16
ELOOKHDYOLQ#DPGFRP4350D\ 7KH'LVWDQFHLQ6SDFH &RHIILFLHQWV'L6&R0RGHO :LOOLDP'+HDYOLQ $GYDQFHG0LFUR'HYLFHV 4XDOLW\DQG3URGXFWLYLW\5HVHDUFK

asa-qprc.orgasa-qprc.org/2001/invited/heavlin.pdfLI btm CD True active length ˘ˇ ˆ˙ ˝ ˜" ˜˜ - (7˙ ˜ - > ;˙< 03 3 " B$$ B$$ " 0 ˇ 4 ˇ 4" !1˚ !1˚ "

  • Upload
    others

  • View
    1

  • Download
    0

Embed Size (px)

Citation preview

Page 1: asa-qprc.orgasa-qprc.org/2001/invited/heavlin.pdfLI btm CD True active length ˘ˇ ˆ˙ ˝ ˜" ˜˜ - (7˙ ˜ - > ;˙< 03 3 " B$$ B$$ " 0 ˇ 4 ˇ 4" !1˚ !1˚ "

��������������� ����������������������������

������� � ����!"� ��#��$$� �� ��%��!#�&������

'���������(�����)��� ����� *������ ��

������������ �����������������������

Page 2: asa-qprc.orgasa-qprc.org/2001/invited/heavlin.pdfLI btm CD True active length ˘ˇ ˆ˙ ˝ ˜" ˜˜ - (7˙ ˜ - > ;˙< 03 3 " B$$ B$$ " 0 ˇ 4 ˇ 4" !1˚ !1˚ "

��������������� ����������������������������

+*��$�!,���*�-

���� ����.��!#�/0 ��"� � �*� ��� �*� ��1*����, ���23�������0 �,� �"���*��"���� �0 ����$� �*� �0 ���,����%�����$�*� ���&0 ��"� ����� �� �,����� 4�*5�0 "�*������,����0 ���� �*���.� ���/�

Page 3: asa-qprc.orgasa-qprc.org/2001/invited/heavlin.pdfLI btm CD True active length ˘ˇ ˆ˙ ˝ ˜" ˜˜ - (7˙ ˜ - > ;˙< 03 3 " B$$ B$$ " 0 ˇ 4 ˇ 4" !1˚ !1˚ "

��������������� ����������������������������

#� �6 - �� ���������� ����0 �*7� ���"*� ����$�,��0 $� ,����� ��4�*5����

4����

�*��"*��, ��0 �*7� ����*���*�������� 0 $� �*���"�* � ���

��*7���� ����,5�40 � �*� ����� �4����

��*� �*�8��

�� ���� 0 ��$� �*��, ����

"*��, ��� ����"*����� ��� �

0 ���*� ��*�$����

Page 4: asa-qprc.orgasa-qprc.org/2001/invited/heavlin.pdfLI btm CD True active length ˘ˇ ˆ˙ ˝ ˜" ˜˜ - (7˙ ˜ - > ;˙< 03 3 " B$$ B$$ " 0 ˇ 4 ˇ 4" !1˚ !1˚ "

��������������� ����������������������������

96"�*��� �������7-:���� 5���+�6�+�5�����5��� *, ,*�

0 �� ���23�;��� 4� ��<�$� �*��� ���

0 =�� � �*"�� �0 �>%�;=�&�6�:>��;��? ��<�4�$�*�0 ��>��@�$� �*�� � ��0 ��>���:�*��"����0 �5�4�$� �*�-�� �� � �4� ������ 5��� �� ��*� ��������0 $� �*��������� �A�� $

(�,*�� � ������" ���������70 #�,����� 4�*50 (�������'��%����&�.96"�*��� �������7��$�*�B�*7���

#��"��6�!�� ����/�C�#��!�� ����C,���;��<�

Page 5: asa-qprc.orgasa-qprc.org/2001/invited/heavlin.pdfLI btm CD True active length ˘ˇ ˆ˙ ˝ ˜" ˜˜ - (7˙ ˜ - > ;˙< 03 3 " B$$ B$$ " 0 ˇ 4 ˇ 4" !1˚ !1˚ "

��������������� ����������������������������

Page 6: asa-qprc.orgasa-qprc.org/2001/invited/heavlin.pdfLI btm CD True active length ˘ˇ ˆ˙ ˝ ˜" ˜˜ - (7˙ ˜ - > ;˙< 03 3 " B$$ B$$ " 0 ˇ 4 ˇ 4" !1˚ !1˚ "

