Experience in creating MEMS for special applications just exploits this 3D aspect to build mechanical devices. •EVERYTHING mechanical, optical, fluidic, that can be miniaturized

Е.Н.Пятышев Заведующий лабораторией НИЛ «НМСТ»

www.mems.ru

Experience in creating MEMS for special applications

Evgeny Pyatyshev Chief of NMST Laboratory

Опыт разработки MЭMС различного назначения

St.Petersburg State Polytechnical University

NMST Laboratory

St.Petersburg Polytechnical University

NMST Laboratory

MEMS in the Future • - just another mechanical manufacturing technology , like a CNC tool. • - ICs have always been 3D MEMS just exploits this 3D aspect to build mechanical devices. •EVERYTHING mechanical, optical, fluidic, that can be miniaturized by MEMS, will be miniaturized. •MEMS built in IC foundries is part of the movement toward “More than Moore” •As MEMS continues to expand and evolve, we will begin seeing a technology shift, “More than MEMS”

Kurt Petersen, Ph.D.

VorführenderPräsentationsnotizen

очередная автоматическая технология производства, как станки с ЧПУ.

• - МЭМС будет использовать 3D аспект трехмерных интегральных схем, чтобы создавать механические устройства.

•ВСЁ механическое, оптическое, жидкостное что может быть уменьшено с помощью МЭМС, будет уменьшено.

•Внедрение МЭМС в производство интегральных схем позволяет развиваться быстрее, чем по закону Мура.

•По мере того, как МЭМС будут расширяться и развиваться, мы будем иметь возможность наблюдать технологии, превосходящие МЭМС

More than Moore: Расширение сфер M

ore

Moo

re: М

иниа

тюри

заци

я

ITRS 2011 Edition

VorführenderPräsentationsnotizenМиниатюризация

Расширение сфер приложения

сферы производстварасширение ассортимента, изменение вида продукции

Санкт - Петербургский Политехнический Университет Петра Великого

Лаборатория нано- и микросистемной техники

Направления деятельности:

Разработка функциональных микро-электромеханических систем (МЭМС) по

техническому заданию заказчика (R&D MEMS)

Разработка технологического процесса производства МЭМС изделий, в том

числе создание технологических карт, на оборудовании заказчика (development of

MEMS technologies)

VorführenderPräsentationsnotizenРазработка функциональных микро-электромеханических систем (МЭМС) по техническому заданию заказчика (R&D MEMS)Разработка технологического процесса производства МЭМС изделий, в том числе создание технологических карт, на оборудовании заказчика (development of MEMS technologies)



Сфера интересов:

• Инерциальные сенсоры (inertial sensors) • Электрооптические коммутаторы (MOEMS)

• Бетавольтаика (beta-voltaic cell)

• Метрологические приборы (MEMS for metrology)

• Микроустройства управления (control devices)

• Микроактуаторы (microactuators)

• Микрофлюидика (microfluidic systems)

• СВЧ коммутаторы (RF-switches)

MEMS Pressure Sensors

Glass Plate Membrane

Silicon Chip

Piezoresistors Protective Gell

Polymer Package

Automotive Sensors

Industrial Stantard Sensors

From chip to sensor

VorführenderPräsentationsnotizenОсобенности – от чипа (чувствительного элемента) к датчику.

Специфика областей применения (АSIC).

www.mems.ru

2,8 мм

7,0 мм

Silicon chip thickness H = 0,4 mm

Diaphragm h = 5..50mkm S = 1,2*0,8 mm

PRESSURE PIEZORESISTIVE SENSORS for AERODYNAMICS STUDIES

Low profile sensor for installing

on aerodynamics models

Shock tube for dynamics testing

Multipurpose “bolt” sensor

Frequency range of pressure pulsation above 100 kHz

St.Petersburg Polytechnical University NMST Laboratory

1978

VorführenderPräsentationsnotizenДатчики для исследования в проточных частях компрессоров.

Датчики для установки непосредственно на поверхность аэродинамической модели (т.н. «низкопрофильный датчик») для отдела промышленной вентиляции ЦАГИ . Датчик был выполнен по классической МЭМС – технологии: мембрана, созданная жидкостным травлением с диффузионными тензорезисторами, соединенными по мостовой схеме. Однако контактные площадки были покрыты нержавеющей сталью и имели более развитую площадь. Такое технологическое решение обеспечило возможность монтажа датчиков, используя методики стандартной тензометрии, хорошо освоенные заказчиком. Датчики устанавливались на поверхность моделей с помощью клея, распайка выводов производилась обычным микропаяльником.

