Upload
others
View
3
Download
0
Embed Size (px)
Citation preview
CCM-iBIS
温 度 制 御 方 式
使 用 温 度 範 囲
温 度 制 御 範 囲
温 度 変 動 幅
温 度 分 布
メ イ ン ヒ ーター
扉 ヒ ー タ ー
外 形 寸 法
ディッシュ収納枚数
チャンバー内寸法
加 湿 方 式
電 源
本 体 重 量
(W)527mm×(D)744mm×(H)398mm ※突起部を含む
60mm GPS ディッシュ 9枚
(W)70mm×(D)88mm×(H)17mm 容積:約105ml
無加湿方式
AC100V,5A,50/60Hz
約50kg
デジタルPID方式
24℃~30℃
室温+7℃~40℃
±0.3℃(室内28℃時)
±0.3℃(室内28℃時)
ガラスヒーター
シリコンゴムヒーター50W
本
体
温
度
制
御
形 式
移 動 範 囲
分 解 能
最 高 速 度
繰返位置決め精度
移 動 範 囲
分 解 能
最 高 速 度
繰返位置決め精度
カ メ ラ
対 物 レ ン ズ
照 明 用 光 源
画 像 保 存 形 式
画 像 保 存 方 式
ア ナ ロ グ 出 力
接 点 出 力
ガ ス 供 給 方 式
モ ニ タ ー 表 示
ガス濃度表示制度
ミックスガスを供給
CO2:0.0~20.0%,O2:0.0~21.0%
±0.2%(マニュアルキャル実施時)
±100mm(X軸) ±150mm(Y軸)
12μm/step
30mm/sec以上
±10μm以内
±5mm
0.5μm/step
5mm/sec
±0.3μm以内
130万画素CMOSカメラ
10X
赤色LED照明
JPEG形式
NAS(ミラーリング機能付き 4TBx2)
温度(チャンバー×3、外扉、フロア温度)、CO2濃度、O2濃度SMPコネクタ8ピン(JST製)
アラーム発生時にCLOSE、電源OFFでCLOSESMPコネクタ4ピン(JST製)
XYステージ
Zステージ
外
部
出
力
光
学
系画
像
ガス仕様