��������������� ����������������������������

Leff

Gate OxThk

Vth

LDC

GateDopant

Poly Thk

Speed

LDD

Silicide Rs

Gate Rs

Rs s/d

Spacer

Poly DelW

RTA s/d

ScreenOxideDopant

LossSpacerOver-etch Interface

s/d RcRPD Thk

CO QTimeSilicidePenetration

Gox QTime

VNI/VPIdose

N2/I2 dose

Transistorwidth

Silicide RTA

RTA2

CO Thk

LIOE*

BMDPCII

BMDThk

RPEo/e

LI Align

Polish ThkLIOE*

LI Dep Thk

LIM Exposure

IOX

I2 Damage

Udox Thk

Nitride Thk

Gate stepperSiON stripSiON dep

GM QTCDcontrol

LI btm CD

Trueactivelength

Page 7: asa-qprc.orgasa-qprc.org/2001/invited/heavlin.pdfLI btm CD True active length ˘ˇ ˆ˙ ˝ ˜" ˜˜ - (7˙ ˜ - > ;˙< 03 3 " B$$ B$$ " 0 ˇ 4 ˇ 4" !1˚ !1˚ "

��������������� ����������������������������

���"����-

(�7���������� -��� >�;�<0 3 ��3 " ��B�$$� ��B�$$�"

0 ����� 4 ������� 4"���!1�� ���!1��"

(�7��*��������� -����>��0 � ������*���� ,**� �2��

0 "� ������*���� ,**� �2��"

� "*�6����$�*��� *�"*� ����*��"���

-5

-4

-3

-2

-1

0

1

2

3

4

5

pIon

sta

nd

-5 -4 -3 -2 -1 0 1 2 3 4 5nIon stand

Page 8: asa-qprc.orgasa-qprc.org/2001/invited/heavlin.pdfLI btm CD True active length ˘ˇ ˆ˙ ˝ ˜" ˜˜ - (7˙ ˜ - > ;˙< 03 3 " B$$ B$$ " 0 ˇ 4 ˇ 4" !1˚ !1˚ "

��������������� ����������������������������

! �"4�����������-

��<���<�����D

��<���<<��

�:E��EF �*��E

��<��<

"� �����2�� �����2�

E���� ���$*����$�;;<�"� � ���

Page 9: asa-qprc.orgasa-qprc.org/2001/invited/heavlin.pdfLI btm CD True active length ˘ˇ ˆ˙ ˝ ˜" ˜˜ - (7˙ ˜ - > ;˙< 03 3 " B$$ B$$ " 0 ˇ 4 ˇ 4" !1˚ !1˚ "

��������������� ����������������������������

�*������� � ��� -

G� �������4� �� ���$����4�7�"*�"�* ���-0 ��$$� �� �� ���� � �4� �� ���7���� *���$� ���

�,������"

0 %$� �*�*��"���&�"��*�� ����*� �7� ��*� � *�7�*��$$�

0 %$� �*��$� �*��*��"���&� *�"�� �� ����*� �7� ��*� � *�7�*�� �*� ��

0 ��"*��*��� �* ���*��� �����"���*������ 0 �,� �������7����� ���$�*��$$� ��� �*� ��

Page 10: asa-qprc.orgasa-qprc.org/2001/invited/heavlin.pdfLI btm CD True active length ˘ˇ ˆ˙ ˝ ˜" ˜˜ - (7˙ ˜ - > ;˙< 03 3 " B$$ B$$ " 0 ˇ 4 ˇ 4" !1˚ !1˚ "

��������������� ����������������������������

-1.5 -1.0 -0.5 0.0 0.5 1.0 1.5-1.0

-0.5

0.0

0.5

nIdeff

pIdeff

XterW

I2dmg

VNI

VPI

GOxQT

GOx

PolyThk

GN2I2

SiONdep

GMQT

Gstp

SiONstr

LDCnLDCp

Iox

LDDnLDDp

UDOX1

spcrThk

spcrOE

UDOX2

RPDep

sdRTA

RPEoe

CoQTCoThk

SiRTA

RTA2

LIthk

polishThk

LI_DICD

LIx

LIy LIoe

BMDdep

BMDPCII

(DIM 1)

(DIM 2)

Page 11: asa-qprc.orgasa-qprc.org/2001/invited/heavlin.pdfLI btm CD True active length ˘ˇ ˆ˙ ˝ ˜" ˜˜ - (7˙ ˜ - > ;˙< 03 3 " B$$ B$$ " 0 ˇ 4 ˇ 4" !1˚ !1˚ "

��������������� ����������������������������

�� ���� ������������-����> ���= � �� ���7���� 5�������*������ �*� ��� �*��

��$$� �� ���-0 ��*�����$*����� � ����������������������"0 B� ������� �� ��*��� ����$���7����*��"���������"� �0 H� ������ ��� ��*��� ����$� 4��$� �*������������"� �0 9$$� ���� � ���*�����"*�"�* ����� ����� � �-

��� � >�A expI! 0 JJ� K ��JJ L���� � ����> A ��� ��M���� � M�expI! 0 JJ��K��JJ L

0 ��� � ��$, �����JJ�0 JJ��������$�B� �*�B�N��>���*��N���*��>�0 ��� � ����� �, �7�$, ��-���6"I! 0 JJ� K�JJ L��H0 A ��� ,���������4

