Upload
others
View
1
Download
0
Embed Size (px)
Citation preview
��������������� ����������������������������
������� � ����!"� ��#��$$� �� ��%��!#�&������
'���������(�����)��� ����� *������ ��
������������ �����������������������
��������������� ����������������������������
+*��$�!,���*�-
���� ����.��!#�/0 ��"� � �*� ��� �*� ��1*����, ���23�������0 �,� �"���*��"���� �0 ����$� �*� �0 ���,����%�����$�*� ���&0 ��"� ����� �� �,����� 4�*5�0 "�*������,����0 ���� �*���.� ���/�
��������������� ����������������������������
#� �6 - �� ���������� ����0 �*7� ���"*� ����$�,��0 $� ,����� ��4�*5����
4����
�*��"*��, ��0 �*7� ����*���*�������� 0 $� �*���"�* � ���
��*7���� ����,5�40 � �*� ����� �4����
��*� �*�8��
�� ���� 0 ��$� �*��, ����
"*��, ��� ����"*����� ��� �
0 ���*� ��*�$����
��������������� ����������������������������
96"�*��� �������7-:���� 5���+�6�+�5�����5��� *, ,*�
0 �� ���23�;��� 4� ��<�$� �*��� ���
0 =�� � �*"�� �0 �>%�;=�&�6�:>��;��? ��<�4�$�*�0 ��>��@�$� �*�� � ��0 ��>���:�*��"����0 �5�4�$� �*�-�� �� � �4� ������ 5��� �� ��*� ��������0 $� �*��������� �A�� $
(�,*�� � ������" ���������70 #�,����� 4�*50 (�������'��%����&�.96"�*��� �������7��$�*�B�*7���
#��"��6�!�� ����/�C�#��!�� ����C,���;��<�
��������������� ����������������������������
��������������� ����������������������������
Leff
Gate OxThk
Vth
LDC
GateDopant
Poly Thk
Speed
LDD
Silicide Rs
Gate Rs
Rs s/d
Spacer
Poly DelW
RTA s/d
ScreenOxideDopant
LossSpacerOver-etch Interface
s/d RcRPD Thk
CO QTimeSilicidePenetration
Gox QTime
VNI/VPIdose
N2/I2 dose
Transistorwidth
Silicide RTA
RTA2
CO Thk
LIOE*
BMDPCII
BMDThk
RPEo/e
LI Align
Polish ThkLIOE*
LI Dep Thk
LIM Exposure
IOX
I2 Damage
Udox Thk
Nitride Thk
Gate stepperSiON stripSiON dep
GM QTCDcontrol
LI btm CD
Trueactivelength
��������������� ����������������������������
���"����-
(�7���������� -��� >�;�<0 3 ��3 " ��B�$$� ��B�$$�"
0 ����� 4 ������� 4"���!1�� ���!1��"
(�7��*��������� -����>��0 � ������*���� ,**� �2��
0 "� ������*���� ,**� �2��"
� "*�6����$�*��� *�"*� ����*��"���
-5
-4
-3
-2
-1
0
1
2
3
4
5
pIon
sta
nd
-5 -4 -3 -2 -1 0 1 2 3 4 5nIon stand
��������������� ����������������������������
! �"4�����������-
��<���<�����D
��<���<<��
�:E��EF �*��E
��<��<
"� �����2�� �����2�
E���� ���$*����$�;;<�"� � ���
��������������� ����������������������������
�*������� � ��� -
G� �������4� �� ���$����4�7�"*�"�* ���-0 ��$$� �� �� ���� � �4� �� ���7���� *���$� ���
�,������"
0 %$� �*�*��"���&�"��*�� ����*� �7� ��*� � *�7�*��$$�
0 %$� �*��$� �*��*��"���&� *�"�� �� ����*� �7� ��*� � *�7�*�� �*� ��
0 ��"*��*��� �* ���*��� �����"���*������ 0 �,� �������7����� ���$�*��$$� ��� �*� ��
��������������� ����������������������������
-1.5 -1.0 -0.5 0.0 0.5 1.0 1.5-1.0
-0.5
0.0
0.5
nIdeff
pIdeff
XterW
I2dmg
VNI
VPI
GOxQT
GOx
PolyThk
GN2I2
SiONdep
GMQT
Gstp
SiONstr
LDCnLDCp
Iox