Низкопрофильные датчики для установки на поверхности аэродинамических моделей для ЦАГИ (ЛПИ 1978)

Малые размеры, высокая динамика.

www.mems.ru


Silicon chips

Sensor for installing on impeller

Sensor with all sitall package H = 1.6 mm D = 6 mm

The level of centrifugal acceleration above 30000 g

Cenrifugal impeller fragment

PRESSURE PIEZORESISTIVE SENSORS for TURBOMACHINERY

VorführenderPräsentationsnotizenДатчики давления – одна из первых микроэлектромеханических разработок нашей лаборатории

Конструкция датчиков предусматривает установку на рабочие колеса и обеспечивает работоспособность датчиков при уровне ускорений до 30000 g. На основе технологии фоточувствительного стекла разработана конструкция ситаллового корпуса для датчиков устройства диагностики состояния ГПА.

www.mems.ru

ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ ТЕНЗОМЕТРИЧЕСКОГО ТИПА

для мониторинга турбомашин

Испытания система антипомпажной защиты

ГПА Нева 16 Кировский завод



VorführenderPräsentationsnotizenДатчики пульсаций статического давления для исследования нестационарных аэродинамических процессов в проточной части нагнетателей газоперекачивающих агрегатов (ГПА) широко применялись при испытаниях на модельных и натурных ступенях.

Головной нагнетатель природного газа Нева-16 разработки Кировского Завода (СПб)

Надежность, взрывобезопасность. Макет системы противопомпажной защиты (патент совместно с КЗ).Испытано на головном образце ГПА Нева 16 совместно с КЗ (Кировский завод)

МЭМС, создаваемые по технологии КНС (MEMS on SOI wafers)

Гироскопы и акселерометры (gyro & accelerometer)

Электромеханические реле (electromechanical switch)

Электрооптические коммутаторы (MOEMS switch)

Микроманипуляторы (microactuator)

Микроклапана (microvalve)

Переменные конденсаторы (variable capacitors)

Ячейки энергонезависимой памяти (PI memory)

Технология «кремний-на-стекле» (Silicon-on-glass)

From technology to devices

VorführenderPräsentationsnotizenОт технологии к устройству



MOEMS Switch

Размер чипа 5 x 5 мм (chip size 5 x 5 mm);

Толщина кремниевой структуры 100 мкм (height of silicon structure 100 μm);

Ширина торсионов 8 мкм, длина ~ 2 мм (torsions width – 8 μm, length – 2000 μm)

Vertical micromirror

Optical fiber

VorführenderPräsentationsnotizenМИКРООПТОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЬ ОПТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ

Torsions displacement



• total mirror shift – 120 μm • switch voltage – 100V

Potential distribution in electrostatic comb drive

Simulation in COMSOL Multiphysics

VorführenderPräsentationsnotizenРезультаты моделирования параметров оптического коммутатора

Зависимость статического усилия, развиваемого приводом как функция от перекрытия зубцов

View of MOEMS switch after RIE of silicon and wet etching of glass

• Общее перемещение зеркала – 120 мкм

• Управляющее напряжение – 100 В



VorführenderPräsentationsnotizenФрагменты изготовленного оптического коммутатора после жидкостного травления стекла

www.mems.ru www.gyro.ru

Inertial Sensors

Чувствительный элемент датчика угловых скоростей (MEMS gyroscope)



Чувствительный элемент акселерометра (MEMS accelerometer)

Размер чипа 5 x 5 мм (chip size 5 x 5 mm); Толщина кремниевой структуры 50 мкм (hSi = 50 μm)

VorführenderPräsentationsnotizenИНЕРЦИАЛЬНЫЕ СЕНСОРЫ

MEMS encapsulation on wafer level and through wafer

Скол стеклянной пластины толщиной 500 мкм с отверстиями для сквозной металлизации, изготовленными методом лазерно-стимулированного травления (laser-stimulated fast glass etching, h = 500 – 2000 μm; d = 30 – 1000 μm; 30 minutes per 1000 holes)

Инерциальные МЭМС датчики в герметичных (вакуумных) капсулах (wafers with encapsulated silicon gyros and accelerometers NMST Lab.)