$*���"�*��� �*�-0 ��0 %F��� 5�&����� 5��$$� �0 %�=��&� ��*��� ��0 ����� � ����� �, �*� ���% �� &0 !�7���$�������0 O%�=�&K �����K�P�� ��$$� �� ���$����

Page 12: asa-qprc.orgasa-qprc.org/2001/invited/heavlin.pdfLI btm CD True active length ˘ˇ ˆ˙ ˝ ˜" ˜˜ - (7˙ ˜ - > ;˙< 03 3 " B$$ B$$ " 0 ˇ 4 ˇ 4" !1˚ !1˚ "

��������������� ����������������������������

��!#��"*�"�* ���-"������������������#�$��

��%& �Q ��� ���� �"'0 ����23� �*�����>�F��� 5��K ��=���

0 F��!#�� �*���>�F��� 5��=�%�=��&���K � K %��K�&>�F��� 5��K ��=������4����>����>�

(�������������� �� ��0 ! �"4���-���� �*������� ��*�.�/��*�.�, N/�

R��������*��� � �0 ��!#�-���������� �*���.��/��,��"�* � ���������� ��N�

R����7�� � �

)������0 B�-� ������*� ����5��� �,���� ���0 B�-�:��=��7�����5��� �,���� ���

�������� � ����

Page 13: asa-qprc.orgasa-qprc.org/2001/invited/heavlin.pdfLI btm CD True active length ˘ˇ ˆ˙ ˝ ˜" ˜˜ - (7˙ ˜ - > ;˙< 03 3 " B$$ B$$ " 0 ˇ 4 ˇ 4" !1˚ !1˚ "

��������������� ����������������������������

��!#������ �"4���-

��;<

��@@

S;��

��<

��!#� ��!#�� �"4���� �"4���

��;���<���<�����D

��@S��<���<<��

S;���:E��EF �*��

��<��<��<

"� �����2�� �����2�

Page 14: asa-qprc.orgasa-qprc.org/2001/invited/heavlin.pdfLI btm CD True active length ˘ˇ ˆ˙ ˝ ˜" ˜˜ - (7˙ ˜ - > ;˙< 03 3 " B$$ B$$ " 0 ˇ 4 ˇ 4" !1˚ !1˚ "

��������������� ����������������������������

�����*���* �����+"�*��� �*��� ��-

��0 %F��� 5�&����� 5��$$� �%�=��&� ��"� ��*��� ����� � ����� �, �*� ���% �� &

"�*��� �*��� ��-I��� ������ � �L��$�*�����I������ ���L��, �� ��

��7� %��&�>���0 O��1%�=�6"%K��1 &��T ����P�� ?���� � >���7� %��� � &�0 expI! 0 ��� � �%�� ���� &�L

��7�*� ��-������2� �������,���*��������� 5��$$� �>������� �����8��������*����� ��U,�*������ �*� �7��� 4���

"�*��� �*��� �� ���"�*��� �*��� ����� ��5�� ������*�������8��4* �"�*��� �*��� �������"�� �

-3 -2 -1 0 1 2 3–1.

-0.5

0.

0.5

+1.

Page 15: asa-qprc.orgasa-qprc.org/2001/invited/heavlin.pdfLI btm CD True active length ˘ˇ ˆ˙ ˝ ˜" ˜˜ - (7˙ ˜ - > ;˙< 03 3 " B$$ B$$ " 0 ˇ 4 ˇ 4" !1˚ !1˚ "

��������������� ����������������������������

s

-3 -2 -1 0 1 2 3

-1.0

-0.5

0.0

0.5

1.0

scale=1.00

scale=0.50

scale=0.20scale=0.10

scale=0.002

Logit(s/scale)

Page 16: asa-qprc.orgasa-qprc.org/2001/invited/heavlin.pdfLI btm CD True active length ˘ˇ ˆ˙ ˝ ˜" ˜˜ - (7˙ ˜ - > ;˙< 03 3 " B$$ B$$ " 0 ˇ 4 ˇ 4" !1˚ !1˚ "

��������������� ����������������������������

#���� ��� � �,����-��������� ���� �

0 �� �*� ���� *� �0 U,��*� � � �*���H0 �"�*��� *� ���� � ��

��� �, �$, ���0 �$�*� �

�������0 "�*������,������,���8������*����, ���23���5�0 �,� �"���*��"����������$� �*�0 ���� �"4������� �"� �������4�*�0 ��7�*� ������7�����7���$� �*��

-1.5 -1.0 -0.5 0.0 0.5 1.0 1.5-1.0

-0.5

0.0

0.5

nIdeff

pIdeff

XterW

I2dmg

VNI

VPI

GOxQT

GOx

PolyThk

GN2I2

SiONdep

GMQT

Gstp

SiONstrLDCn

LDCpIox

LDDnLDDp

UDOX1

spcrThk

spcrOE

UDOX2

RPDep

sdRTA

RPEoe

CoQT

CoThk

SiRTA

RTA2

LIthk

polishThk

LI_DICD

LIx

LIy LIoe

BMDdep

BMDPCII

(DIM 1)

(DIM 2)