LDDnLDDp
UDOX1
spcrThk
spcrOE
UDOX2
RPDep
sdRTA
RPEoe
CoQTCoThk
SiRTA
RTA2
LIthk
polishThk
LI_DICD
LIx
LIy LIoe
BMDdep
BMDPCII
(DIM 1)
(DIM 2)
��������������� ����������������������������
�� ���� ������������-����> ���= � �� ���7���� 5�������*������ �*� ��� �*��
��$$� �� ���-0 ��*�����$*����� � ����������������������"0 B� ������� �� ��*��� ����$���7����*��"���������"� �0 H� ������ ��� ��*��� ����$� 4��$� �*������������"� �0 9$$� ���� � ���*�����"*�"�* ����� ����� � �-
��� � >�A expI! 0 JJ� K ��JJ L���� � ����> A ��� ��M���� � M�expI! 0 JJ��K��JJ L
0 ��� � ��$, �����JJ�0 JJ��������$�B� �*�B�N��>���*��N���*��>�0 ��� � ����� �, �7�$, ��-���6"I! 0 JJ� K�JJ L��H0 A ��� ,���������4
$*���"�*��� �*�-0 ��0 %F��� 5�&����� 5��$$� �0 %�=��&� ��*��� ��0 ����� � ����� �, �*� ���% �� &0 !�7���$�������0 O%�=�&K �����K�P�� ��$$� �� ���$����
��������������� ����������������������������
��!#��"*�"�* ���-"������������������#�$��
��%& �Q ��� ���� �"'0 ����23� �*�����>�F��� 5��K ��=���
0 F��!#�� �*���>�F��� 5��=�%�=��&���K � K %��K�&>�F��� 5��K ��=������4����>����>�
(�������������� �� ��0 ! �"4���-���� �*������� ��*�.�/��*�.�, N/�
R��������*��� � �0 ��!#�-���������� �*���.��/��,��"�* � ���������� ��N�
R����7�� � �
)������0 B�-� ������*� ����5��� �,���� ���0 B�-�:��=��7�����5��� �,���� ���
�������� � ����
��������������� ����������������������������
��!#������ �"4���-
��;<
��@@
S;��
��<
��!#� ��!#�� �"4���� �"4���
��;���<���<�����D
��@S��<���<<��
S;���:E��EF �*��
��<��<��<
"� �����2�� �����2�
��������������� ����������������������������
�����*���* �����+"�*��� �*��� ��-
��0 %F��� 5�&����� 5��$$� �%�=��&� ��"� ��*��� ����� � ����� �, �*� ���% �� &
"�*��� �*��� ��-I��� ������ � �L��$�*�����I������ ���L��, �� ��
��7� %��&�>���0 O��1%�=�6"%K��1 &��T ����P�� ?���� � >���7� %��� � &�0 expI! 0 ��� � �%�� ���� &�L
��7�*� ��-������2� �������,���*��������� 5��$$� �>������� �����8��������*����� ��U,�*������ �*� �7��� 4���
"�*��� �*��� �� ���"�*��� �*��� ����� ��5�� ������*�������8��4* �"�*��� �*��� �������"�� �
-3 -2 -1 0 1 2 3–1.
-0.5
0.
0.5
+1.
��������������� ����������������������������
s
-3 -2 -1 0 1 2 3
-1.0
-0.5
0.0
0.5
1.0
scale=1.00
scale=0.50
scale=0.20scale=0.10
scale=0.002
Logit(s/scale)
��������������� ����������������������������
#���� ��� � �,����-��������� ���� �
0 �� �*� ���� *� �0 U,��*� � � �*���H0 �"�*��� *� ���� � ��
��� �, �$, ���0 �$�*� �
�������0 "�*������,������,���8������*����, ���23���5�0 �,� �"���*��"����������$� �*�0 ���� �"4������� �"� �������4�*�0 ��7�*� ������7�����7���$� �*��
-1.5 -1.0 -0.5 0.0 0.5 1.0 1.5-1.0
-0.5
0.0
0.5
nIdeff
pIdeff
XterW
I2dmg
VNI
VPI
GOxQT
GOx
PolyThk
GN2I2
SiONdep
GMQT
Gstp
SiONstrLDCn
LDCpIox
LDDnLDDp
UDOX1
spcrThk
spcrOE
UDOX2
RPDep
sdRTA
RPEoe
CoQT
CoThk
SiRTA
RTA2
LIthk
polishThk
LI_DICD
LIx
LIy LIoe
BMDdep
BMDPCII
(DIM 1)
(DIM 2)