(bottom glass)

(top glass)

(MEMS structure) (metallization)

(getter)

Laser-stimulated glass etching

VorführenderPräsentationsnotizenИНЕРЦИАЛЬНЫЕ СЕНСОРЫ

Было освоено капсулирование ИНС

Кремниевые МЭМС в герметичном исполнении

Технология лазерно-стимулированного травления стекла

Газовая ячейка для атомных часов

заказчик - ОАО «Российский институт радионавигации и времени»

6х6х1.4 мм

Буферный газ -неон

Изотопы Rb или Cs

разработаны и изготовлены образцы



От капсулирования ИНС к ячейке для атомных часов

VorführenderPräsentationsnotizenОт капсулирования ИНС к ячейке для атомных часов

Газовая ячейка для атомных часов. Пластина и чип ячейки. Габариты 6 х 6 х 1.4 мм

разработаны и изготовлены образцы газовых ячеек

исследования технологических процессов изготовления сверхминиатюрные газовые ячейки для стандарта частоты

Glass cell for encapsulation of MEMS on chip level

- герметизация в вакууме (encapsulation in vacuum 10-3 torr);

- герметизация в газонаполненном корпусе (encapsulation in inert gases N2, Ar, Ne);

- сквозная металлизация через стекло (through wafer metallization by sputtering)

- изготовление сквозной металлизации как до, так и после герметизации чипа (through holes can be made after chip encapsulation)



(bottom glass)

(top glass)

(thick silicon frame)

(Ti getter)

(cap for MEMS structure)

VorführenderPräsentationsnotizenДвухкамерная ячейка с геттером для герметизации кремниевых МЭМС

www.mems.ru


NMST Laboratory

THERMAL AC-DC CONVERTER Pair of 20-elements

thermopiles

400 Ohm heater

Membrane thickness 1 mkm

Silicon chip 2,5*3*0,4 mm Membrane with alternate

SiO2 and Si3N4 layers

Poly-Si thermpiles

Low RTC heater

Mechanical strength

High thermocouple voltage & stability

High linearity

Secondary standard

Input voltage 1V Output voltage 100 mV

Frequency range 10 Hz …1 MHz

Accuracy 10-5 % VNII of Metrology

VorführenderPräsentationsnotizenПо заказу ВНИИ Метрологии им. Д.И.Менделеева разработаны тепловые преобразователи для вторичного эталона AC-DC. По ряду параметров преобразователи имеют лучшие показатели, чем у существующих вторичных эталонов переменного напряжения.

THERMAL AC-DC CONVERTER


NMST Laboratory

3d Generation

VorführenderPräsentationsnotizenВ метрологии характерные времена разработки и исследований более 10 лет



THERMO VACUUM METER

www.mems.ru

For vacuum control

www.gyro.ru www.mems.ru

NMST Lab

INS modul

ZAO GYROOPTICA

For vacuum control



THERMO VACUUM METER

VorführenderPräsentationsnotizenВакуумметр на основе теплового микропреобразователяв составе INS фирмы Gyrooptica.Используется для контроля герметичности корпусов


NMST Laboratory

www.mems.ru

MEMS THERMAL CONVERTER – VACUUM METER

0

20

40

60

80

100

120

1,00E-04 1,00E-03 1,00E-02 1,00E-01 1,00E+00 1,00E+01

Pressure, mm Hg

Ther

moe

lect

rom

otiv

e, m

V

VorführenderPräsentationsnotizenХарактеристики тепловых вакуумметров полученные во ВНИИ Метрологии

