i o n f u n c t i o n
F i g u r e I . 1 4 P a i r c o r r e l a t i o n f u n c t i o n g ( r ) a n d t h e c o r r e s p o n d i n g g r o u p s o f n e a r e s t n e i g h b o u r s
r e s p o n s i b l e f o r t h e d i e r e n t p e a k s .
I P o m o l d D o m l o m n m n F
h n n E o n o n m n o z n l d D m d n
o @ A @ m o m n m n d ( n d n o n s s F I F P A D
l d o g(r)
X
S(Q) = 1 +
0
(g(r) 1)e iQr dr@ s F S A
e m l p o n o m o @ A o l l o o d d m n l
o l o n n o n F
I U
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
38/240
C h a p t e r I . S t a t e o f t h e a r t
I . 5 L i q u i d - s o l i d p h a s e t r a n s i t i o n
x o n l d n d o o l o d D l l d
o m o l o o l d ( o n o D i . e . o n o o l d o m
l d F e n m o n o n n d o l d E o l d n o n
l d d o n o n o m n o o l d o o n m l n o n d F e l d n d
o o o l d l o m l n o n n o d o o m l F n o m n o n
l l d o o l n o n d o o l n F o o n d o p n n
I U P R o o d d ( o o l n m n o n l d
x i v
p n D I U P R
F
s n l l o n l d n d o o o m n n o n o m
n o o l d F d d n l l n l o n o ) n d
F o D d o n l o k o f k
f k n d h o n D I W Q S Y f k D
I W Q V
D n d l o d n l l
n l l n d p D I W R W Y n l l D I W S H d
n o m l d n o n d o n o o m o n o o l d l o m m l
n d o z o l o l m F
I . 5 . 1 S u p e r c o o l i n g : t h e r m o d y n a m i c a n d c l a s s i c a l m o d e l
e n o n D o l d ( o n o n n D o l m n d n o n
o n l G
n
x v
X
Gs = Hs TSs @ s F T A
T
m @ u A D H
n l o n @ l d o n o
m l o n d A n d S
n o o n @ l d o l o n z o n A F e
m l n m Tm D o n n o n o n G m l Gsolid = Gliquid
n d o m X
Gs = 0 Ss = HsTm
@ s F U A
o D o n @ s F T A o m o T = Tm X
Gs = TmHsTm
THsTm
Gs = THsTm
,
T o o l n l F @ s F V A
x i v . I t i s w o r t h m e n t i o n i n g h e r e t h a t e v e n f o r w a t e r , t h e m o s t c o m m o n l i q u i d , t h e s o l i d i c a t i o n p r o c e s s i n
n o t c o m p l e t e l y u n d e r s t o o d .
x v . t h e i n d e x ' s ' s t a n d s f o r s o l i d i c a t i o n
I V
8/2/2019 Formation and supercooling of AuSi eutectic droplets on Si substrates: an in-situ study using synchrotron radiation
39/240
I . 5 . L i q u i d - s o l i d p h a s e t r a n s i t i o n
e k l o o k n o Gs l l o o k n o o n o n o n n
d F Ss n o o l d ( o n o @ o n o o d A X
T > Tm T < 0 Gs > 0 o l d ( o n m o l
T < Tm T > 0 Gs < 0 o l d ( o n o l @ s F W A
( n o n o D l d m o o l d o n
o o l d F x l D m o d n m o n l