Лист1

микропреобразовательKV2-2KV2-1KV1-1ПМТ-2

термоэлектрический МПТ-1

1.60E-051.60E-05109.95510.000522281.210.000453345.30.00601192.31.21E-041.00E+011.00E+00

2.00E-052.00E-05109.9530.99998181070.000568281.10.99964438120.000469345.20.00692191.959.58E-051.00E+011.00E+00

3.00E-053.00E-05109.9430.99989086440.000632280.90.99893314370.000494345.10.00846191.421.50E-049.98E+009.98E-01

4.00E-054.00E-05109.9350.99981810740.000705280.70.99822190610.0005303450.0102190.861.86E-049.96E+009.96E-01

5.00E-055.00E-05109.9270.99974535040.000793280.40.99715504980.000636344.70.0152189.322.25E-049.94E+009.94E-01

6.00E-056.00E-05109.9180.99966349870.000896280.10.99608819350.000716344.40.0186188.362.73E-049.93E+009.93E-01

7.00E-057.00E-05109.910.99959074170.00102279.70.99466571830.000806344.10.0223187.353.38E-049.89E+009.89E-01

8.00E-058.00E-05109.9020.99951798460.00117279.30.99324324320.000924343.70.0254186.544.01E-049.87E+009.87E-01

9.00E-059.00E-05109.8930.9994361330.00146278.50.9903982930.00103343.20.0288185.634.86E-049.83E+009.83E-01

2.00E-042.00E-04109.8160.99873584650.00193277.20.98577524890.00116342.80.0326184.575.89E-049.80E+009.80E-01

3.00E-043.00E-04109.7320.99797189760.00269275.20.97866287340.00149341.60.0413182.287.45E-049.74E+009.74E-01

4.00E-044.00E-04109.6490.99721704330.00348273.20.97155049790.00196339.90.0513179.788.84E-049.68E+009.68E-01

5.00E-045.00E-04109.560.99640762130.00464270.30.96123755330.00242338.40.0626177.191.10E-039.65E+009.65E-01

6.00E-046.00E-04109.4630.99552544220.00572267.90.95270270270.00321335.80.0758174.241.33E-039.59E+009.59E-01

7.00E-047.00E-04109.370.99467964170.00694264.90.94203413940.00409332.90.0902171.151.58E-039.53E+009.53E-01

8.00E-048.00E-04109.260.99367923240.00749263.60.93741109530.00515329.80.108167.491.87E-039.46E+009.46E-01

9.00E-049.00E-04109.1570.99274248560.00907260.10.92496443810.00620326.50.124164.672.22E-039.38E+009.38E-01

2.00E-032.00E-03108.30.9849483880.0105257.20.91465149360.00722323.40.141161.512.63E-039.31E+009.31E-01

3.00E-033.00E-03107.40.97676322130.0131251.50.89438122330.00845319.90.202153.613.12E-039.24E+009.24E-01

4.00E-034.00E-03106.460.96821426950.0149248.20.88264580370.0107313.90.247148.823.55E-039.16E+009.16E-01

5.00E-035.00E-03105.10.95584557320.0178243.10.86450924610.0128308.60.301143.803.95E-039.05E+009.05E-01

6.00E-036.00E-03104.20.94766040650.0247231.90.82467994310.0317269.70.347140.024.49E-038.97E+008.97E-01

7.00E-037.00E-03102.7820.93476422170.03222210.78591749640.0357263.00.408135.744.89E-038.86E+008.86E-01

8.00E-038.00E-03101.40.92219544360.0427207.20.73684210530.0460246.70.456133.445.44E-038.73E+008.73E-01

9.00E-039.00E-03100.40.9131008140.0465202.50.72012802280.0522238.70.510131.085.92E-038.60E+008.60E-01

1.88E-021.33E-02970.88217907330.0536195.10.69381223330.0580231.70.563128.976.45E-038.45E+008.45E-01

2.23E-021.68E-0294.20.85671411030.0709179.710.63908250360.0614227.80.620126.917.03E-038.30E+008.30E-01

2.70E-022.15E-0291.40.83124914740.0891166.70.59281650070.0691219.80.680124.927.66E-038.15E+008.15E-01

3.40E-022.85E-02880.80032740670.106156.380.5561166430.0765212.70.732123.368.16E-038.00E+008.00E-01

4.18E-023.63E-0284.70.77031512890.124148.110.52670697010.0844205.90.796121.798.70E-037.82E+007.82E-01

5.15E-024.60E-02810.73666499930.128146.290.52023470840.0930199.20.860120.469.28E-037.67E+007.67E-01

6.22E-025.67E-02770.70028648080.170133.110.47336415360.1000194.00.907119.529.89E-037.50E+007.50E-01

8.22E-027.67E-0271.50.65026601790.212124.880.44409672830.1250179.020.965118.461.08E-027.35E+007.35E-01

1.00E-019.45E-0265.90.5993360920.276115.970.41241109530.1520167.121.010117.761.13E-027.20E+007.20E-01

1.42E-011.37E-0158.90.53567368470.329110.810.39406116640.2130151.461.320115.341.20E-027.03E+007.03E-01

2.12E-012.07E-0149.70.45200309220.386106.670.37933854910.2660142.261.680112.711.28E-026.88E+006.88E-01

4.00E-013.95E-0136.20.32922559230.449103.760.36899004270.3260134.822.040111.131.36E-026.72E+006.72E-01

8.00E-017.95E-0128.30.25737801830.521101.370.36049075390.3780130.002.250110.381.45E-026.57E+006.57E-01

2.00E+001.99E+00230.20917648130.58699.580.35412517780.4400126.172.530109.751.55E-026.44E+006.44E-01

9.73E+009.72E+00180.16370333320.62898.610.35067567570.5070123.283.220108.611.65E-026.29E+006.29E-01

0.66797.790.34775960170.5760120.843.700108.121.76E-026.14E+006.14E-01

0.70397.110.3453413940.6440118.824.250107.711.88E-025.99E+005.99E-01

0.73696.520.34324324320.7090117.185.390107.152.00E-025.82E+005.82E-01

0.77395.960.34125177810.7730115.827.100106.742.09E-025.67E+005.67E-01

0.81495.440.33940256050.8370114.798.250106.582.23E-025.52E+005.52E-01

0.86894.810.33716216220.9000113.858.940106.492.38E-025.37E+005.37E-01

0.91094.360.33556187770.9620113.049.720106.432.53E-025.21E+005.21E-01

0.95193.950.33410384071.0500112.352.70E-025.04E+005.04E-01

193.460.33236130871.5200109.602.94E-024.87E+004.87E-01

1.392.230.32798719771.7800108.473.14E-024.72E+004.72E-01

1.8690.30.32112375532.0100107.723.35E-024.57E+004.57E-01

2.0689.830.31945234712.2500107.033.49E-024.42E+004.42E-01

2.589.120.31692745382.5000106.533.72E-024.27E+004.27E-01

3.0588.470.31461593173.0120105.664.05E-024.09E+004.09E-01

3.2588.310.31404694173.5400105.094.32E-023.92E+003.92E-01

3.6188.030.31305120914.5800104.274.61E-023.75E+003.75E-01

4.387.630.3116287345.0400104.004.91E-023.60E+003.60E-01

4.887.410.31084637275.6600103.685.24E-023.45E+003.45E-01

7.4686.680.30825035566.0100103.555.59E-023.30E+003.30E-01

8.1186.580.30789473687.1000103.195.96E-023.15E+003.15E-01

8.7486.490.30757467997.9000103.026.22E-023.00E+003.00E-01

9.8286.370.30714793748.0900102.996.77E-022.85E+002.85E-01

8.5100102.97.22E-022.71E+002.71E-01

9.0000102.87.86E-022.58E+002.58E-01

8.57E-022.43E+002.43E-01

8.94E-022.28E+002.28E-01

9.74E-022.11E+002.11E-01

1.06E-011.98E+001.98E-01

1.16E-011.85E+001.85E-01

1.23E-011.70E+001.70E-01

1.37E-011.55E+001.55E-01

1.49E-011.42E+001.42E-01

1.66E-011.29E+001.29E-01

1.81E-011.18E+001.18E-01

2.06E-011.06E+001.06E-01

2.24E-019.52E-019.52E-02

2.49E-018.40E-018.40E-02

2.83E-017.28E-017.28E-02

3.22E-016.53E-016.53E-02

3.74E-015.78E-015.78E-02

4.35E-014.66E-014.66E-02

Лист1

МПТ-1

KV2-2

KV2-1

KV1-1

ПМТ-2

Давление, мм.рт.ст.

ТермоЭДС, мВ

Диаграмма1

МПТ1

ПМТ2

KV2-2

Лист2

0.000016

0.00002

0.00003

0.00004

0.00005

0.00006

0.00007

0.00008

0.00009

0.0002

0.0003

0.0004

0.0005

0.0006

0.0007

0.0008

0.0009

0.002

0.003

0.004

0.005

0.006

0.007

0.008

0.009

0.01328

0.01679

0.02151

0.0285

0.0363

0.046

0.05666

0.0767

0.0945

0.1365

0.2065

0.3945

0.7945

1.9945

9.7245

Pressure, mm Hg

Thermoelectromotive, mV

MEMS THERMAL CONVERTER – VACUUM METER

109.955

109.953

109.943

109.935

109.927

109.918

109.91

109.902

109.893

109.816

109.732

109.649

109.56

109.463

109.37

109.26

109.157

108.3

107.4

106.46

105.1

104.2

102.782

101.4

100.4

97

94.2

91.4

88

84.7

81

77

71.5

65.9

58.9

49.7

36.2

28.3

23

18

Лист3

микропреобразователь

термоэлектрический МПТ-1

1.60E-051.60E-05109.9551

2.00E-052.00E-05109.9530.9999818107

3.00E-053.00E-05109.9430.9998908644

4.00E-054.00E-05109.9350.9998181074

5.00E-055.00E-05109.9270.9997453504

6.00E-056.00E-05109.9180.9996634987

7.00E-057.00E-05109.910.9995907417

8.00E-058.00E-05109.9020.9995179846

9.00E-059.00E-05109.8930.999436133

2.00E-042.00E-04109.8160.9987358465

3.00E-043.00E-04109.7320.9979718976

4.00E-044.00E-04109.6490.9972170433

5.00E-045.00E-04109.560.9964076213

6.00E-046.00E-04109.4630.9955254422

7.00E-047.00E-04109.370.9946796417

8.00E-048.00E-04109.260.9936792324

9.00E-049.00E-04109.1570.9927424856

2.00E-032.00E-03108.30.984948388

3.00E-033.00E-03107.40.9767632213

4.00E-034.00E-03106.460.9682142695

5.00E-035.00E-03105.10.9558455732

6.00E-036.00E-03104.20.9476604065

7.00E-037.00E-03102.7820.9347642217

8.00E-038.00E-03101.40.9221954436

9.00E-039.00E-03100.40.913100814

1.88E-021.33E-02970.8821790733

2.23E-021.68E-0294.20.8567141103

2.70E-022.15E-0291.40.8312491474

3.40E-022.85E-02880.8003274067

4.18E-023.63E-0284.70.7703151289

5.15E-024.60E-02810.7366649993

6.22E-025.67E-02770.7002864808

8.22E-027.67E-0271.50.6502660179

1.00E-019.45E-0265.90.599336092

1.42E-011.37E-0158.90.5356736847

2.12E-012.07E-0149.70.4520030922

4.00E-013.95E-0136.20.3292255923

8.00E-017.95E-0128.30.2573780183

2.00E+001.99E+00230.2091764813

9.73E+009.72E+00180.1637033332

МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ТЕПЛОВЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ

Non standard

Modif - Flat -16 TO-8 3101.8

Modif 155.36-2



VorführenderPräsentationsnotizenкорпусирование

St.Petersburg State Polytechnical University

NMST Laboratory

MICROSENSORS FOR MICRO AIR VECHICAL

www.mems.ru Non standard

package


NMST Laboratory



THERMO TRANSDUCER - INCLINOMETER

Vertical deflectation

Angel range +/- 90

Accuracy 1%

Convection in closed volume

VorführenderPräsentationsnotizenДатчик угла наклона (инклинометр) на основе теплового микропреобразователя

www.mems.ru

THERMO ACCELROMETER


NMST Laboratory

VorführenderPräsentationsnotizenСовместно с фирмой General Motors (США) проводится разработка микроустройств стабилизации движения транспортных средств с использованием тепловых микроакселерометров


R&D Cooperation & Interaction

www.mems.ru

IIC

NMTSLab

MicroElectronics Technologies

Computing mechanics Lab

Experimental Physics

Experimental Nuclear Physics

Semiconductor & Nano Physics

Radio Physics

Physical Electronics

Imformation-measuring Technologies

Imformation MechMash Technologies

Automation

Heat Theoretical footing

Compressor&HVAC bulding

EnergoMasch

MechMasch

Technical Cybernetics

Technlogies&Materials Medical Technics

RadioPhysics

Aero Hydro Dynamics

CNII RTK

PhysicsMechanics

VorführenderPräsentationsnotizenМикросистемная техника развивается на стыке множества отраслей науки и техники.

Лаборатория ведет разработки в тесном взаимодействии с ведущими кафедрами ряда технических университетов, лабораториями НИИ и предприятиями, специализирующимися в области микросистемной техники

World -Wide Cooperation & Interaction

www.mems.ru

IIC

NMTSLab

General Motors

Semi International

Applied MicroStructures

EV Group

ELMOS

SuperWide

Samsung

Planar-TM

>150 Russian Co+TU


VorführenderPräsentationsnotizenУчастие в разработках МСТ специалистов различных областей знания обеспечивается на уровне взаимодействия с разработчиками и заказчиками внутри РФ и всего Мира.

Foliennummer 1Foliennummer 2Foliennummer 3Foliennummer 4Foliennummer 5Foliennummer 6Foliennummer 7Foliennummer 8Foliennummer 9Foliennummer 10Foliennummer 11Foliennummer 12Foliennummer 13Foliennummer 14Foliennummer 15Foliennummer 16Foliennummer 17Foliennummer 18Foliennummer 19Foliennummer 20Foliennummer 21Foliennummer 22Foliennummer 23Foliennummer 24Foliennummer 25Foliennummer 26Foliennummer 27Foliennummer 28

Documents

Experience in creating MEMS for special applications just exploits this 3D aspect to build mechanical devices. •EVERYTHING mechanical, optical, fluidic, that can be miniaturized